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INSTRUCCIONES DE USO INFORMACION GENERAL No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la preservación del medio ambiente. Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las normas nacionales específicas. Las bombas de la serie Turbo-V 70LP son bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto que pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa de alta velocidad (75000 r.p.m./min. máx) movida por un motor trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V 70LP no llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo tanto son aptas para aplicaciones que requieren un vacío “limpio”. Los apartados siguientes contienen toda la información necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador al utilizar el aparato. Información más detallada se puede encontrar en el anexo “Technical Information”. Este manual siguientes: utiliza ! los símbolos ! convencionales ¡PELIGRO! NOTA Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. ! La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar una posible contaminación debida al polvo. ¡ATENCION! INSTALACION Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo. No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las condiciones ambientales siguientes: − presión máxima: 2 bar − temperatura: de +5°C a + 35°C − humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto. ALMACENAMIENTO Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: • durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: • temperatura: entre –20 °C y 70 °C; • humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante); • el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; • el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. ! ¡ATENCION! Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada. Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 70LP han de utilizarse exclusivamente con uno de los controladores Varian (serie 969-9405, 969-9505, 969-9507 ó 969-9508) y se conectarán a una bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”). ! ¡ATENCION! Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento en que se conecte la turbobomba al sistema. ¡ATENCIÓN! En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Varian. PREPARACION PARA LA INSTALACION La bomba se suministra en un embalaje de protección dimensional; si se observan señales de daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta más cercana. Durante la operación de desembalaje, prestar una atención especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes. 7 87-900-862-01(E)  INSTRUCCIONES DE USO ! NO! ¡PELIGRO! No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. ! ¡ATENCION! Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta apropiada deberá ser inferior a 2 bar. ! ! ¡PELIGRO! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre la turbobomba a la base. ! TIPO DE MORDAZA N. ISO 63 Mordaza doble con rosca M10 Mordaza individual con rosca M8 4 PAR DE APRIETE 22 Nm 4 11 Nm ¡ATENCION! Para bombear gases agresivos utilizar sólo las versiones especiales de la bomba Turbo - V 70LP. Estas bombas van dotadas de una puerta a través de la cual es preciso suministrar a la bomba un caudal de gas inerte comprendido entre 0.4 y 1 mbar l/s. La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la turbobomba en posición estable uniendo la brida de entrada de la turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un par de 200 Nm alrededor de su eje, o utilizando el kit opcional apropiado para la fijación a la base. La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas individuales. La tabla siguiente describe el número de mordazas necesarias y el par de apriete al que han de apretarse. BRIDA ¡ATENCION! MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo-V70LP no necesitan ningún tipo de mantenimiento. Cualquier operación tendrá que ser realizada por personal autorizado. ! ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba, desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50 ºC. La turbobomba con brida de entrada ConFiat se fijará a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos Varian. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres tornillos M4 fijados en los orificios correspondientes que se encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han de 2 tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm y han de fijarse a un par de 0,9 Nm. Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada. NOTA Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o "advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de "Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje de la bomba antes de enviarla. UTILIZACION Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla. Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no deberá superar 120°C. Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento. En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su eliminación respetando las normas nacionales específicas. 8 87-900-862-01(E)