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969-8904

Varian 969-8904, 969-8901, 969-8902, 969-8903, Turbo-V 81-M, Turbo-V 81-M Series Manual de usuario

  • ¡Hola! Soy un chatbot de IA específicamente entrenado para ayudarte con el Varian 969-8904 Manual de usuario. He revisado el documento y puedo ayudarte a encontrar la información que necesitas o explicarla de manera clara y sencilla. ¡Pregunta lo que necesites!
INSTRUCCIONES DE USO
10 87-900-983-01(B)
Indicaciones de Seguridad
para
Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen
una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en
combinación a la masa específica de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o
por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
,
¡PELIGRO!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!
INSTRUCCIONES DE USO
11 87-900-983-01(B)
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra
información suplementaria facilitada por Varian antes de usar el
aparato. Varian se considera libre de posibles responsabilidades
debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al
uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones
no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales
específicas.
Las bombas de la serie Turbo V 81-M son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de alto y ultra alto vacío
capaces de bombear cualquier tipo de gas o compuesto
gaseoso no corrosivo. No son adecuadas para bombear
líquidos ni partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de
alta velocidad (80000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico
trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 81-M no posee ningún
agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones
que requieren un vacío’ “limpio”.
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo
“Technical Information” se facilita información más detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
,
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los
procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños
al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las
bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes
instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la
bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,
se ruega contactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El Turbo-V 81-M se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse producido
durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de
ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se
caiga la bomba y de no someterla a golpes o vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399
para la preservación del medio ambiente.
¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
NOTA
El Turbo-V 81-M no puede dañarse permaneciendo
simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se
aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el
sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
INSTALACIÓN
¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al
conectar la bomba al sistema.
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo
“Technical Information”)
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo
“Technical Information” para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 81-M deben
usarse exclusivamente con uno de los controladores Varian y
deben conectarse a una bomba primaria (véase esquema en
“Technical Information”).
INSTRUCCIONES DE USO
12 87-900-983-01(B)
Los controladores disponibles son los siguientes:
- Rack controller 81-AG: 969-8988
- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
- PCB 24 V 969-9538
El Turbo-V 81-M puede instalarse en cualquier posición. Fijar el
Turbo-V 81-M en posición estable conectando la brida de
entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede
resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje. Por ejemplo
la brida ISO 63 puede ser fijada con mordazas en acero de alta
resistencia (tipo modelo tipo Varian IC 63250 DCMZ).
La tabla siguiente describe, para cada dimensión de brida, el
número de mordazas necesarios y con cual par de apriete
apretarlos.
BRIDA TIPO DE
MORDAZA
N. PAR DE
APRIETE
Mordaza doble
con rosca M10
4 22 Nm ISO 63
Mordaza individual
con rosca M8
4 11 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos
específicos Varian. Para más detalles véase el anexo
“Technical Information”.
NOTA
El Turbo-V 81-M no puede fijarse utilizando su base.
¡ATENCIÓN!
El Turbo-V 81-M pertenece a la segunda categoría de
instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN
61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a
una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
USO
En el manual de la unidad de control se encuentran todas las
instrucciones para el correcto funcionamiento de la turbo-bomba.
Leer atentamente este manual antes de su uso.
Para obtener mejores presiones de máxima es posible calentar el
sistema.
Durante el calentamiento de la cámara de vacío la temperatura
en la brida de entrada no debe superar los 120 ºC con
acoplamiento ConFlat y los 80 ºC con acoplamiento ISO.
Usar siempre refrigeración por agua durante las operaciones
de calentamiento.
,
¡PELIGRO!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está
conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre.
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión atmosférica).
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de
una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a
la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Helio) para
proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical
Information”).
,
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya
gases explosivos.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V 81-M no requieren
mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por
personal autorizado.
,
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema
desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo
la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare
completamente y esperar a que la temperatura superficial de la
bomba sea inferior a 50ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite
obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado.
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o
“advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y
Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia
de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema
antes de enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
ELIMINACIÓN
Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas.
El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en
observancia de la directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la
Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha
sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos
comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el
contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida
diferenciada..
Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto
con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa
fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y
eliminación del producto, después de haber efectuado una
verificación de los términos y condiciones contractuales de
venta.
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