Varian Turbo-V 1800A Manual de usuario

Tipo
Manual de usuario
Turbo-V 1800A
Model 969-9064
Model 969-9065
Model 969-9066
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
INSTRUCTION MANUAL
87-900-867-01(A)
APRIL 2002
View
our inventory
Turbo-V 1800A
ISTRUZIONI PER L’USO .................................................................................................... 1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3
MODE D’EMPLOI................................................................................................................ 5
INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7
INSTRUÇÕES PARA O USO.............................................................................................. 9
GEBRUIKSAANWIJZINGEN ............................................................................................. 11
BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13
BRUKSANVISNING........................................................................................................... 15
BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17
KÄYTTÖOHJEET ..............................................................................................................19
PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21
INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23
TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28
HEATER BAND INSTALLATION.................................................................................................28
GAS PURGE VALVE INSTALLATION ........................................................................................29
VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................29
VENT DEVICE INSTALLATION ..................................................................................................29
TYPICAL LAYOUT DIAGRAM.....................................................................................................30
Connection A - HIGH VACUUM FLANGE.........................................................................30
Connection B - FORE-VACUUM PUMP............................................................................31
Connection C - ELECTRICAL............................................................................................31
WATER COOLING CONNECTION .............................................................................................31
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................31
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..........................................................32
ACCESSORIES ...........................................................................................................................32
ISTRUZIONI PER L'USO
1 87-900-867-01(A)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si
ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute
all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso
improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi
non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali
specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V1800A sono pompe
turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci
di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non
sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (27000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V1800A
sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi
adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
,
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non
devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:
temperatura: da -20 °C a +70 °C
umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)
Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la
pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del
controller).
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad
urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
La pompa non può essere danneggiata rimanendo
semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul
sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
,
PERICOLO!
La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata
tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
temperatura: da + 5 °C a +35 °C
umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
ISTRUZIONI PER L'USO
2 87-900-867-01(A)
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V1800A devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian
(serie 969-9561, 969-9461) e devono essere collegate ad una
pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").
La turbopompa deve essere installata in posizione verticale, o
in posizione capovolta con una inclinazione massima rispetto
all’asse verticale di 10°.
La pompa può rimanere poggiata sui suoi piedi, o essere
sospesa tramite la flangia di ingresso.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 2814 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti
necessari e con quale coppia di serraggio stringerli.
FLANGIA TIPO DI
MORSETTO
N. COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO 250 Morsetto doppio
con filettatura M10
6 22 Nm
Morsetto singolo
con filettatura M10
12 22 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
Nel caso in cui la pompa poggi sui suoi piedi, questi ultimi
vanno fissati al piano di appoggio utilizzando i fori filettati M6
posti in corrispondenza dei piedi di appoggio. Questi fori sono
posti su di un cerchio con diametro 285 mm (11,22 pollici).
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della
turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.
Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.
Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare
l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la
temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore
a 120 °C.
Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le
operazioni di riscaldamento (vedere l’appendice “Technical
information” per dettagli circa il collegamento del
raffreddamento ad acqua alla pompa).
,
PERICOLO!
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso
attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
ATTENZIONE!
Evitare urti o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in
funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
ATTENZIONE!
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per
proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical
Information").
,
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
MANUTENZIONE
Le pompe della serie Turbo-V1800A non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
,
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa
scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la
pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo
arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale
della pompa sia inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service",
che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione
di quella guasta.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e
Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della
stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della
spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
,
PERICOLO!
Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di
vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla
bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.
NO!
GEBRAUCHSANLEITUNG
3 87-900-867-01(A)
ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier
zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma
Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V1800A handelt es sich um
Turbomolekularpumpen für Hoch- und
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich für jede Art
von Gas oder gashaltige Gemische, nicht jedoch zur Förderung
von Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine
(max. 27000 Upm) erzielt, die von einem
Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-
V1800A-Pumpen enthalten keinerlei unweltschädliche
Substanzen und eignen sich deshalb auch für
Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische
Informationen sind im Anhang "Technical Information"
enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
,
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen
können.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden
an der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:
Temperatur: von -20°C bis +70°C
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%
Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.
ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die
Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen,
nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
,
GEFAHR!
Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe ausschließlich mittels
entsprechend geeigneten Hebe- bzw. Versetzungsgeräten
transportiert bzw. angehoben werden.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen
eingehalten werden:
Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
Temperatur: von +5°C bis +35°C
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).
ACHTUNG!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.
GEBRAUCHSANLEITUNG
4 87-900-867-01(A)
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über
Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms
geschützt werden.
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V1800A dürfen
ausschließlich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen
betrieben werden (Baureihen 969-9561, 969-9461) und müssen
an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema
“Technical Information”).
Die Turbopumpen müssen in vertikaler oder aber in invertierter
Position installiert werden; die maximal zulässige Neigung zur
vertikalen Achse beträgt dabei 10°.
Die Pumpen können ebenso auf den eigenen Standbeinen
stehend oder durch Befestigung am Eingangsflansch in
angehobener Position betrieben werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position,
indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen
Gegenflansch anschließen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 2814 Nm standhalten muß.
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die
Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden
Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen
Klemmschellen sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben.
FLANSCH SCHELLENART ANZAHL ANZUGSMOMENT
ISO 250 Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
6 22 Nm
Einzelklemme mit
NM10-Gewinde
12 22 Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang
“Technical Information”.
Sollte die Pumpe auf ihren eigenen Standfüßen stehend
betrieben werden, so müssen diese mittels der an den Füßen
befindlichen M6-Gewindebohrungen befestigt werden. Diese
Bohrungen sind in einem Kreis mit einem Durchmesser von
285 mm (11,2 Zoll) angebracht.
Installation Sonderzubehör: siehe Anhang “Technical
Information”.
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden. Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das
Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional)
ausgeheizt werden.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C
nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren
Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten
(genauere Angaben zum Anschluß des Kühlwasserkreises an
die Pumpe siehe Anhang “Technical Information”).
,
GEFAHR!
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es
besteht Verbrennungsgefahr.
ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem
atmosphärischen Druck sein.
ACHTUNG!
Während des Betriebs darf die Pumpe weder Stößen noch
ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager
beschädigt werden können.
ACHTUNG!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öfnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
,
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen
die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und
Maßnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V1800A sind wartungsfrei.
Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften
vorgenommen werden.
,
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt
werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der
einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
,
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird
empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör).
Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die
Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.
NEIN!
MODE D’EMPLOI
5 87-900-867-01(A)
INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire
attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser
l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité
en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions
données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non
formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux
réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-1800A .sont des pompes
turbomoléculaires conçues pour des applications de vide
poussé et ultrapoussé, capables de pomper n'importe quel type
de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées
pour le pompage de liquides ou de particules solides.
L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (27000 tr/min maxi), mue par un moteur
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-
V1800A sont totalement dépourvues d’agents polluants et sont
par conséquent indiquées pour les applications exigeant un
vide “propre”.
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant
l’utilisation de l’appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l’appendice “Technical Information”.
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
,
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas
effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient
endommager sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, isolés
du texte.
EMMAGASINAGE
Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra
veiller à respecter les conditions environnementales suivantes:
température: de - 20°C - à + 70°C
humidité relative 0 - 95 % (non condensante)
Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe en
marche en mode SOFT START (voir la notice du contrôleur).
PREPARATION POUR L'INSTALLATION
La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et
à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.
ATTENTION!
En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher,
les mains nues, les éléments devant être exposés au vide.
Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.
INSTALLATION
,
DANGER!
En vertu de son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide
d’outils de levage et de déplacement appropriés.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le
fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions
environnementales suivantes:
pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
température: de +5°C° à +35°C
humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
ATTENTION!
N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la
connexion de la turbopompe au système.
MODE D’EMPLOI
6 87-900-867-01(A)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails,
se reporter à l'appendice "Technical Information".
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V1800A ne
doivent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs spéciaux
Varian (série 969-9561, 969-9461) et doivent être connectées à
une pompe primaire (Cf. schéma dans “Technical Information”).
La turbopompe devra être installée en position verticale ou en
position retournée avec une inclinaison maximum de 10° par
rapport à l’axe vertical.
La pompe peut être mise en appui sur ses pieds ou suspendue
à l’aide de la bride d’entrée. Fixer la turbopompe dans une
position stable en reliant la bride d’entrée à une contre-bride
fixe pouvant supporter un couple de 2814 Nm autour de son
axe.
La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l’aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant indique le nombre de colliers nécessaires et le
couple de serrage prescrit.
BRIDE TYPE DE
COLLIER
NBRE COUPLE DE
SERRAGE
ISO 250 Collier double à
filetage M10
6 22 Nm
Collier simple à
filetage M10
12 22 Nm
La turbopompe à bride d’entrée ConFiat doit être fixée à la
chambre à vide à l’aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à
l’appendice “Technical Information”.
Au cas où la pompe repose sur ses pieds, ceux-ci doivent être
fixés à la base de la pompe à l’aide des orifices filetés M6
positionnés en correspondance des pieds. Ces orifices sont
placés sur un cercles de 285 mm de diamètre (11,22 pouces).
Pour l’installation des accessoires en option, consulter
“Technical Information”.
UTILISATION
Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la
turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de
contrôle.
Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser
la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est
possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du
réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la
chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas
dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau
pendant les opérations de chauffage.
Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les
opérations de chauffage. Pour plus de détails sur le
branchement du refroidissement à l’eau de la pompe, consulter
l’appendice “Technical Information”.
,
DANGER!
Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut causer des lésions aux personnes.
ATTENTION!
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.
ATTENTION!
Eviter tous chocs ou déplacements brusques de la turbopompe
lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les
coussinets.
ATTENTION!
Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de
fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour
protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical
Information").
,
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
ENTRETIEN
Les pompes de la série Turbo-V1800A ne requièrent aucun
entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par
du personnel agréé.
,
DANGER!
Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe,
débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant
la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet
du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la
pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de s'adresser au service
réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange
service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place
de la pompe détraquée.
NOTE
Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des
réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire
parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé"
annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant
l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales en la
matière.
,
DANGER!
Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais
introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou
bien des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est
conseillé d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on
utilise un amortisseur de vibrations ou bien un soufflet
métallique flexible sur l'entrée, fixer toujours la turbopompe
à la base.
NON!
INSTRUCCIONES DE USO
7 87-900-867-01(A)
INFORMACION GENERAL
Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El
usuario deberá leer atentamente el presente manual de
instrucciones y cualquier otra información suplementaria
facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se
considera libre de cualquier responsabilidad debida al
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco
apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las
intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las
normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-1800A son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto
que pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto
gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o
partículas sólidas.
El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa
de alta velocidad (27000 r.p.m./min. máx) movida por un motor
trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V1800A no
llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo tanto son
aptas para aplicaciones que requieren un vacío “limpio”.
Los apartados siguientes contienen toda la información
necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador
al utilizar el aparato. Información más detallada se puede
encontrar en el anexo “Technical Information”.
Este manual utiliza los símbolos convencionales
siguientes:
,
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una operación específica que, al no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
¡ATENCION!
Los mensajes de atención se visualizan antes de
procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños
al equipo.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se
deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes:
temperatura: de -20°C a +70°C
humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en
marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el
manual de la unidad de control).
PREPARACION PARA LA INSTALACION
La bomba se suministra en un embalaje de protección
dimensional; si se observan señales de daños, que podrían
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto
con la oficina de venta más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la
preservación del medio ambiente.
¡ATENCION!
Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin
guantes los componentes destinados a someterse al vacío.
Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada.
NOTA
La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar
una posible contaminación debida al polvo.
INSTALACION
,
¡PELIGRO!
A causa de su peso, la bomba ha de manejarse utilizando las
herramientas específicas de levantamiento y desplazamiento.
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases
agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de
incendio.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
presión máxima: 2 bar por encima de la presión
atmosférica
temperatura: de +5°C a + 35°C
humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
¡ATENCION!
Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
INSTRUCCIONES DE USO
8 87-900-867-01(A)
Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
“Technical Information” para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V1800A han
de utilizarse exclusivamente con uno de los controladores
Varian (serie 969-9561, 969-9461) y se conectarán a una
bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”).
La turbobomba se instalará en posición vertical o en posición
invertida con una inclinación máxima respecto al eje vertical de
10°.
La bomba puede permanecer apoyada sobre sus patas o
colgarse mediante la brida de entrada.
Fijar la turbobomba en posición estable uniendo la brida de
entrada de la turbobomba con una contrabrida fija capaz de
resistir a un par de 2814 Nm alrededor de su eje.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la
cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas
individuales. La tabla siguiente describe el número de
mordazas necesarias y el par de apriete al que han de
apretarse.
BRIDA TIPO DE MORDAZA N. PAR DE
APRIETE
ISO 250 Mordaza doble con
rosca M10
6 22 Nm
Mordaza individual
con rosca M10
12 22 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFiat se fijará a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos Varian.
Para más detalles véase el anexo “Technical Information”.
Si la bomba se apoya sobre sus patas, éstas se fijarán a la
superficie de apoyo utilizando los orificios roscados M6
situados a la altura de las patas de apoyo. Estos orificios están
colocados sobre un círculo con un diámetro de 285 mm (11,22
pulgadas).
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
UTILIZACION
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control.
Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la
temperatura de la brida de entrada no deberá superar 120°C.
Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las
operaciones de calentamiento.
Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las
operaciones de calentamiento (véase el anexo “Technical
Information” para detalles sobre la conexión de la refrigeración
por agua a la bomba).
,
¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
¡ATENCION!
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión
atmosférica.
¡ATENCION!
Evitar los golpes o desplazamientos rápidos de la turbobomba
cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar.
¡ATENCION!
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice
“Technical Information”).
,
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V1800A no necesitan ningún tipo
de mantenimiento. Cualquier operación tendrá que ser
realizada por personal autorizado.
,
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la
bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el
rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté
por debajo de 50 ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el
embalaje de la bomba antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.
,
¡PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de
protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de
vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de
entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.
NO!
INSTRUÇÕES PARA O USO
9 87-900-867-01(A)
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruções e
qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian
antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza
pela eventual inobservância total ou parcial das instruções,
pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas
nacionais específicas.
As bombas da série Turbo-V1800A são bombas
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo,
capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto
gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou
partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (27.000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas Turbo-
V1800A são totalmente sem agentes contaminadores e,
portanto, são adequadas para aplicações que requerem um
vácuo "limpo".
Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do técnico durante o
uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas
no apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
,
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões
pessoais.
ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não observados, poderiam causar
danos à aparelhagem.
OBS
As obs. contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Durante o transporte e a armazenagem das bombas não
devem ser superadas as seguintes condições ambientais:
temperatura: de -20ºC a +70ºC
humidade relativa: 0 - 95% (não condensante)
Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a
bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo).
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399
para a protecção do meio ambiente.
ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
OBS
A bomba não pode ser danificada permanecendo
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para
evitar que se suje com poeiras.
INSTALAÇÃO
,
PERIGO!
A bomba, devido ao seu peso, deve ser manuseada utilizando
os equipamentos apropriados para o levantamento e a
movimentação.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
ATENÇÃO!
Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no
momento da ligação da turbobomba ao sistema.
INSTRUÇÕES PARA O USO
10 87-900-867-01(A)
Existindo campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice
"Technical Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V1800A devem
ser utilizadas somente com um dos controladores Varian
específicos (série 969-9561, 969-9461) e devem ser ligadas a
uma bomba primária (ver esquema em "Technical
Information").
A turbobomba deve ser instalada em posição vertical, ou em
posição invertida com uma inclinação máxima em relação ao
eixo vertical de 10”.
A bomba pode permanecer apoiada nos seus pés, ou ser
suspensa através do flange de entrada. Fixar a turbobomba em
posição estável ligando a flange de entrada da turbobomba a
uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque de 2814
Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às
câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A
tabela a seguir descreve o número de bornes necessários e
com qual torque devem ser apertados.
FLANGE TIPO DE BORNE TORQUE
ISO 250 Borne duplo com rosca
M10
6 22 Nm
Borne simples com rosca
M10
12 22 Nm
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice
"Technical Information".
Se a bomba apoiar nos seus pés, estes deverão ser fixados ao
plano de apoio utilizando os furos rosqueados M6 existentes na
base da bomba. Ditos furos são posicionados num anel com
diâmetro de 285 mm (11,22 polegadas).
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical
Information".
UTILIZAÇÃO
Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o
eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no
flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. Utilizar
sempre o resfriamento com água durante as operações de
aquecimento.
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações
de aquecimento (ver o apêndice “Technical Information” para
os detalhes relativos à ligação à bomba do resfriamento de
água ).
,
PERIGO!
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
ATENÇÃO!
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão
atmosférica).
ATENÇÃO!
Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba
quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer
danos.
ATENÇÃO!
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical
Information").
,
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás.
Não usar a bomba na presença de gases explosivos.
MANUTENÇÃO
As bombas da série Turbo-V1800A não requerem qualquer
manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por
pessoal autorizado.
,
PERIGO!
Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e
até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50
ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com
defeito.
OBS.
Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e
enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.
,
PERIGO!
Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba à base.
N
Ã
O!
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
11 87-900-867-01(A)
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in
acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V1800A zijn turbomoleculaire
pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in
staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn
niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste
deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 27.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V1800A pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen
en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een “schoon
vacuüm” verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur
te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de
bijlage "Technical information".
Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:
,
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de
volgende omgevingscondities aanwezig zijn:
temperatuur: van -20°C tot +70°C
relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend)
Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT
START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid).
UITPAKKEN
De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of
stoten te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of
een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof
wordt voorkomen.
INSTALLATIE
,
GEVAAR!
De pomp moet in verband met haar gewicht met de juiste
hefwerktuigen worden opgeheven en verplaatst.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn:
max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
temperatuur: van +5°C tot +35°C
relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
12 87-900-867-01(A)
Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V1800A
mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de
speciale Varian controllers (serie 969-9561, 969-9461) en
moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in
“Technical Information”).
De turbopomp moet in verticale stand worden geïnstalleerd of
op haar kop, waarbij de hellingsgraad t.o.v. de verticale as
maximaal 10° mag bedragen.
De pomp kan op haar pootjes worden gezet of met behulp van
de inlaatflens worden opgehangen.
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 2814 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde
klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten
worden.
FLENS KLEMTYPE NR. AANHAALKOPPEL
ISO 250 Dubbele klem
met M10
schroefdraad
6 22 Nm
Enkelvoudige
klem met M10
schroefdraad
12 22 Nm
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage “Technical Information”.
Als de pomp op haar pootjes wordt gezet, moeten deze pootjes
aan het steunvlak worden bevestigd met behulp van M6
schroefdraadgaten die zich onder de pootjes moeten bevinden.
Deze gaten bevinden zich op een cirkelomtrek met diameter
van 285 mm (11,22 duim).
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld.
Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd worden met behulp van een optionele
verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de
vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer
dan 120° C bedragen.
Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe (zie bijlage
“Technical Information” voor aanwijzingen over de aansluiting
van de waterkoeling aan de pomp).
,
GEVAAR!
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
ATTENTIE!
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmsoferische druk) bedragen.
ATTENTIE!
Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de
turbopomp in werking is. De lagers kunnen hier namelijk
schade door oplopen.
ATTENTIE!
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage “Technical Information”).
,
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V1800A zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.
,
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
,
GEVAAR!
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de
inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men
raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als
een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan
de basis bevestigen.
NEE!
BRUGSANVISNING
13 87-900-867-01(A)
ALMENE OPLYSNINGER
Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse.
Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere
vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug.
Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt,
eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret
anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages
uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en
måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige
normer.
Turbo-V1800A serien omfatter turbomolekulære pumper til
højvakuum og til ultra-højvakuum, der er i stand til at pumpe
alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til
at pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved
høj hastighed (max. 27000 omdr./min) drevet af en højeffektiv
trefaset elektrisk motor. Turbo-V1800A pumperne er
fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god
anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.
I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for
operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede
oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information".
I denne håndbog findes følgende regler:
,
ADVARSEL!
Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et
indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare
for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.
PAS PÅ!
Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal
overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.
BEMÆRK
Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.
OPLAGRING
Under transport og oplagring af pumpene skal følgende
omgivelsesbetingelser være overholdt:
temperatur: fra -20°C til +70°C
relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i gang
på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til
kontrolenheden).
FORBEREDELSE TIL MONTERING
Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt
vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse,
der kan være sket under transporten.
Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til
den under udpakningen.
Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er
genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv 85/399
vedrørende miljøbeskyttelse.
PAS PÅ!
For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de
bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid
handsker eller anden passende beskyttelse.
BEMÆRK
Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den
atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales
det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i
anlægget.
MONTERING
,
ADVARSEL!
Med hensyn til pumpens vægt må den kun flyttes med dertil
egnet løfteudstyr.
Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.
Følgende betingelser skal overholdes under driften:
maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)
temperatur: fra +5°C til +35°C
relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).
PAS PÅ!
Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik,
turbopumpen tilsluttes anlægget.
BRUGSANVISNING
14 87-900-867-01(A)
Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
“Technical Information” for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i Turbo-V1800A serien må kun
anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie
969-9561, 969-9461) og skal forbindes med en primær
Turbopumpen kan monteres i vertikal stilling, eller med bunden
i vejret med en max. hældning på 10° i forhold til den vertikale
akse.
Pumpen kan enten stå på sine fødder, eller hænges via
indgangsflangen.
Turbopumpen fastspændes ved, at turbopumpens
indgangsflange fastgøres til en fast modflange, der er i stand til
at modstå et drejningsmoment på 2814 Nm omkring aksen.
Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.
Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og det
anvendte tilspændingsmoment for de enkelte
flangedimensioner.
FLANGE KLEMMETYPE ANTAL TILSPÆNDING-
SMOMENT
ISO 250 Dobbelt
klemme gevind
M10
6 22 Nm
Enkelt klemme
gevind M10
12 22 Nm
Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til
vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele
fra Varian. For detaljer henvises til “Teknisk information”.
Hvis pumpen står på sine fødder, skal disse forankres til
underlaget ved hjælp af M6-hullerne i nærheden af
støttefødderne. Disse huller er anbragt på en cirkel med
diameter 285 mm.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
ANVENDELSE
Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen
på indgangsflangen ikke overstige 120°C.
Brug altid vandafkøling under opvarmningen (se “Technical
Information” vedrørende kølevandets tilslutning til pumpen).
,
ADVARSEL!
Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.
PAS PÅ!
Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er
fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.
PAS PÅ!
Undgå stød eller pludselig flytning af turbopumpen, mens den
er i drift. Lejerne kan beskadiges.
PAS PÅ!
Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet med
en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne.
,
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af TURBO-V1800A serien behøver ikke nogen
vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af
autoriseret personale.
,
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50°C.
Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.
BEMÆRK
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i
pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå i
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.
,
ADVARSEL!
For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst
årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens
indgangsåbning. Det anbefales at anvende et
beskyttelsesnet (på efterspørgsel). Hvis der anvendes en
vibrationsdæmper eller en bøjelig metaldæmper på
pumpeåbningen, skal turbopumpen altid fastgøres til
underlagspladen.
NEJ!
BRUKSANVISNING
15 87-900-867-01(A)
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna i Turbo-1800A -serien är turbomolekylära pumpar för
höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas
för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De
lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
27000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V1800A-seriens pumpar, som
därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
,
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
VIKTIGT
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport
och förvaring av pumpen:
temperatur: från -20°C till +70°C
relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART -
metoden (se bruksanvisningen för styrenheten).
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på
skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
VIKTIGT
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
INSTALLATION
,
VARNING!
Pumpen måste p.g.a. sin vikt manövreras med speciella lyft-
och flyttutrustningar.
Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från
atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
temperatur: från +5°C till +35°C
relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
VIKTIGT
Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har
anslutits till systemet.
BRUKSANVISNING
16 87-900-867-01(A)
I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar.
Turbomolekylärpumparna i serien V1800A måste användas
med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9561, 969-
9461), och anslutas till en förpump (se schema i " Technical
information").
Turbopumpen ska installeras i lodrät position eller uppochned
med en max. lutning på 10° i förhållande till den lodräta axeln.
Pumpen kan stödjas mot sina fötter eller vara upphängd med
intagsflänsen.
Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens
intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på
2814 Nm runt sin axel.
Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och
med vilket åtdragningsmoment de ska spännas.
FLÄNS TYP AV
KLAMMER
ANTAL ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
ISO 250 Dubbel klammer
med gänga M10
6 22 Nm
Enkel klammer med
gänga M10
12 22 Nm
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga “Technical Information”.
Om pumpen stödjs på sina fötter, fästs de till stödytan med de
M6-gängade hål som är placerade i förhållande till stödfötterna.
Dessa hål är placerade på en omkrets med diameter 285 mm.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information".
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett
särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under
uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet
aldrig bli högre än 120 °C.
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas. (se
bilaga "Technical Information" för detaljer om pumpens
anslutning till vattenkylning).
,
VARNING!
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.
VIKTIGT
Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning
av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över
atmosfäriskt tryck).
VIKTIGT
Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. I
annat fall kan lagren skadas.
VIKTIGT
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
“Technical information“).
,
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna
för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
UNDERHÅLL
Pumparna i Turbo-V1800A-serien är underhållsfria. Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
,
VARNING!
Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en
renoverad pump.
OBSERVERA
Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.
,
VARNING!
Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp
för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval)
rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga
metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen
förankras i fundamentet.
NEJ
BRUKERVEILEDNING
17 87-900-867-01(A)
GENERELL INFORMASJON
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Turbo-V1800A serien med pumper er turbo-molekulære
pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan
pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke
beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 27000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V1800A
pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for
anlegg med behov for "rene" vakuum.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
,
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
FORSIKTIG
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de
ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende
miljømessige krav oppfylles:
temperatur: fra -20°C til +70°C
relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se
kontrollenhetens manual).
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,
må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
FORSIKTIG
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
MERK
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen.
Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i
systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.
INSTALLASJON
,
ADVARSEL!
Med hensyn til pumpens vekt må den bare flyttes ved hjelp av
et dertil bestemt løfteutstyr.
Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
temperatur: fra +5°C til +35°C
relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
FORSIKTIG
Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før
turbopumpen skal festes til systemet
BRUKERVEILEDNING
18 87-900-867-01(A)
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
Turbo-V1800A serien turbo-molekulære pumper må kun brukes
med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-9561, 969-
9451), og må koples til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk
informasjon").
Turbopumpen kan monteres i vertikal stilling eller opp-og-ned-
vendt, med en maks. helling på 10° i forhold til den vertikale
aksen.
Pumpen kan stå på føttene sine eller henges ved hjelp av en
inngangsflens.
Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet
mot en koplingsflens med et dreiemoment på 2814 Nm rundt
aksen.
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende
tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante
strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene.
FLENS TYPE KLEMME ANTALL STRAMME-
MOMENT
ISO 250 Dobbel klemme
gjenge M10
6 22 Nm
Enkel klemme
gjenge M10
12 22 Nm
Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.
Hvis pumpen står på føttene sine, festes disse til fundamentet
ved hjelp av M6-hullene i nærheten av støtteføttene. Disse
hullene er plasserte på en sirkel med diameter 285 mm.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.
For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av
kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke
overskride 120°C.
Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen (se “Teknisk
informasjon om tilkopling av pumpens kjølevannsledninger).
,
ADVARSEL!
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
FORSIKTIG
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar (over atmosfærisk trykk).
FORSIKTIG
Unngå støt eller brå bevegelser av pumpen når den er i bruk.
Dette kan føre til at lagrene skades.
FORSIKTIG
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se
“Teknisk informasjon).
,
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
VEDLIKEHOLD
Turbo-V1800A serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på
pumpen må kun utføres av autorisert personell.
,
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples
tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og
deretter vente til rotoren har stanset og pumpens
overflatetemperatur er lavere enn 50°C.
Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte
pumpen.
MERK
Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som
innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen
som sendes tilbake.
Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
,
ADVARSEL!
For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre
gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler
på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt
ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible
metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen
er godt festet til underlaget.
NEI
KÄYTTÖOHJEET
19 87-900-867-01(A)
YLEISIÄ TIETOJA
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana
seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama
lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat
laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä,
ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,
valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Turbo-V1800A sarjan pumput ovat korkean ja ultrakorkean
tyhjiön käyttöön tarkoitettuja kaikentyyppisiä kaasuja tai
kaasukoostumien pumppaavia turbomolekyylipumppuja. Ne
eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten
pumppaukseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (27000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka käynnistää
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. Turbo-V1800A -
sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten ne
soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto
laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön
aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical
Information".
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
,
VAARA!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen
käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen suoritus voi
johtaa vakaviin henkilövaurioihin.
HUOMIO
Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden
laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen.
HUOMAUTUS
Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot.
VARASTOINTI
Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy
seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä:
lämpötila: - 20°C - +70°C
suhteellinen kosteus: 0 - 95% ( ei tiivistävä )
Jos varastointiaika on hyvin pitkä, tulee pumppu käynnistää
SOFT START-tavalla (katso valvojan käyttökirja).
VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN
Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa
pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti
kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys
paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun
putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on
täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä
ympäristön suojelusta.
HUOMIO
Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön
tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai
muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen.
HUOMAUTUS
Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On
kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään
järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen
pölyltä.
ASENNUS
,
VAARA!
Pumppua tulee sen painosta johtuen käsitellä asianmukaisten
nosto- ja siirtovälineiden avulla.
Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai
agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa
räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä
koskevia ehtoja:
maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine
lämpötila: + 5°C - +35°C
suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)
HUOMIO
Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun
turbopumppu liitetään järjestelmään.
KÄYTTÖOHJEET
20 87-900-867-01(A)
Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän
tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical
Information“-liitteestä.
Sarjan Turbo-V1800A turbomolekyylipumppuja tulee käyttää
ainoastaan niihin sopivien Varian-valvojien kanssa (sarja 969-
9551, 969-9461) ja niiden tulee olla yhdistettyinä pääpumppuun
(katso kaaviota osasta "Technical Information").
Turbopumppu tulee asentaa pystyasentoon tai ylösalaisin, niin
että se on pystyakselista katsoen kallellaan enintään 10°.
Pumppu voidaan tukea jalkojensa varaan tai se voidaan
asettaa riippuvaan asentoon sisääntulolaipan avulla.
Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kannattaa 2814 Nm momenttia akselinsa ympärillä.
Turbopumpu ISO-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammariin kaksoiskiinnikkeillä tai yksinkertaisilla
kiinnikkeillä. Seuraava taulukko sisältää tarvittavien
kiinnikkeiden määrän ja niiden kiristysmomentit.
LAIPPA KIINNIKE MÄÄRA KIRISTYSMO-
MENTTI
ISO 250 Kaksoiskiinnike
kierteitys M10
6 22 Nm
Yksinkertainen
kiinnike kierteitys
M10
12 22 Nm
Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammariin sopivien Varianin mekaanisten varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information“-liitteestä.
Mikäli pumppu on asennettu jalkojensa varaan, jalat tulee
kiinnittää tukitasoon käyttämällä siihen tehtyjä, tukijalkoja
vastaavia kierteisreikiä M6. Nämä reiät on sijoitettu
läpimitaltaan 285 mm olevaan ympyrään.
Lisälaitteiden asennusohjeet ovat "Technical Information"
osassa.
KÄYTTÖ
Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet
löytyvät valvojan käsikirjasta.
Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.
Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon
kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta
saatavaa kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen
kuumentamisen aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa
olla yli 120 °C.
Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen (ks.
“Technical information” -osaa pumpun vesijäähdytyskytkentöjä
varten).
,
VAARA!
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin kuumentamisen
aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan henkilöiden
loukkaantumisia.
HUOMIO
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia.
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla
alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine).
HUOMIO
Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä
liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voivat vahingoittua.
HUOMIO
Aggressiivisten kaasujen pumppauksta varten mänä pumput on
varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kulettaa pumppuun
ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan
(katso liite “Technical information“).
,
VAARA!
Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka
kaasuun sopivaa menettelytapaa.
Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
HUOLTO
Sarjan Turbo-V1800A pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa.
Minkä tahansa toimenpiteen tulee suorittaa siihen valtuutettu
henkilö.
,
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä
verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen
tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä
ja että pumpun pintalämpö on alle 50º.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka
mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen
tilalle.
HUOMAUTUS
Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai
advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti
täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä
ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää
pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa kansallisen
lainsäädännön määräämällä tavalla.
,
VAARA!
Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään
tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia
tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa
(lisävaruste).
Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai
taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää
aina jalustaan.
EI
ODHGIES CRHSHS
21 87-900-867-01(A)
GENIKES PLHROFORIES
Autˇ h suskeuˇ proorzetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O
crˇsthj qa prpei na diab£sei prosektik£ tij odhgej tou
parèntoj egceiridou kai opoiadˇpote £llh prÒsqeth
plhrofora pou dnei h Varian, prin apÒ th crhsimopohsh thj
suskeuˇj.
H Varian den frei kamma euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ
merikˇ aqthsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek mrouj
anekpadeutou proswpikoÚ, auqaretej epemb£seij ˇ crˇsh
pou den sumfwne me tij eidikj eqnikj diat£xeij.
Oi antlej thj kathgoraj Turbo-V1800A enai
(strobilomoriakj) antlej (ˇ moriakj tourmpnej) gia
efarmogj uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikanj na
antlˇsoun k£qe edouj ario. Enai akat£llhlej gia thn
£ntlhsh ugrèn ˇ stereèn swmatidwn.
H £ntlhsh epitugc£netai diamsou maj tourmpnaj pou
peristrfetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 27000 s.a.l.), h
opoa kinetai apÒ na trifasikÒ hlektrikÒ motr uyhlˇj
apÒdoshj. Oi antlej Turbo-V1800A den pericoun rupantikoÚj
par£gontej, enai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmogj pou
apaitoÚn na "kaqarÒ" kenÒ.
Stij epÒmenej paragr£fouj anafrontai Òlej oi aparathtej
plhroforej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristˇ kat£
th di£rkeia thj crhsimopohshj thj suskeuˇj. Leptomerej
plhroforej dnontai sto par£rthma " Tecnikj Plhroforej ".
Auto to egceirdio crhsimopoie tij akÒlouqej sumb£seij:
,
KINDUNOS!
Oi endexeij kindÚnou elkÚoun thn prosocˇ tou ceiristˇ se mia
diadikasa ˇ se mia eidikˇ ergasa h opoa e£n den ekteleste
swst£, qa mporoÚse na prokalsei sobarj proswpikj
bl£bej.
PROSOCH!
Oi endexeij prosocˇj emfanzontai prin apÒ tij diadikasej oi
opoej e£n den ektelestoÚn me prosocˇ, qa mporoÚsan na
prokalsoun zhmij sth suskeuˇ.
SHMEIWSH
Oi shmeièseij pericoun shmantikj plhroforej pou coun
apospaste apÒ to kemeno.
APOQHKEUSH
Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqˇkeushj twn
antlièn prpei na throÚntai oi akÒlouqej periballontikj
sunqˇkej¿
qermokrasa apo:/ -20°C mcri +70°C
scetikˇ ugrasa: 0 - 95% (asumpÚknwth)
E£n o crÒnoj apoqˇkeushj xepern£ei touj 9 mˇnej, h antla qa
prpei na teqe se knhsh me trÒpo SOFT START (bl. to
egceirdio thj mon£daj elgcou).
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
H antla enai exoplismnh me ma eurÚcwrh prostateutikˇ
suskeuasa. An up£rcoun endexeij bl£bhj pou qa mporoÚsan
na coun proklhqe kat£ th di£rkeia thj metafor£j,
sumbouleutete to topikÒ tmˇma pwlˇsewn. Kat£ th di£rkeia
tou anogmatoj thj suskeuasaj, dèèste idiaterh prosocˇ
tsi èste na mhn psei kai na mhn ctuphqe h antla.
Mhn egkatalepete th suskeuasa sto perib£llon. To ulikÒ
anakuklènetai plˇrwj kai antapokrnetai sthn Odhga thj
E.E. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.
PROSOCH!
Prokeimnou na apofÚgete problˇmata apÒ thn apeleuqrwsh
aerou, mhn aggzete me gumn£ cria ta tmˇmata pou prÒkeitai
na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoiete p£nta g£ntia ˇ £llh
kat£llhlh prostasa.
SHMEIWSH
H antla den katastrfetai e£n aplèj ekteqe ston
atmosfairikÒ ara. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn
kratˇsete kleistˇ mcri th stigmˇ pou qa egkatastaqe sto
sÚsthma, tsi èste na apofeucqe h endecÒmenh rÚpansh apÒ
th skÒnh.
EGKATASTASH
,
KINDUNOS!
H antla, lÒgw tou b£rouj thj, prpei na metakinhqe
diamsou kat£llhlwn sÚnergwn anÚywshj kai metaknhshj.
H antla den qa prpei na egkatastaqe kai-ˇ na
crhsimopoihqe se cèrouj ekteqeimnouj se atmosfairikoÚj
par£gontej (brocˇ, p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ aria, se
cèrouj Òpou up£rcei kndunoj krhxhj ˇ kndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourgaj prpei na throÚntai oi
akÒlouqej sunqˇkej perib£llontoj:
max. pesh: 2 bar
qermokrasa: apÒ +5°C mcri +35°C
scetikˇ ugrasa: 0 - 95 % (asumpÚknwth).
PROSOCH!
Xekoll£te to autokÒllhto kai bg£zete to prostateutikÒ
kap£ki mÒnon th stigmˇ thj sÚndeshj thj tourmpoantlaj
sto sÚsthma.
ODHGIES CRHSHS
22 87-900-867-01(A)
Se magnhtik£ peda Òpou h ntash uperbanei ta 10 mT enai
anagkaa h k£luyh thj antlaj me na sidhromagnhtikÒ
k£lumma.
Oi tourmpomoriakj antlej thj seir£j Turbo-V1800A prpei
na crhsimopoioÚntai mÒno me nan apÒ touj eidikoÚj elgcouj
Varian (seir£ 969-9561, 969-9461) kai prpei na enai
sundedemnej me ma prwteÚousa antla (blpe scˇma stij
"Tecnikj Plhroforej").
H tourmpoantla prpei na egkatastaqe se k£qeth qsh, ˇ se
anatrepÒmenh qsh me ma mgisth klsh 10" se scsh me ton
k£qeto £xona.
H antla mpore na paramenei akoumpismnh sta pÒdia thj, ˇ
na anarthqe diamsou thj fl£ntzaj eisÒdou.
Stereèste thn tourmpoantla se staqerˇ qsh enènontaj th
fl£ntza eisÒdou me ma staqerˇ kÒntrofl£ntza ikanˇ na
sugkratˇsei na zeug£ri 2814 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj.
H tourmpoantla me fl£ntza eisÒdou ISO prpei na sterewqe
sto q£lamo kenoÚ msw diplèn ˇ monèn mggenwn. H akÒlouqh
tampla perigr£fei to aparathto noÚmero mggenwn kai me
poio zeÚgoj bidèmatoj na ta sfxete.
FLANTZ
A
TUPOS MEGGENHS N. ZEUGOS
BIDWMATOS
ISO 250
Diplˇ mggenh me
elkwsh M10
6
22 Nm
Monˇ mggenh me
elkwsh M10
12
22 Nm
H tourmpoantla me fl£ntza eisÒdou ConFlat prpei na
sterewqe sto q£lamo kenoÚ msw twn kat£llhlwn mhcanikèn
exarthm£twn Varian. Gia perissÒterej leptomreiej blpe thn
epifullda "Tecnikj Plhroforej".
Se perptwsh pou h antla sthrzetai sta pÒdia thj, aut£ ta
teleutaa prpei na sterewqoÚn sthn epif£neia stˇrixhj
crhsimopoièntaj tij elikweidej opj M6 pou coun teqe se
antapÒkrish twn podièn stˇrixhj. Autj oi opj brskontai se
nan kÚklo me di£metro 285 mm (11,22 ntsej).
Gia thn egkat£stash twn proeraitikèn axesou£r, blpe
"Tecnikj Plhroforej".
CRHSH
Olej oi odhgej gia th swstˇ leitourga thj tourmpoantlaj
pericontai sto egceirdio elgcou.
Diab£ste prosektik£ autÒ to egceirdio prin apÒ th crˇsh.
Gia na epitÚcete kalÚterej oriakj piseij mporete na
qerm£nete to perblhma thj antlaj crhsimopoièntaj ton
xtra qermantˇ. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj qrmanshj
tou qal£mou kenoÚ h qermokrasa sth fl£ntza eisÒdou den
prpei na xepern£ei touj 120°C. Kat£ th qrmansh na
crhsimopoiete p£nta ugrˇ yÚxh (blpete thn epifullda
"Tecnikj Plhroforej" gia leptomreiej scetik£ me th
sÚndesh thj ugrˇj yÚxhj sthn antla).
,
KINDUNOS!
Mhn aggzete thn tourmpoantla kai ta di£fora exartˇmat£
thj kat£ tij ergasej qrmanshj. H uyhlˇ qermokrasa mpore
na prokalsei proswpikj bl£bej.
PROSOCH!
Gia na dioceteÚsete me ara thn antla crhsimopoieste ara
ˇ adranj ario kaqarÒ apÒ skÒnh ˇ £lla stoicea. H pesh
eisÒdou diamsou thj eidikˇj pÒrtaj, prpei na enai mikrÒterh
apÒ 2 bar.
PROSOCH!
Na apofeÚgontai ctupˇmata ˇ apÒtomej metakinˇseij thj
tourmpoantlaj Òtan enai se leitourga. Qa mporoÚsan na
dhmiourghqoÚn bl£bej sta roulem£n.
PROSOCH!
Gia thn £ntlhsh polemikèn aerwn autj oi antlej enai
efodiasmnej me mia eidikˇ qurda msw thj opoaj enai
anagkaa h diocteush adranoÚj aerou (Azwto ˇ ArgÒ) gia
na prostateutoÚn ta drana (blpete thn epifullda
"Tecnikj Plhroforej")
,
KINDUNOS!
Otan h antla crhsimopoietai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ˇ radienergèn aerwn, akolouqete tij kat£llhlej
carakthrhstikj diadikasej tou k£qe aerou.
Mh crhsimopoiete thn antla parousa ekrhktikèn aerwn.
SUNTHRHSH
Oi antlej thj kathgoraj Turbo - V1800A de crei£zontai
kamma suntˇrhsh. Opoiadˇpote epmbash prpei na gnetai
apÒ eidikeumno proswpikÒ.
,
KINDUNOS!
Prin epiceirˇsete opoiadˇpote epmbash sthn tourmpoantla,
aposundste to kalèdio trofodosaj, k£nte exarwsh sthn
antla anogontaj thn eidikˇ balbda kai perimnete mcri na
stamatˇsei telewj to motr.
Se perptwsh bl£bhj mporete na apeuqunqete sto ser/ice thj
Varian ˇ sto “Varian ad/anced exchange ser/ice”, pou saj
dnei th dunatÒthta na antikatastˇsete thn calasmnh
antla me ma £llh eniscumnh.
SHMEIWSH
Prin epistryete ston kataskeuastˇ thn antla gia episkeuˇ
ˇ gia ad/anced exchange ser/ice, enai aparathto na
sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafeo
Pwlˇsewn, to ntupo -Sigouri£ kai ugea- sunhmmno sto
parÒn egceirdio odhgièn. Antgrafo tou diou entÚpou prpei
na up£rcei msa sth suskeuasa thj antlaj prin apÒ thn
apostolˇ.
Otan plon paÚsei na leitourge h antla qa prpei na
katastrafe sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj.
,
KINDUNOS!
Gia na apofÚgcqoÚn traumatismo se £toma mh b£zete
pot, gia kanna lÒgo, ta d£ctula ˇ £lla antikemena
sto stÒmio eisÒdou thj tourmpoantlaj. SumbouleÚetai h
crˇsh tou dictuoÚ prostasaj (proeraitikÒ). An
crhsimopoietai naj aposbestˇraj donˇsewn ˇ na
elastikÒ metallikÒ mikrÒ fuserÒ sto stÒmio eisÒdou,
stereènete p£nta thn tourmpoantla sth b£sh.
OCI
INSTRUCTIONS FOR USE
23 87-900-867-01(A)
GENERAL INFORMATION
This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions, im-
proper use by untrained persons, non-authorised interference
with the equipment or any action contrary to that provided for
by specific national standards.
The Turbo-V 150HT series pumps are turbo-molecular pumps
for high and ultra-high vacuum applications and can pump any
type of gas or gas compound. They are not suitable for pump-
ing liquids or solid particles. The pumping action is obtained
through a high speed turbine (max. 62000 rpm) driven by a
high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 150HT
pumps are free of contaminating agents and, therefore, are
suitable for applications requiring a "clean" vacuum.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the equip-
ment. Detailed information is supplied in the appendix "Techni-
cal Information".
This manual uses the following standard protocol:
!
!!
!
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not fol-
lowed correctly, could lead to serious injury.
!
!!
!
CAUTION
The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.
NOTE
The notes contain important information taken from the text.
STORAGE
When transporting and storing the pumps, the following envi-
ronmental requirements should not be exceeded:
temperature: from -20° to +70 °C
relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
If the storage time is long start the pump using the SOFT
START mode (see control unit manual).
PREPARATION FOR INSTALLATION
The pump is supplied in a special protective packing. If this
shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.
!
!!
!
CAUTION
In order to prevent outgassing problems, do not use bare
hands to handle components which will be exposed to vacuum.
Always use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the pump.
Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed
in the system, thus preventing any form of pollution by dust.
INSTALLATION
!
!!
!
WARNING!
Cause its weight, the pump must be handled by means of suit-
able moving and handling tools.
Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk. Dur-
ing operation, the following environmental conditions must be
respected:
maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
temperature: from +5 °C to +35 °C
relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical In-
formation" for detailed information.
!
!!
!
CAUTION!
Do not remove the adhesive and protective cap before con-
necting the turbopump to the system.
INSTRUCTIONS FOR USE
24 87-900-867-01(A)
The Turbo - V 1800A series pumps must only be used with one
of the special Varian controllers (series 969-9561, 969-9461)
and must be connected to a primary pump (see "Technical
Information").
The turbopump must be installed vertically or upside-down,
with a maximum slope of 10°.
The pump can either rest on its support pedestal or it can be
suspended from the high vacuum flange.
Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet
flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of
withstanding a torque of 2814 Nm around its axis.
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vac-
uum chamber by means of clamps or claws. The following ta-
ble shows, for each flange and fixing device, the necessary
number of clamps or claws and the relevant fixing torque.
FLANGE FIXING
DEVICE
N. FIXING TORQUE
ISO 250 M10 clamps 6 22 Nm
M10 claws 12 22 Nm
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian hard-
ware. See the appendix "Technical Information" for a detailed
description.
When the pump rest on its legs, attach them to the bench us-
ing teh M6 threaded holes in the legs where the rubber feet are
installed. These holes are located on a 285 mm (11.22 inches)
diameter.
For installation of optional accessories, see "Technical Infor-
mation".
USE
All the instructions for the correct use of the turbopump are
contained in the control unit manual.
Read the manual carefully before using the pump.
In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump
casing may be heated using the optional heater. While heating
the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed
120 °C. Always use the water cooling system during the heat-
ing operations (see annex “Technical information” for details
about the water cooling connection).
!
!!
!
WARNING!
Do not touch the turbopump or any of its accessories during
the heating process. The high temperatures may cause burns.
!
!!
!
CAUTION
Use air or inert gas free from dust or particles for venting the
pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar
(above atmospheric pressure).
!
!!
!
CAUTION
Avoid impacts or harsh movements of the pump when in
operation.The bearings may become damaged.
!
!!
!
CAUTION
For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a
special port to allow a steady flow of inert gas (like N
2
, Ar) for
pump bearing protection (see the appendix "Technical Informa-
tion").
!
!!
!
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases.
MAINTENANCE
The Turbo-V 1800A series pump does not require any mainte-
nance. Any work performed on the pump must be carried out
by authorized personnel.
!
!!
!
WARNING!
Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it
from the supply, vent the pump by opening the appropriate
valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.
In the case of breakdown, contact your local Varian service
center who can supply a reconditioned pump to replace that
broken down.
NOTE
Before returning the pump to the constructor for repairs, or re-
placement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"
sheet attached to this instruction manual must be filled-in and
sent to the local sales office. A copy of the sheet must be in-
serted in the pump package before shipping.
If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accor-
dance with the specific national standards.
!
!!
!
WARNING!
To avoid injury, never put fingers or any objects whatso-
ever in the inlet port of the turbopump. The use of the pro-
tective screen is strongly advised (optional extra). If a
vibration damper or flexible metallic bellows are used on
the inlet port, make sure that the pump is fixed to the ba-
se.
NO!
TECHNICAL INFORMATION
The Turbo-V1800A pump consists of a medium
frequency motor driving a turbine fitted with 12
bladed stages. The turbine rotates in an anticlock-
wise direction when viewed from the high vacuum
flange end.
The turbine is made of high-strength, light alumin-
ium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The first 3 high vacuum stages have
blade angles of 40°, the subsequent four stages
have blade angles of 30°, and the lower stages
have blade angles of 20°.
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP
The Turbo-V1800A pump is available in three
models. The three models, which differ only in the
high vacuum flange, are:
Model 969-9064 with ISO 250 high vacuum
flange
Model 969-9065 with ConFlat 12” external di-
ameter high vacuum flange
Model 969-9066 with ConFlat 12.5" external
diameter high vacuum flange
The turbine rotor is supported by high precision
ceramic ball bearings lubricated with a proprietary
process located on the forevacuum side of the
pump.
The static blades of the stator are made of
stainless steel. These are supported and accu-
rately positioned by spacer rings.
During normal operation, the motor is fed with a
voltage of 90 Vac three-phase at 450 Hz. To re-
duce losses during start-up to a minimum, the fre-
quency increases according to a ramp with a
higher initial voltage/frequency ratio.
Model 969-9064
Model 969-9065
Model 969-9066
A water jacket surrounds the pump stator and is
used to cool the motor, which operates in the fore-
vacuum region of the pump. Cooling water is con-
nected to the pump via two riffled nozzles on the
cooling jacket.
A thermistor sensor is mounted directly on the mo-
tor stator and pump body to prevent the pump
from overheating. The thermistor sensor, the mo-
tor stator windings and the earth are connected to
a Turbo-V controller through a 7 pin socket on the
side of the pump.
The pump is balanced after assembly with a resid-
ual vibration amplitude less than 0.02 µm.
The pump must be mounted vertically or upside
down, with a maximum allowable slope of 10°. It
can be suspended by inlet flange or rest upon its
support legs. The connection of the forevacuum on
the side of the pump is an ISO 63 flange.
25 87-900-867-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
TECHNICAL SPECIFICATION
Pumping speed N
2
: 1600 l/s
He: 1850 l/s
H
2
: 1750 l/s
Compression ra-
tio
N
2
: >1 x 10
10
He: 2.5 x 10
5
H
2
: 6 x 10
3
Base pressure* 1 x 10
-10
mbar
(7.5 x 10
-11
Torr)
Inlet flange ISO 250
CFF 12" CFF 12.5”
Foreline flange ISO 63
Vent port flange KF 10 NW
Purge port
flange
KF 10 NW
Rotational speed 27000 rpm
Start-up time 10 minutes
Recommended
forepump
Varian SD 700
Operating
position
Vertical/inverted
(max slope 10°)
Operating ambi-
ent temperature
+ 5° C to + 35° C
Coolant water flow: 70 l/h (0.3 GPM)
temperature: +10° C to +30°
C
pressure: 2 to 4 bar
(30 to 60 Psi)
Bakeout
temperature
120° C at inlet flange
maximum
Vibration level
(displacement)
< 0.02 µm at inlet flange
Noise level
52 dB (A) at 1 meter
Input 90 Vac, three phase, 450 Hz
Lubricant permanent lubrication
Storage
temperature
- 20° C to + 70° C
Weight kg (lbs) 62 (137)
* According to standard DIN 28 428, the base
pressure is that measured in a leak-free test
dome, 48 hours after the completion of test dome
bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat
flange and using the recommended pre-vacuum
pump.
26 87-900-867-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure
Graph of compression ratio vs foreline pressure
Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using
the recommended mechanical forevacuum pump
27 87-900-867-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
INLET SCREEN INSTALLATION
The inlet screens mod. 969-9306 prevents the
blades of the pump from being damaged by debris
greater than 2 mm diameter.
The inlet screen, however, will reduce the pumping
speed by about 15%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.
The screen can be mounted on each pump model.
The following figure show the overall flange di-
mensions with the protection screen fitted on
pump with ISO flange and pump with CFF flange.
HEATER BAND INSTALLATION
The heater band model 969-9811 and 969-9812
can be used to heat the pump casing when a
bakeout is needed.
The heater band is applied to the upper part of the
pump casing, as shown in the figure, and heats it
to a temperature of about 80° C.
The heater band must be mounted such that there
is perfect thermal contact with the pump wall to ob-
tain fast and efficient heating.
Switch on the heater while the turbopump is in op-
eration. In the event of turbopump overheat, the
heater will be automatically cut out by the thermis-
tor sensor.
28 87-900-867-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
NOTE
The turbopump must be "baked" only when
operating with an inlet pressure less than 10
-4
mbar and with water cooling.
CAUTION
If the chamber of the system is "baked" at a high
temperature, a shield should be installed to pre-
vent thermal radiation heating the high vacuum
flange on the pump. The maximum temperature
allowed for the inlet flange is 120° C.
GAS PURGE VALVE INSTALLATION
A gas purge valve is available to protect the pump
bearings against particulate and corrosive gases
that could move into the pump.
To install the gas purge valve it is necessary to
lock the purge valve in position using the KF klamp
as shown in the following figure.
VENT VALVE INSTALLATION
The vent valve mod. 969-9833 allows to avoid un-
desired venting of the pump during a temporary
power failure (5 sec maximum), and enables an
automatic vent operation.
Screw the vent valve into the vent port of the pump
and tighten it using a 10 mm. hexagonal spanner
with a torque of 2.5 Nm.
CAUTION
Do not overtighten the valve as this may damage
the thread on the pump.
VENT DEVICE INSTALLATION
The vent device mod. 969-9831 allows to avoid
undesired venting of the pump during a temporary
power failure (adjustable time up to 36 min.), and
enables an automatic vent operation.
Assemble the seal ring and lock the vent device in
position using the KF klamp as shown in the fol-
lowing figure.
29 87-900-867-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
TYPICAL LAYOUT DIAGRAM
Connection A - HIGH VACUUM FLANGE
To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,
remove the outer ring and position the centering
ring as shown in the figure.
Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.
1. Turbo-V controller
2. Vent valve
3. Vacuum pump shut-off valve (optional)
4. System vent valve (optional)
5. Vacuum chamber
6. Ionisation gauge
7. Fore-vacuum pump connecting flange
8. Oil mist eliminator
9. Fore-vacuum pump with internal one-way
valve
For ConFlat flange connections we recommend
using Varian hardware.
To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-
pro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange.
Attach the units and tighten each one in turn. Re-
peat the sequential tightening until the flange faces
meet.
10. Fore-vacuum pump control relay
11. Connection for water cooling
12. Roughing line with valve (optional)
13. Turbopump
14. Flexible connection
CAUTION
Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.
30 87-900-867-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
Connection B - FORE-VACUUM PUMP
WATER COOLING CONNECTION
A flange ISO 63 is available to connect the Tur-
bopump to the fore-vacuum pump. A hose or vac-
uum approved pipe can be used. If a rigid pipe is
used, any vibration generated by the mechanical
pump must be eliminated through the use of bel-
lows.
The turbopump must be used with the water cool-
ing connected.
To connect the water cooling to the turbopump see
the following figure.
NOTE
The Turbo pump is characterised by its high com-
pression ratio also for oil vapours. When using a
mechanical oil-sealed pump, it is advisable to in-
stall a suitable trap between the turbopump and
the fore-vacuum pump in order to prevent oil back-
streaming.
Connection C - ELECTRICAL
The turbopump is connected to the controller
through an 7-pin connector. Pins B, G and E are
the 3-phase supply to the motor, pins A and F are
connected to the temperature sensor (NTC type,
30 K resistance at 20° C) and pins C and D are
available for further connections.
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES
To prevent damage to the bearings, an inert gas
must flow into the pump body around the upper
bearing towards the forevacuum line.
To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen, ar-
gon) to the pump through the purge port, connect
a gas purge valve between the pressure regulator
and the pump (see the following figure). Adjust the
pressure regulator in order to read a gas flow rate
of 0.1 to 0.8 mbar l/s.
The ground cable should be connected to the con-
troller. If the temperature sensor is disconnected,
the pump will not start. To prevent damage to the
pump when the temperature exceeds 60° C, the
sensor automatically cuts out the power supply.
CAUTION
To prevent bearing damage, Varian suggests a
minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17
mbar l/s). This value can be exceeded, according
to the process requirements. Please contact Var-
ian for specific applications.
The purge gas throughput with the recommended
forepump of 15 m
3
/h (11 CFM) allows to achieve a
high vacuum pressure in the 10
-8
mbar range.
31 87-900-867-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
32 87-900-867-01(A)
The recommended gas flow maintains a pressure
into the pump body higher than the forevacuum
pressure.
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC
FIELDS
Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose to its
rotation.
The result is increased electrical power consump-
tion by the motor, most of which is dissipated in
the rotor.
Since the rotor is not in contact with the stator the
above power can leave the rotor mainly by radia-
tion and hence the rotor may be overheated while
static parts of the pump remain cool.
This effect is strongly dependant from the inten-
sity, time function and distribution of the magnetic
field.
1. Purge gas line
2. Pressure regulator
3. Gas purge valve
4. Gas purge port
5. Forevacuum pump
6. Turbopump
7. Vent valve
In general, therefore, an increase in pump current
can be expected.
If this increase is lower than 50% of the current
value drawn by the motor in high vacuum opera-
tion, no particular problem should be expected.
The recommended procedure to vent the system
and the pump avoiding the contact between the
pump bearings and the corrosive gas is described
in the following points:
However if the effect is grater, than the case
should be carefully reviewed by Varian's specialist.
As a matter of fact, in case of high magnetic fields,
also important forces might be generated and ap-
plied to the rotor.
1. Close the corrosive gas flow into the system.
2. Leaving the Turbo-V pump and the backing
pump running and the purge gas flowing, wait
for enough time to evacuate the corrosive gas
from the system.
ACCESSORIES
DESCRIPTION PART NUMBER
Inlet screen, ISO 250 969-9306
Heater band, 120 V 969-9812
Heater band, 220 V 969-9811
Vent valve with fixed delay
time
969-9833
Vent device with adjustable
delay time
969-9831
Forepump SD 700, with 3
ph., 220/380 V, 50 Hz motor
949-0860-080
Forepump SD 700 with 1
ph., 120/220 V, 60 Hz motor
0424-P1241-307
Forepump SD 700, with 3
ph.,
universal motor
0424-P1241-337
3. Open the Turbo-V vent port slowly until to
reach atmospheric pressure in the system.
4. Turn off the Turbopump.
5. When the Turbo-V pump and the backing
pump are stopped and the system is at at-
mospheric pressure, for a better bearing pro-
tection it is advisable to leave the purge gas
flowing into the Turbo-V pump, with the
chamber or the Turbo-V vent valve opened, to
avoid system overpressures.
If the vent valve can't be kept opened, the
backing pump should be left operating.
For a complete overview of Varian's extensive
product lines, please refer to the Varian catalog.
Request for Return
1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
3. The customer is expected to take the following actions to ensure the
Safety
of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : +1 781 8617200
Fax: +1 781 8609252
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: +39 011 9979111
Fax: +39 011 9979330
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only:
Taxable
Non-taxable
Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...
……………..…………………... ..………………………………...
………………..………………... ..………………………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange
Paid Repair
Warranty Exchange
Warranty Repair
Loaner Return
Credit
Shipping Error
Evaluation Return
Calibration
Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT
been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS
been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……
NOTE:
If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,
the customer
will be held responsible
for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and
is liable
for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..
Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
POSITION PARAMETERS
Does not start
Noise
Vertical
Power: Rotational Speed:
Does not spin freely
Vibrations
Horizontal
Current: Inlet Pressure:
Does not reach full speed
Leak
Upside-down
Temp 1: Foreline Pressure:
Mechanical Contact
Overtemperature
Other: Temp 2: Purge flow:
Cooling defective …………………. OPERATION TIME:
TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS
Bad feedthrough
Poor vacuum
Main seal leak
Bellows leak
Vacuum leak
High voltage problem
Solenoid failure
Damaged flange
Error code on display
Other
Damaged sealing area
Other
Customer application:
Customer application:
LEAK DETECTORS INSTRUMENTS
Cannot calibrate
No zero/high backround
Gauge tube not working
Display problem
Vacuum system unstable
Cannot reach test mode
Communication failure
Degas not working
Failed to start
Other
Error code on display
Other
Customer application:
Customer application:
PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS
Pump doesn’t start
Noisy pump (describe)
Heater failure
Electrical problem
Doesn’t reach vacuum
Over temperature
Doesn’t reach vacuum
Cooling coil damage
Pump seized
Other
Vacuum leak
Other
Customer application:
Customer application:
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.
Sales and Service Offices
Argentina
Varian Argentina Ltd.
Sucursal Argentina
Av. Ricardo Balbin 2316
1428 Buenos Aires
Argentina
Tel: (54) 1 783 5306
Fax: (54) 1 786 5172
Australia
Varian Australia Pty Ltd.
679-701 Springvale Road
Mulgrave, Victoria ZZ 3170
Australia
Tel: (61) 395607133
Fax: (61) 395607950
Benelux
Varian Vacuum Technologies
Rijksstraatweg 269 H,
3956 CP Leersum
The Netherlands
Tel: (31) 343 469910
Fax: (31) 343 469961
Brazil
Varian Industria e Comercio Ltda.
Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644
Vila Olimpia
Sao Paulo 04548 005
Brazil
Tel: (55) 11 3845 0444
Fax: (55) 11 3845 9350
Canada
Central coordination through:
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free: (800) 882 7426
China
Varian Technologies - Beijing
Room 1201, Jinyu Mansion
No. 129A, Xuanwumen Xidajie
Xicheng District
Beijing 1000031 P.R. China
Tel: (86) 10 6608 1530
Fax: (86) 10 6608 1534
France and Wallonie
Varian s.a.
7 avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: (33) 1 69 86 38 13
Fax: (33) 1 69 28 23 08
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: (49) 6151 703 353
Fax: (49) 6151 703 302
India
Varian India PVT LTD
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: (91) 11 5548444
Fax: (91) 11 5548445
Italy
Varian Vacuum Technologies
Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9111
Fax: (39) 011 997 9350
Japan
Varian Vacuum Technologies
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253
Fax: (81) 3 5232 1263
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd.
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: (82) 2 3452 2452
Fax: (82) 2 3452 2451
Mexico
Varian S.A.
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: (52) 5 523 9465
Fax: (52) 5 523 9472
Ta i w a n
Varian Technologies Asia Ltd.
18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road
Sec. 1, Hsi Chih
Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: (886) 2 2698 9555
Fax: (886) 2 2698 9678
UK and Ireland
Varian Ltd.
28 Manor Road
Walton-On-Thames
Surrey KT 12 2QF
England
Tel: (44) 1932 89 8000
Fax: (44) 1932 22 8769
United States
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free: (800) 882 7426
Other Countries
Varian Vacuum Technologies
Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9111
Fax: (39) 011 997 9350
Internet Users:
Customer Service & Technical Support:
vtt.customer.service@varianinc.com
Worldwide Web Site:
www.varianinc.com/vacuum
Order On-line:
www.evarian.com
Representatives in most countries
11/01

Transcripción de documentos

View our inventory Turbo-V 1800A Model 969-9064 Model 969-9065 Model 969-9066 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS INSTRUCTION MANUAL 87-900-867-01(A) APRIL 2002 Turbo-V 1800A ISTRUZIONI PER L’USO .................................................................................................... 1 GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3 MODE D’EMPLOI ................................................................................................................ 5 INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7 INSTRUÇÕES PARA O USO .............................................................................................. 9 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ............................................................................................. 11 BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13 BRUKSANVISNING........................................................................................................... 15 BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19 PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21 INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23 TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25 TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26 INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28 HEATER BAND INSTALLATION.................................................................................................28 GAS PURGE VALVE INSTALLATION ........................................................................................29 VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................29 VENT DEVICE INSTALLATION ..................................................................................................29 TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................30 Connection A - HIGH VACUUM FLANGE.........................................................................30 Connection B - FORE-VACUUM PUMP............................................................................31 Connection C - ELECTRICAL............................................................................................31 WATER COOLING CONNECTION .............................................................................................31 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................31 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..........................................................32 ACCESSORIES ...........................................................................................................................32 ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. Le pompe della serie Turbo-V1800A sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (27000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V1800A sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: , PERICOLO! I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.  ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura. NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. INSTALLAZIONE IMMAGAZZINAMENTO , Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: − temperatura: da -20 °C a +70 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante) Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del controller). Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica − temperatura: da + 5 °C a +35 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.  PERICOLO! La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.  ATTENZIONE! Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema. ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. 1 87-900-867-01(A) ISTRUZIONI PER L'USO Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C. Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento (vedere l’appendice “Technical information” per dettagli circa il collegamento del raffreddamento ad acqua alla pompa). NO! , PERICOLO! Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone.  , PERICOLO! Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione (opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.  ISO 250 TIPO DI MORSETTO N. COPPIA DI SERRAGGIO Morsetto doppio con filettatura M10 Morsetto singolo con filettatura M10 6 22 Nm 12 ATTENZIONE! Evitare urti o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.  In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V1800A devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian (serie 969-9561, 969-9461) e devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). La turbopompa deve essere installata in posizione verticale, o in posizione capovolta con una inclinazione massima rispetto all’asse verticale di 10°. La pompa può rimanere poggiata sui suoi piedi, o essere sospesa tramite la flangia di ingresso. Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 2814 Nm attorno al proprio asse. La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. FLANGIA ATTENZIONE! Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). ATTENZIONE! Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). , PERICOLO! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. MANUTENZIONE Le pompe della serie Turbo-V1800A non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. , PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C. 22 Nm La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Nel caso in cui la pompa poggi sui suoi piedi, questi ultimi vanno fissati al piano di appoggio utilizzando i fori filettati M6 posti in corrispondenza dei piedi di appoggio. Questi fori sono posti su di un cerchio con diametro 285 mm (11,22 pollici). Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta. NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione. USO Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale. Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. 2 87-900-867-01(A) GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINES Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Bei den Pumpen der Serie Turbo-V1800A handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hochund Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich für jede Art von Gas oder gashaltige Gemische, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine (max. 27000 Upm) erzielt, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die TurboV1800A-Pumpen enthalten keinerlei unweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: , GEFAHR! Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können. ANMERKUNG Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubverschmutzungen zu vermeiden.  ACHTUNG! Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können. INSTALLATION , ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. GEFAHR! Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe ausschließlich mittels entsprechend geeigneten Hebe- bzw. Versetzungsgeräten transportiert bzw. angehoben werden. LAGERUNG Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: − Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck − Temperatur: von +5°C bis +35°C − Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend). Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen folgende klimatische Verhältnisse vorliegen: − Temperatur: von -20°C bis +70°C − Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden (siehe Handbuch der Steuereinheit). VOR DER INSTALLATION Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden. Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz.  ACHTUNG! Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.  ACHTUNG! Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten Schutz tragen. 3 87-900-867-01(A) GEBRAUCHSANLEITUNG ANWENDUNG Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten. Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen werden. Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden. Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten (genauere Angaben zum Anschluß des Kühlwasserkreises an die Pumpe siehe Anhang “Technical Information”). NEIN! , , GEFAHR!  ACHTUNG! Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphärischen Druck sein.  ACHTUNG! Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden. Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V1800A dürfen ausschließlich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen betrieben werden (Baureihen 969-9561, 969-9461) und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema “Technical Information”). Die Turbopumpen müssen in vertikaler oder aber in invertierter Position installiert werden; die maximal zulässige Neigung zur vertikalen Achse beträgt dabei 10°. Die Pumpen können ebenso auf den eigenen Standbeinen stehend oder durch Befestigung am Eingangsflansch in angehobener Position betrieben werden. Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen Gegenflansch anschließen, der um die eigene Achse einem Drehmoment von 2814 Nm standhalten muß. Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben. Während des Betriebs darf die Pumpe weder Stößen noch ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager beschädigt werden können.  ACHTUNG! Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öfnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt werden darf (siehe Anhang "Technical Information"). , 12 GEFAHR! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen befolgt werden. Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven Gasen. WARTUNG Die Pumpen der Baureihe Turbo-V1800A sind wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften vorgenommen werden. FLANSCH SCHELLENART ANZAHL ANZUGSMOMENT ISO 250 Doppelklemme mit 6 22 Nm NM10-Gewinde Einzelklemme mit NM10-Gewinde GEFAHR! Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht Verbrennungsgefahr. , 22 Nm GEFAHR! Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften, warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist. Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang “Technical Information”. Sollte die Pumpe auf ihren eigenen Standfüßen stehend betrieben werden, so müssen diese mittels der an den Füßen befindlichen M6-Gewindebohrungen befestigt werden. Diese Bohrungen sind in einem Kreis mit einem Durchmesser von 285 mm (11,2 Zoll) angebracht. Installation Sonderzubehör: siehe Anhang “Technical Information”. Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced exchange service" in Anspruch genommen werden. ANMERKUNG Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden. Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen. 4 87-900-867-01(A) MODE D’EMPLOI INDICATIONS GENERALES Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Les pompes de la série Turbo-1800A .sont des pompes turbomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultrapoussé, capables de pomper n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de particules solides. L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (27000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Les pompes TurboV1800A sont totalement dépourvues d’agents polluants et sont par conséquent indiquées pour les applications exigeant un vide “propre”. Les paragraphes suivants donnent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant l’utilisation de l’appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l’appendice “Technical Information”. Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: , DANGER! Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.  ATTENTION! NOTE Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage. La pompe ne peut être endommagée en restant simplement exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute pollution due à la poussière. NOTE INSTALLATION Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du texte. , EMMAGASINAGE DANGER! En vertu de son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide d’outils de levage et de déplacement appropriés. Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra veiller à respecter les conditions environnementales suivantes: − température: de - 20°C - à + 70°C − humidité relative 0 - 95 % (non condensante) Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe en marche en mode SOFT START (voir la notice du contrôleur). Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: − pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique − température: de +5°C° à +35°C − humidité relative: 0 - 95% (non condensante) PREPARATION POUR L'INSTALLATION La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration. Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement.  ATTENTION! N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la connexion de la turbopompe au système.  ATTENTION! En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. 5 87-900-867-01(A) MODE D’EMPLOI réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage. Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage. Pour plus de détails sur le branchement du refroidissement à l’eau de la pompe, consulter l’appendice “Technical Information”. NON! , DANGER! Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut causer des lésions aux personnes.  ATTENTION! , Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique. DANGER! Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou bien des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est conseillé d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on utilise un amortisseur de vibrations ou bien un soufflet métallique flexible sur l'entrée, fixer toujours la turbopompe à la base.  ATTENTION! Eviter tous chocs ou déplacements brusques de la turbopompe lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les coussinets.  ATTENTION! En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information". Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V1800A ne doivent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs spéciaux Varian (série 969-9561, 969-9461) et doivent être connectées à une pompe primaire (Cf. schéma dans “Technical Information”). La turbopompe devra être installée en position verticale ou en position retournée avec une inclinaison maximum de 10° par rapport à l’axe vertical. La pompe peut être mise en appui sur ses pieds ou suspendue à l’aide de la bride d’entrée. Fixer la turbopompe dans une position stable en reliant la bride d’entrée à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de 2814 Nm autour de son axe. La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à l’aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant indique le nombre de colliers nécessaires et le couple de serrage prescrit. BRIDE ISO 250 TYPE DE COLLIER NBRE Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical Information"). , ENTRETIEN Les pompes de la série Turbo-V1800A ne requièrent aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par du personnel agréé. , COUPLE DE SERRAGE Collier double à filetage M10 6 22 Nm Collier simple à filetage M10 12 22 Nm DANGER! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. DANGER! Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C. En cas de panne, il est possible de s'adresser au service réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la pompe détraquée. La turbopompe à bride d’entrée ConFiat doit être fixée à la chambre à vide à l’aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l’appendice “Technical Information”. Au cas où la pompe repose sur ses pieds, ceux-ci doivent être fixés à la base de la pompe à l’aide des orifices filetés M6 positionnés en correspondance des pieds. Ces orifices sont placés sur un cercles de 285 mm de diamètre (11,22 pouces). Pour l’installation des accessoires en option, consulter “Technical Information”. NOTE Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. UTILISATION Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales en la matière. 6 87-900-867-01(A) INSTRUCCIONES DE USO INFORMACION GENERAL Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las normas nacionales específicas. Las bombas de la serie Turbo-1800A son bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto que pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa de alta velocidad (27000 r.p.m./min. máx) movida por un motor trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V1800A no llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo tanto son aptas para aplicaciones que requieren un vacío “limpio”. Los apartados siguientes contienen toda la información necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador al utilizar el aparato. Información más detallada se puede encontrar en el anexo “Technical Information”. Este manual utiliza los símbolos convencionales siguientes: , ¡PELIGRO! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. NOTA La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar una posible contaminación debida al polvo.  ¡ATENCION! Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo. INSTALACION NOTA , Las notas contienen información importante extraída del texto. ¡PELIGRO! A causa de su peso, la bomba ha de manejarse utilizando las herramientas específicas de levantamiento y desplazamiento. ALMACENAMIENTO No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las condiciones ambientales siguientes: − presión máxima: 2 bar por encima de la presión atmosférica − temperatura: de +5°C a + 35°C − humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes: − temperatura: de -20°C a +70°C − humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el manual de la unidad de control). PREPARACION PARA LA INSTALACION La bomba se suministra en un embalaje de protección dimensional; si se observan señales de daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta más cercana. Durante la operación de desembalaje, prestar una atención especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes. No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la preservación del medio ambiente.  ¡ATENCION! Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento en que se conecte la turbobomba al sistema.  ¡ATENCION! Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada. 7 87-900-867-01(A) INSTRUCCIONES DE USO temperatura de la brida de entrada no deberá superar 120°C. Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento. Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento (véase el anexo “Technical Information” para detalles sobre la conexión de la refrigeración por agua a la bomba). NO! , ¡PELIGRO! No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas.  ¡ATENCION! , Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión atmosférica. ¡PELIGRO! Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.  ¡ATENCION! Evitar los golpes o desplazamientos rápidos de la turbobomba cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar. Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice “Technical Information” para más detalles. Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V1800A han de utilizarse exclusivamente con uno de los controladores Varian (serie 969-9561, 969-9461) y se conectarán a una bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”). La turbobomba se instalará en posición vertical o en posición invertida con una inclinación máxima respecto al eje vertical de 10°. La bomba puede permanecer apoyada sobre sus patas o colgarse mediante la brida de entrada. Fijar la turbobomba en posición estable uniendo la brida de entrada de la turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un par de 2814 Nm alrededor de su eje. La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas individuales. La tabla siguiente describe el número de mordazas necesarias y el par de apriete al que han de apretarse. BRIDA ISO 250 TIPO DE MORDAZA N. PAR DE APRIETE Mordaza doble con rosca M10 6 22 Nm Mordaza individual con rosca M10 12 22 Nm  ¡ATENCION! Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice “Technical Information”). , ¡PELIGRO! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo-V1800A no necesitan ningún tipo de mantenimiento. Cualquier operación tendrá que ser realizada por personal autorizado. , ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba, desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50 ºC. La turbobomba con brida de entrada ConFiat se fijará a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos Varian. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. Si la bomba se apoya sobre sus patas, éstas se fijarán a la superficie de apoyo utilizando los orificios roscados M6 situados a la altura de las patas de apoyo. Estos orificios están colocados sobre un círculo con un diámetro de 285 mm (11,22 pulgadas). Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada. NOTA Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o "advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de "Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje de la bomba antes de enviarla. UTILIZACION Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla. Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su eliminación respetando las normas nacionales específicas. 8 87-900-867-01(A) INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela eventual inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. As bombas da série Turbo-V1800A são bombas turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (27.000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas TurboV1800A são totalmente sem agentes contaminadores e, portanto, são adequadas para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do técnico durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções: , PERIGO! As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões pessoais. OBS  ATENÇÃO! A bomba não pode ser danificada permanecendo simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para evitar que se suje com poeiras. As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não observados, poderiam causar danos à aparelhagem. INSTALAÇÃO OBS As obs. contêm informações importantes destacadas do texto. , PERIGO! A bomba, devido ao seu peso, deve ser manuseada utilizando os equipamentos apropriados para o levantamento e a movimentação. ARMAZENAGEM Durante o transporte e a armazenagem das bombas não devem ser superadas as seguintes condições ambientais: − temperatura: de -20ºC a +70ºC − humidade relativa: 0 - 95% (não condensante) Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo). Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: − pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica − temperatura: de + 5ºC a + 35ºC − humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.  ATENÇÃO! Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no momento da ligação da turbobomba ao sistema.  ATENÇÃO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. 9 87-900-867-01(A) INSTRUÇÕES PARA O USO sempre o resfriamento com água durante as operações de aquecimento. Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações de aquecimento (ver o apêndice “Technical Information” para os detalhes relativos à ligação à bomba do resfriamento de água ). NÃO! , PERIGO! Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas.  ATENÇÃO! , Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão atmosférica). PERIGO! Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção (opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar sempre a turbobomba à base.  ATENÇÃO! Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Existindo campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical Information" para maiores detalhes. As bombas turbomoleculares da série Turbo-V1800A devem ser utilizadas somente com um dos controladores Varian específicos (série 969-9561, 969-9461) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver esquema em "Technical Information"). A turbobomba deve ser instalada em posição vertical, ou em posição invertida com uma inclinação máxima em relação ao eixo vertical de 10”. A bomba pode permanecer apoiada nos seus pés, ou ser suspensa através do flange de entrada. Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque de 2814 Nm ao redor do próprio eixo. A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A tabela a seguir descreve o número de bornes necessários e com qual torque devem ser apertados. FLANGE ISO 250 N° TORQUE Borne duplo com rosca M10 TIPO DE BORNE 6 22 Nm Borne simples com rosca M10 12 22 Nm  ATENÇÃO! Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical Information"). , PERIGO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. MANUTENÇÃO As bombas da série Turbo-V1800A não requerem qualquer manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por pessoal autorizado. , PERIGO! Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC. A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice "Technical Information". Se a bomba apoiar nos seus pés, estes deverão ser fixados ao plano de apoio utilizando os furos rosqueados M6 existentes na base da bomba. Ditos furos são posicionados num anel com diâmetro de 285 mm (11,22 polegadas). Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical Information". Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito. OBS. Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou advanced exchange service, é indispensável preencher e enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da expedição. UTILIZAÇÃO Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler atentamente este manual antes da utilização. Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. Utilizar Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. 10 87-900-867-01(A) GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De pompen van de serie Turbo-V1800A zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 27.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-V1800A pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een “schoon vacuüm” verlangen. In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information". Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen: , GEVAAR! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. OPMERKING  ATTENTIE! De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. OPMERKING INSTALLATIE De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. , GEVAAR! De pomp moet in verband met haar gewicht met de juiste hefwerktuigen worden opgeheven en verplaatst. OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: − temperatuur: van -20°C tot +70°C − relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend) Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid). De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: − max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk − temperatuur: van +5°C tot +35°C − relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). UITPAKKEN De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of stoten te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.  ATTENTIE! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden.  ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of een andere geschikte bescherming. 11 87-900-867-01(A) GEBRUIKSAANWIJZINGEN Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis verwarmd worden met behulp van een optionele verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen. Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe (zie bijlage “Technical Information” voor aanwijzingen over de aansluiting van de waterkoeling aan de pomp). NEE! , GEVAAR! Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. ,  ATTENTIE! GEVAAR! Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmsoferische druk) bedragen. Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen.  ATTENTIE! Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de turbopomp in werking is. De lagers kunnen hier namelijk schade door oplopen. Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V1800A mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale Varian controllers (serie 969-9561, 969-9461) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in “Technical Information”). De turbopomp moet in verticale stand worden geïnstalleerd of op haar kop, waarbij de hellingsgraad t.o.v. de verticale as maximaal 10° mag bedragen. De pomp kan op haar pootjes worden gezet of met behulp van de inlaatflens worden opgehangen. Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 2814 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden. FLENS ISO 250 NR. AANHAALKOPPEL Dubbele klem met M10 schroefdraad KLEMTYPE 6 22 Nm Enkelvoudige klem met M10 schroefdraad 12  ATTENTIE! Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). , GEVAAR! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. ONDERHOUD De pompen van de serie Turbo-V1800A zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. , GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt. 22 Nm De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer informatie de bijlage “Technical Information”. Als de pomp op haar pootjes wordt gezet, moeten deze pootjes aan het steunvlak worden bevestigd met behulp van M6 schroefdraadgaten die zich onder de pootjes moeten bevinden. Deze gaten bevinden zich op een cirkelomtrek met diameter van 285 mm (11,22 duim). Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. OPMERKING GEBRUIK Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door. Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 12 87-900-867-01(A) BRUGSANVISNING ALMENE OPLYSNINGER Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige normer. Turbo-V1800A serien omfatter turbomolekulære pumper til højvakuum og til ultra-højvakuum, der er i stand til at pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til at pumpe væsker eller faste partikler. Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved høj hastighed (max. 27000 omdr./min) drevet af en højeffektiv trefaset elektrisk motor. Turbo-V1800A pumperne er fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum. I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information". I denne håndbog findes følgende regler: , ADVARSEL! Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.  PAS PÅ! Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret. BEMÆRK Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i anlægget. BEMÆRK Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger. MONTERING OPLAGRING Under transport og oplagring af pumpene skal følgende omgivelsesbetingelser være overholdt: − temperatur: fra -20°C til +70°C − relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i gang på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til kontrolenheden). , ADVARSEL! Med hensyn til pumpens vægt må den kun flyttes med dertil egnet løfteudstyr. Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller stor brandfare. Følgende betingelser skal overholdes under driften: − maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk) − temperatur: fra +5°C til +35°C − relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende). FORBEREDELSE TIL MONTERING Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse, der kan være sket under transporten. Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til den under udpakningen. Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv 85/399 vedrørende miljøbeskyttelse.  PAS PÅ! Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik, turbopumpen tilsluttes anlægget.  PAS PÅ! For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid handsker eller anden passende beskyttelse. 13 87-900-867-01(A) BRUGSANVISNING ANVENDELSE Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er beskrevet i håndbogen til kontrolenheden. Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen. For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen på indgangsflangen ikke overstige 120°C. Brug altid vandafkøling under opvarmningen (se “Technical Information” vedrørende kølevandets tilslutning til pumpen). NEJ! , ADVARSEL! Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage kvæstelser på personer. ,  PAS PÅ! ADVARSEL! For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens indgangsåbning. Det anbefales at anvende et beskyttelsesnet (på efterspørgsel). Hvis der anvendes en vibrationsdæmper eller en bøjelig metaldæmper på pumpeåbningen, skal turbopumpen altid fastgøres til underlagspladen. Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar.  PAS PÅ! Undgå stød eller pludselig flytning af turbopumpen, mens den er i drift. Lejerne kan beskadiges. Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag “Technical Information” for yderligere detaljer. Turbomolekulærpumperne i Turbo-V1800A serien må kun anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9561, 969-9461) og skal forbindes med en primær Turbopumpen kan monteres i vertikal stilling, eller med bunden i vejret med en max. hældning på 10° i forhold til den vertikale akse. Pumpen kan enten stå på sine fødder, eller hænges via indgangsflangen. Turbopumpen fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et drejningsmoment på 2814 Nm omkring aksen. Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer. Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte flangedimensioner. FLANGE KLEMMETYPE ANTAL TILSPÆNDINGSMOMENT ISO 250 Dobbelt klemme gevind M10 6 22 Nm Enkelt klemme gevind M10 12  PAS PÅ! Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne. , ADVARSEL! Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte gastype strengt overholdes. Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer. VEDLIGEHOLDELSE Pumperne af TURBO-V1800A serien behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af autoriseret personale. , ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen, skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end 50°C. 22 Nm Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele fra Varian. For detaljer henvises til “Teknisk information”. Hvis pumpen står på sine fødder, skal disse forankres til underlaget ved hjælp af M6-hullerne i nærheden af støttefødderne. Disse huller er anbragt på en cirkel med diameter 285 mm. Se "Technical Information" for montering af optionals. Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. BEMÆRK Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen "Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen. Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. 14 87-900-867-01(A) i BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Pumparna i Turbo-1800A -serien är turbomolekylära pumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 27000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga tillsatsämnen används i Turbo-V1800A-seriens pumpar, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information". I bruksanvisningen används följande standardrubriker: , VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador.  VIKTIGT Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå. OBSERVERA Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen. Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. OBSERVERA Detta visar på viktig information i texten. FÖRVARING INSTALLATION Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport och förvaring av pumpen: − temperatur: från -20°C till +70°C − relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART metoden (se bruksanvisningen för styrenheten). , VARNING! Pumpen måste p.g.a. sin vikt manövreras med speciella lyftoch flyttutrustningar. Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: − maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) − temperatur: från +5°C till +35°C − relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.  VIKTIGT Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har anslutits till systemet.  VIKTIGT Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. 15 87-900-867-01(A) BRUKSANVISNING Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas. (se bilaga "Technical Information" för detaljer om pumpens anslutning till vattenkylning). , NEJ VARNING! Vidrör inte turbopumpen eller några uppvärmningen för att undvika brännskador. tillbehör under  VIKTIGT Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över atmosfäriskt tryck). ,  VIKTIGT VARNING! Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. I annat fall kan lagren skadas. Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval) rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen förankras i fundamentet.  VIKTIGT För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan “Technical information“). I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Turbomolekylärpumparna i serien V1800A måste användas med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9561, 9699461), och anslutas till en förpump (se schema i " Technical information"). Turbopumpen ska installeras i lodrät position eller uppochned med en max. lutning på 10° i förhållande till den lodräta axeln. Pumpen kan stödjas mot sina fötter eller vara upphängd med intagsflänsen. Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 2814 Nm runt sin axel. Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och med vilket åtdragningsmoment de ska spännas. FLÄNS ISO 250 TYP AV KLAMMER ANTAL ÅTDRAGNINGSMOMENT Dubbel klammer med gänga M10 6 22 Nm Enkel klammer med gänga M10 12 22 Nm , VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. UNDERHÅLL Pumparna i Turbo-V1800A-serien är underhållsfria. servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. , Allt VARNING! Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad pump. Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga “Technical Information”. Om pumpen stödjs på sina fötter, fästs de till stödytan med de M6-gängade hål som är placerade i förhållande till stödfötterna. Dessa hål är placerade på en omkrets med diameter 285 mm. Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical Information". Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. ANVÄNDNING Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning. OBSERVERA Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i styrenhetens bruksanvisning. Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen. För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet aldrig bli högre än 120 °C. 16 87-900-867-01(A) BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. Turbo-V1800A serien med pumper er turbo-molekulære pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 27000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V1800A pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: , ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader.  FORSIKTIG Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. LAGRING INSTALLASJON Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende miljømessige krav oppfylles: − temperatur: fra -20°C til +70°C − relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se kontrollenhetens manual). Med hensyn til pumpens vekt må den bare flyttes ved hjelp av et dertil bestemt løfteutstyr. MERK , ADVARSEL! Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: − maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) − temperatur: fra +5°C til +35°C − relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) KLARGJØRE TIL INSTALLASJON Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.  FORSIKTIG Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før turbopumpen skal festes til systemet  FORSIKTIG For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. 17 87-900-867-01(A) BRUKERVEILEDNING Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen (se “Teknisk informasjon om tilkopling av pumpens kjølevannsledninger). , ADVARSEL! Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. NEI  FORSIKTIG Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). ,  FORSIKTIG ADVARSEL! Unngå støt eller brå bevegelser av pumpen når den er i bruk. Dette kan føre til at lagrene skades. For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen er godt festet til underlaget.  FORSIKTIG Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Teknisk informasjon). Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. Turbo-V1800A serien turbo-molekulære pumper må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-9561, 9699451), og må koples til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon"). Turbopumpen kan monteres i vertikal stilling eller opp-og-nedvendt, med en maks. helling på 10° i forhold til den vertikale aksen. Pumpen kan stå på føttene sine eller henges ved hjelp av en inngangsflens. Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en koplingsflens med et dreiemoment på 2814 Nm rundt aksen. Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene. FLENS ISO 250 TYPE KLEMME ANTALL STRAMMEMOMENT Dobbel klemme gjenge M10 6 22 Nm Enkel klemme gjenge M10 12 22 Nm , ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. VEDLIKEHOLD Turbo-V1800A serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på pumpen må kun utføres av autorisert personell. , ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50°C. Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte pumpen. MERK Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”. Hvis pumpen står på føttene sine, festes disse til fundamentet ved hjelp av M6-hullene i nærheten av støtteføttene. Disse hullene er plasserte på en sirkel med diameter 285 mm. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk informasjon". Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen som sendes tilbake. Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i kontrollenhetens manual. Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk. For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120°C. 18 87-900-867-01(A) KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. Turbo-V1800A sarjan pumput ovat korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöön tarkoitettuja kaikentyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumien pumppaavia turbomolekyylipumppuja. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaukseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (27000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka käynnistää korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. Turbo-V1800A sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical Information". Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: , VAARA! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin.  HUOMIO HUOMAUTUS Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen pölyltä. HUOMAUTUS Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot. ASENNUS VARASTOINTI , Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä: − lämpötila: - 20°C - +70°C − suhteellinen kosteus: 0 - 95% ( ei tiivistävä ) Jos varastointiaika on hyvin pitkä, tulee pumppu käynnistää SOFT START-tavalla (katso valvojan käyttökirja). VAARA! Pumppua tulee sen painosta johtuen käsitellä asianmukaisten nosto- ja siirtovälineiden avulla. Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: − maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine − lämpötila: + 5°C - +35°C − suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä) VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä ympäristön suojelusta.  HUOMIO Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun turbopumppu liitetään järjestelmään.  HUOMIO Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen. 19 87-900-867-01(A) KÄYTTÖOHJEET Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen (ks. “Technical information” -osaa pumpun vesijäähdytyskytkentöjä varten). , EI VAARA! Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan henkilöiden loukkaantumisia.  HUOMIO Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine). , VAARA!  HUOMIO Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa (lisävaruste). Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää aina jalustaan. Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voivat vahingoittua.  HUOMIO Aggressiivisten kaasujen pumppauksta varten mänä pumput on varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kulettaa pumppuun ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan (katso liite “Technical information“). Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical Information“-liitteestä. Sarjan Turbo-V1800A turbomolekyylipumppuja tulee käyttää ainoastaan niihin sopivien Varian-valvojien kanssa (sarja 9699551, 969-9461) ja niiden tulee olla yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information"). Turbopumppu tulee asentaa pystyasentoon tai ylösalaisin, niin että se on pystyakselista katsoen kallellaan enintään 10°. Pumppu voidaan tukea jalkojensa varaan tai se voidaan asettaa riippuvaan asentoon sisääntulolaipan avulla. Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kannattaa 2814 Nm momenttia akselinsa ympärillä. Turbopumpu ISO-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin kaksoiskiinnikkeillä tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraava taulukko sisältää tarvittavien kiinnikkeiden määrän ja niiden kiristysmomentit. LAIPPA ISO 250 KIINNIKE MÄÄRA KIRISTYSMOMENTTI Kaksoiskiinnike kierteitys M10 6 22 Nm Yksinkertainen kiinnike kierteitys M10 12 22 Nm , VAARA! Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka kaasuun sopivaa menettelytapaa. Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. HUOLTO Sarjan Turbo-V1800A pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa. Minkä tahansa toimenpiteen tulee suorittaa siihen valtuutettu henkilö. , VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50º. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen tilalle. Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin sopivien Varianin mekaanisten varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information“-liitteestä. Mikäli pumppu on asennettu jalkojensa varaan, jalat tulee kiinnittää tukitasoon käyttämällä siihen tehtyjä, tukijalkoja vastaavia kierteisreikiä M6. Nämä reiät on sijoitettu läpimitaltaan 285 mm olevaan ympyrään. Lisälaitteiden asennusohjeet ovat "Technical Information" osassa. HUOMAUTUS Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä. KÄYTTÖ Mikäli pumppu täytyy romuttaa, lainsäädännön määräämällä tavalla. Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet löytyvät valvojan käsikirjasta. Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa. Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta saatavaa kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen kuumentamisen aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa olla yli 120 °C. 20 toimikaa kansallisen 87-900-867-01(A) ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj egceirid∂ou kai opoiadˇpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ˇ crˇsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V1800A e∂nai (strobilomoriak◊j) antl∂ej (ˇ moriak◊j tourmp∂nej) gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na antlˇsoun k£qe e∂douj a◊rio. E∂nai akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ˇ stereèn swmatid∂wn. H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 27000 s.a.l.), h opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r uyhlˇj apÒdoshj. Oi antl∂ej Turbo-V1800A den peri◊coun rupantikoÚj par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou apaitoÚn ◊na "kaqarÒ" kenÒ. Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristˇ kat£ th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuˇj. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma " Tecnik◊j Plhrofor∂ej ". Auto to egceir∂dio crhsimopoie∂ tij akÒlouqej sumb£seij: , KINDUNOS! Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocˇ tou ceiristˇ se mia diadikas∂a ˇ se mia eidikˇ ergas∂a h opo∂a e£n den ekteleste∂ swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.  SHMEIWSH PROSOCH! H antl∂a den katastr◊fetai e£n aplèj ekteqe∂ ston atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn kratˇsete kleistˇ m◊cri th stigmˇ pou qa egkatastaqe∂ sto sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ th skÒnh. Oi ende∂xeij prosocˇj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi opo∂ej e£n den ektelestoÚn me prosocˇ, qa mporoÚsan na prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuˇ. SHMEIWSH EGKATASTASH Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun apospaste∂ apÒ to ke∂meno. , APOQHKEUSH KINDUNOS! H antl∂a, lÒgw tou b£rouj thj, pr◊pei na metakinhqe∂ diam◊sou kat£llhlwn sÚnergwn anÚywshj kai metak∂nhshj. Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqˇkeushj twn antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j sunqˇkej¿ − qermokras∂a apo:/ -20°C m◊cri +70°C − scetikˇ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth) E£n o crÒnoj apoqˇkeushj xepern£ei touj 9 mˇnej, h antl∂a qa pr◊pei na teqe∂ se k∂nhsh me trÒpo SOFT START (bl. to egceir∂dio thj mon£daj el◊gcou). H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai-ˇ na crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocˇ, p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ˇ k∂ndunoj purkagi£j. Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej sunqˇkej perib£llontoj: − max. p∂esh: 2 bar − qermokras∂a: apÒ +5°C m◊cri +35°C − scetikˇ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth). PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH H antl∂a enai exoplism◊nh me m∂a eurÚcwrh prostateutikˇ suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te to topikÒ tmˇma pwlˇsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèèste idia∂terh prosocˇ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h antl∂a. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ anakuklènetai plˇrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.E. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.  PROSOCH! Xekoll£te to autokÒllhto kai bg£zete to prostateutikÒ kap£ki mÒnon th stigmˇ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.  PROSOCH! Prokeim◊nou na apofÚgete problˇmata apÒ thn apeleuq◊rwsh aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmˇmata pou prÒkeitai na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ˇ £llh kat£llhlh prostas∂a. 21 87-900-867-01(A) ODHGIES CRHSHS , KINDUNOS! Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartˇmat£ thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlˇ qermokras∂a mpore∂ na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. OCI  PROSOCH! Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra ˇ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ˇ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikˇj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar.  PROSOCH! , Na apofeÚgontai ctupˇmata ˇ apÒtomej metakinˇseij thj tourmpoantl∂aj Òtan e∂nai se leitourg∂a. Qa mporoÚsan na dhmiourghqoÚn bl£bej sta roulem£n. KINDUNOS! Gia na apofÚgcqoÚn traumatismo∂ se £toma mh b£zete pot◊, gia kan◊na lÒgo, ta d£ctula ˇ £lla antike∂mena sto stÒmio eisÒdou thj tourmpoantl∂aj. SumbouleÚetai h crˇsh tou dictuoÚ prostas∂aj (proeraitikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj aposbestˇraj donˇsewn ˇ ◊na elastikÒ metallikÒ mikrÒ fuserÒ sto stÒmio eisÒdou, stereènete p£nta thn tourmpoantl∂a sth b£sh.  PROSOCH! Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai efodiasm◊nej me mia eidikˇ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Azwto ˇ ArgÒ) gia na prostateutoÚn ta ◊drana (bl◊pete thn epifull∂da "Tecnik◊j Plhrofor∂ej") Se magnhtik£ ped∂a Òpou h ◊ntash uperba∂nei ta 10 mT e∂nai anagka∂a h k£luyh thj antl∂aj me ◊na sidhromagnhtikÒ k£lumma. Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V1800A pr◊pei na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj el◊gcouj Varian (seir£ 969-9561, 969-9461) kai pr◊pei na e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scˇma stij "Tecnik◊j Plhrofor∂ej"). H tourmpoantl∂a pr◊pei na egkatastaqe∂ se k£qeth q◊sh, ˇ se anatrepÒmenh q◊sh me m∂a m◊gisth kl∂sh 10" se sc◊sh me ton k£qeto £xona. H antl∂a mpore∂ na parame∂nei akoumpism◊nh sta pÒdia thj, ˇ na anarthqe∂ diam◊sou thj fl£ntzaj eisÒdou. Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerˇ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerˇ kÒntrofl£ntza ikanˇ na sugkratˇsei ◊na zeug£ri 2814 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ˇ monèn m◊ggenwn. H akÒlouqh tamp◊la perigr£fei to apara∂thto noÚmero m◊ggenwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj na ta sf∂xete. FLANTZ A TUPOS MEGGENHS ISO 250 Diplˇ m◊ggenh el∂kwsh M10 Monˇ m◊ggenh el∂kwsh M10 N. , SUNTHRHSH Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo - V1800A de crei£zontai kamm∂a suntˇrhsh. Opoiadˇpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ. , 22 Nm me 12 22 Nm KINDUNOS! Prin epiceirˇsete opoiadˇpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a, aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a ano∂gontaj thn eidikˇ balb∂da kai perim◊nete m◊cri na stamatˇsei tele∂wj to mot◊r. ZEUGOS BIDWMATOS me 6 KINDUNOS! Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, eÚflektwn ˇ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou. Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn. Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto ser/ice thj Varian ˇ sto “Varian ad/anced exchange ser/ice”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastˇsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe thn epifull∂da "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Se per∂ptwsh pou h antl∂a sthr∂zetai sta pÒdia thj, aut£ ta teleuta∂a pr◊pei na sterewqoÚn sthn epif£neia stˇrixhj crhsimopoièntaj tij elikweide∂j op◊j M6 pou ◊coun teqe∂ se antapÒkrish twn podièn stˇrixhj. Aut◊j oi op◊j br∂skontai se ◊nan kÚklo me di£metro 285 mm (11,22 ∂ntsej). Gia thn egkat£stash twn proeraitikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastˇ thn antl∂a gia episkeuˇ ˇ gia ad/anced exchange ser/ice, enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlˇsewn, to ◊ntupo -Sigouri£ kai uge∂a- sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolˇ. Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj. CRHSH Olej oi odhg∂ej gia th swstˇ leitourg∂a thj tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio el◊gcou. Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crˇsh. Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton ◊xtra qermantˇ. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ h qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C. Kat£ th q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrˇ yÚxh (bl◊pete thn epifull∂da "Tecnik◊j Plhrofor∂ej" gia leptom◊reiej scetik£ me th sÚndesh thj ugrˇj yÚxhj sthn antl∂a). 22 87-900-867-01(A) INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorised interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The Turbo-V 150HT series pumps are turbo-molecular pumps for high and ultra-high vacuum applications and can pump any type of gas or gas compound. They are not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 62000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 150HT pumps are free of contaminating agents and, therefore, are suitable for applications requiring a "clean" vacuum. The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". This manual uses the following standard protocol: ! WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. ! CAUTION The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. NOTE INSTALLATION The notes contain important information taken from the text. ! STORAGE When transporting and storing the pumps, the following environmental requirements should not be exceeded: − temperature: from -20° to +70 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) If the storage time is long start the pump using the SOFT START mode (see control unit manual). Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: − maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure − temperature: from +5 °C to +35 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. PREPARATION FOR INSTALLATION The pump is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399. ! WARNING! Cause its weight, the pump must be handled by means of suitable moving and handling tools. ! CAUTION! Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system. CAUTION In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the pump. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. 23 87-900-867-01(A) INSTRUCTIONS FOR USE ! WARNING! Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. NO! ! CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). ! ! WARNING! ! To avoid injury, never put fingers or any objects whatsoever in the inlet port of the turbopump. The use of the protective screen is strongly advised (optional extra). If a vibration damper or flexible metallic bellows are used on the inlet port, make sure that the pump is fixed to the base. FIXING N. FIXING TORQUE ! M10 clamps 6 22 Nm M10 claws 12 22 Nm WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. MAINTENANCE The Turbo-V 1800A series pump does not require any maintenance. Any work performed on the pump must be carried out by authorized personnel. ! WARNING! Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it from the supply, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C. DEVICE ISO 250 CAUTION For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). The Turbo - V 1800A series pumps must only be used with one of the special Varian controllers (series 969-9561, 969-9461) and must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The turbopump must be installed vertically or upside-down, with a maximum slope of 10°. The pump can either rest on its support pedestal or it can be suspended from the high vacuum flange. Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 2814 Nm around its axis. The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws. The following table shows, for each flange and fixing device, the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque. FLANGE CAUTION Avoid impacts or harsh movements of the pump when in operation.The bearings may become damaged. In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned pump to replace that broken down. The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Varian hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. When the pump rest on its legs, attach them to the bench using teh M6 threaded holes in the legs where the rubber feet are installed. These holes are located on a 285 mm (11.22 inches) diameter. For installation of optional accessories, see "Technical Information". NOTE Before returning the pump to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the pump package before shipping. If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. USE All the instructions for the correct use of the turbopump are contained in the control unit manual. Read the manual carefully before using the pump. In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump casing may be heated using the optional heater. While heating the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed 120 °C. Always use the water cooling system during the heating operations (see annex “Technical information” for details about the water cooling connection). 24 87-900-867-01(A) TECHNICAL INFORMATION The Turbo-V1800A pump consists of a medium frequency motor driving a turbine fitted with 12 bladed stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of aluminium. The first 3 high vacuum stages have blade angles of 40°, the subsequent four stages have blade angles of 30°, and the lower stages have blade angles of 20°. DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The Turbo-V1800A pump is available in three models. The three models, which differ only in the high vacuum flange, are: − Model 969-9064 with ISO 250 high vacuum flange − Model 969-9065 with ConFlat 12” external diameter high vacuum flange − Model 969-9066 with ConFlat 12.5" external diameter high vacuum flange The turbine rotor is supported by high precision ceramic ball bearings lubricated with a proprietary process located on the forevacuum side of the pump. The static blades of the stator are made of stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings. During normal operation, the motor is fed with a voltage of 90 Vac three-phase at 450 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. A water jacket surrounds the pump stator and is used to cool the motor, which operates in the forevacuum region of the pump. Cooling water is connected to the pump via two riffled nozzles on the cooling jacket. A thermistor sensor is mounted directly on the motor stator and pump body to prevent the pump from overheating. The thermistor sensor, the motor stator windings and the earth are connected to a Turbo-V controller through a 7 pin socket on the side of the pump. Model 969-9064 The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.02 µm. The pump must be mounted vertically or upside down, with a maximum allowable slope of 10°. It can be suspended by inlet flange or rest upon its support legs. The connection of the forevacuum on the side of the pump is an ISO 63 flange. Model 969-9065 Model 969-9066 25 87-900-867-01(A) TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION Pumping speed N2: 1600 l/s He: 1850 l/s H2: 1750 l/s Compression ratio N2: >1 x 1010 He: 2.5 x 105 H2: 6 x 103 Base pressure* Inlet flange -10 1 x 10 mbar (7.5 x 10-11 Torr) ISO 250 CFF 12" CFF 12.5” Coolant water flow: 70 l/h (0.3 GPM) temperature: +10° C to +30° C pressure: 2 to 4 bar (30 to 60 Psi) Bakeout temperature 120° C at inlet flange maximum Vibration level (displacement) < 0.02 µm at inlet flange Noise level ≤ 52 dB (A) at 1 meter Foreline flange ISO 63 Input 90 Vac, three phase, 450 Hz Vent port flange KF 10 NW Lubricant permanent lubrication Purge port flange KF 10 NW Storage temperature - 20° C to + 70° C Rotational speed 27000 rpm Weight kg (lbs) 62 (137) Start-up time 10 minutes Recommended forepump Varian SD 700 Operating position Vertical/inverted (max slope 10°) Operating ambient temperature + 5° C to + 35° C * According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump. 26 87-900-867-01(A) TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 27 87-900-867-01(A) TECHNICAL INFORMATION HEATER BAND INSTALLATION INLET SCREEN INSTALLATION The inlet screens mod. 969-9306 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 2 mm diameter. The inlet screen, however, will reduce the pumping speed by about 15%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. The heater band model 969-9811 and 969-9812 can be used to heat the pump casing when a bakeout is needed. The heater band is applied to the upper part of the pump casing, as shown in the figure, and heats it to a temperature of about 80° C. The screen can be mounted on each pump model. The following figure show the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange. The heater band must be mounted such that there is perfect thermal contact with the pump wall to obtain fast and efficient heating. Switch on the heater while the turbopump is in operation. In the event of turbopump overheat, the heater will be automatically cut out by the thermistor sensor. 28 87-900-867-01(A) TECHNICAL INFORMATION power failure (5 sec maximum), and enables an automatic vent operation. NOTE The turbopump must be "baked" only when operating with an inlet pressure less than 10-4 mbar and with water cooling.  Screw the vent valve into the vent port of the pump and tighten it using a 10 mm. hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. CAUTION If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should be installed to prevent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120° C.  CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. VENT DEVICE INSTALLATION GAS PURGE VALVE INSTALLATION A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to lock the purge valve in position using the KF klamp as shown in the following figure. The vent device mod. 969-9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (adjustable time up to 36 min.), and enables an automatic vent operation. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp as shown in the following figure. VENT VALVE INSTALLATION The vent valve mod. 969-9833 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary 29 87-900-867-01(A) TECHNICAL INFORMATION TYPICAL LAYOUT DIAGRAM 1. Turbo-V controller 2. Vent valve 3. Vacuum pump shut-off valve (optional) 4. System vent valve (optional) 5. Vacuum chamber 6. Ionisation gauge 7. Fore-vacuum pump connecting flange 8. Oil mist eliminator 9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve Connection A - HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware. To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. 10. Fore-vacuum pump control relay 11. Connection for water cooling 12. Roughing line with valve (optional) 13. Turbopump 14. Flexible connection  CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock. 30 87-900-867-01(A) TECHNICAL INFORMATION Connection B - FORE-VACUUM PUMP A flange ISO 63 is available to connect the Turbopump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. WATER COOLING CONNECTION The turbopump must be used with the water cooling connected. To connect the water cooling to the turbopump see the following figure. NOTE The Turbo pump is characterised by its high compression ratio also for oil vapours. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. Connection C - ELECTRICAL The turbopump is connected to the controller through an 7-pin connector. Pins B, G and E are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 20° C) and pins C and D are available for further connections. PUMP USED WITH CORROSIVE GASES To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen, argon) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump (see the following figure). Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. The ground cable should be connected to the controller. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensor automatically cuts out the power supply.  CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. Please contact Varian for specific applications. The purge gas throughput with the recommended forepump of 15 m3 /h (11 CFM) allows to achieve a high vacuum pressure in the 10-8 mbar range. 31 87-900-867-01(A) TECHNICAL INFORMATION The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure. PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool. 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve In general, therefore, an increase in pump current can be expected. If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points: 1. Close the corrosive gas flow into the system. 2. Leaving the Turbo-V pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system. 3. Open the Turbo-V vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system. 4. Turn off the Turbopump. 5. When the Turbo-V pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. ACCESSORIES DESCRIPTION PART NUMBER Inlet screen, ISO 250 969-9306 Heater band, 120 V 969-9812 Heater band, 220 V 969-9811 Vent valve with fixed delay time 969-9833 Vent device with adjustable delay time 969-9831 Forepump SD 700, with 3 ph., 220/380 V, 50 Hz motor 949-0860-080 Forepump SD 700 with 1 ph., 120/220 V, 60 Hz motor 0424-P1241-307 Forepump SD 700, with 3 ph., universal motor 0424-P1241-337 For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 32 87-900-867-01(A) Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices Argentina Varian Argentina Ltd. Germany and Austria Varian Deutschland GmbH UK and Ireland Varian Ltd. Sucursal Argentina Av. Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel: (54) 1 783 5306 Fax: (54) 1 786 5172 Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 28 Manor Road Walton-On-Thames Surrey KT 12 2QF England Tel: (44) 1932 89 8000 Fax: (44) 1932 22 8769 Australia Varian Australia Pty Ltd. India Varian India PVT LTD United States Varian Vacuum Technologies 679-701 Springvale Road Mulgrave, Victoria ZZ 3170 Australia Tel: (61) 395607133 Fax: (61) 395607950 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 5548444 Fax: (91) 11 5548445 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H, 3956 CP Leersum The Netherlands Tel: (31) 343 469910 Fax: (31) 343 469961 Brazil Varian Industria e Comercio Ltda. Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel: (55) 11 3845 0444 Fax: (55) 11 3845 9350 Canada Central coordination through: Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 China Varian Technologies - Beijing Room 1201, Jinyu Mansion No. 129A, Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 P.R. China Tel: (86) 10 6608 1530 Fax: (86) 10 6608 1534 France and Wallonie Varian s.a. 7 avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 13 Fax: (33) 1 69 28 23 08 11/01 Italy Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Other Countries Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Japan Varian Vacuum Technologies Internet Users: Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 Customer Service & Technical Support: Korea Varian Technologies Korea, Ltd. Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 Mexico Varian S.A. Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road Sec. 1, Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 [email protected] Worldwide Web Site: www.varianinc.com/vacuum Order On-line: www.evarian.com Representatives in most countries
  • Page 1 1
  • Page 2 2
  • Page 3 3
  • Page 4 4
  • Page 5 5
  • Page 6 6
  • Page 7 7
  • Page 8 8
  • Page 9 9
  • Page 10 10
  • Page 11 11
  • Page 12 12
  • Page 13 13
  • Page 14 14
  • Page 15 15
  • Page 16 16
  • Page 17 17
  • Page 18 18
  • Page 19 19
  • Page 20 20
  • Page 21 21
  • Page 22 22
  • Page 23 23
  • Page 24 24
  • Page 25 25
  • Page 26 26
  • Page 27 27
  • Page 28 28
  • Page 29 29
  • Page 30 30
  • Page 31 31
  • Page 32 32
  • Page 33 33
  • Page 34 34
  • Page 35 35
  • Page 36 36
  • Page 37 37
  • Page 38 38
  • Page 39 39
  • Page 40 40

Varian Turbo-V 1800A Manual de usuario

Tipo
Manual de usuario