Turbo-V250SF
pumps
969-9009 series
969-9010 series
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
INSTRUCTION MANUAL
87-900-881-01(B)
APRIL 2002
Turbo-V 250SF
ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3
MODE D’EMPLOI................................................................................................................5
INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................7
INSTRUÇÕES PARA O USO..............................................................................................9
GEBRUIKSAANWIJZINGEN.............................................................................................11
BRUGSANVISNING ..........................................................................................................13
BRUKSANVISNING ..........................................................................................................15
BRUKERVEILEDNING...................................................................................................... 17
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19
PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21
INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23
TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................25
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28
WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................29
TYPICAL CONNECTIONS...........................................................................................................34
High Vacuum Flange Connection ......................................................................................34
High Vacuum Flange Connection Configurations ..............................................................34
Fore-vacuum Pump Connection ........................................................................................35
Electrical Connection .........................................................................................................35
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................35
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC
FIELDS...........................................................36
ACCESSORIES ...........................................................................................................................36
ISTRUZIONI PER L'USO
1 87-900-881-01(B)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si
ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute
all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso
improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi
non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali
specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V 250SF sono pompe
turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto,
capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso.
Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle
solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (56000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V 250SF
sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi
adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
!
!!
!
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su
una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in
modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
!
!!
!
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non
devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:
− temperatura: da -20 °C a +70 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)
Se il tempo di immagazzinamento è superiore a 9 mesi,
avviare la pompa nel modo SOFT START (vedi manuale
dell’unità di controllo).
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad
urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
La pompa non può essere danneggiata rimanendo
semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul
sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 250SF devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian
(serie 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 e 969-9866) e
devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere
schema in "Technical Information").
La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse,
oppure utilizzando l’apposito kit opzionale per il fissaggio alla
base.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
ISTRUZIONI PER L'USO
2 87-900-881-01(B)
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive, per ogni dimensione
flangia e tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con
quale coppia di serraggio stringerli.
FLANGIA TIPO DI
MORSETTO
N. COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO 100 Morsetto doppio
con filettatura M10
4 22 Nm
Morsetto singolo
con filettatura M8
8 11 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario
utilizzare tre viti M4 fissate agli appositi fori presenti sulla base
della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di
snervamento di 500 N/mm
2
e devono essere fissate con una
coppia di 0,9 Nm.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della
turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.
Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.
Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare
l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la
temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 120 °C.
Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le
operazioni di riscaldamento.
!
!!
!
PERICOLO!
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso
attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della
turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero
danneggiarsi.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Per il pompaggio di gas aggressivi utilizzare solo le versioni
speciali della pompa Turbo-V250SF. Tali pompe sono dotate di
una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla
pompa un flusso di gas inerte compreso tra 0,4 e 1 mbar l/s.
MANUTENZIONE
Le pompe della serie Turbo-V250SF non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
!
!!
!
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa
scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la
pompa aprendo l'apposita valvola ed attendere fino al completo
arresto del rotore.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service",
che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione
di quella guasta.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e
Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della
stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima
della spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
NO!
!
!!
!
PERICOLO!
Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di
vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla
bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla
base.
GEBRAUCHSANLEITUNG
3 87-900-881-01(B)
ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitge-
lieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeach-
tung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemä-
ßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisier-
ten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur
Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma
Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V 250SF handelt es sich um
Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuuman-
wendungen. Sie eignen sich für jede Art von Gas oder gashal-
tige Gemische, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen
oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine
(max. 56000 Upm) erzielt, die von einem Hochleistungsdreh-
strommotor angetrieben wird. Die Turbo-V 250SF-Pumpen
enthalten keinerlei unweltschädliche Substanzen und eignen
sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein "sauberes"
Vakuum vorschreiben.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-
onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
!
!!
!
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrek-
ter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können.
!
!!
!
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schä-
den an der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:
− Temperatur: von -20°C bis +70°C
− Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%
Beträgt die Lagerzeit mehr als 9 Monate, muß die Pumpe bei
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung gelie-
fert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.
!
!!
!
ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponen-
ten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit
bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder
einen anderen geeigneten Schutz tragen.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis
zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staub-
verschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
− Maximaldruck: 2 Bar
− Temperatur: von +5°C bis +35°C
− Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Ein-
satz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt
werden.
!
!!
!
ACHTUNG!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.
GEBRAUCHSANLEITUNG
4 87-900-881-01(B)
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V 250SF dür-
fen ausschließlich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen
betrieben werden (Baureihen 969-9423, 969-9504, 969-9523,
969-9425 oder 969-9866) und müssen an eine Primärpumpe
angeschlossen werden (siehe Schema “Technical Informati-
on”).
Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, in-
dem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen Ge-
genflansch anschließen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse aushält,
oder den als Option erhältlichen Bausatz für die Befestigung
am Sockelteil benutzen
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppel-
ten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer an-
geschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die
Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen sowie der jewei-
lige Anzugsmoment angegeben.
FLANSCH SCHELLENART ANZAHL ANZUGSMOMENT
ISO 100 Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
4 22 Nm
Einzelklemme mit
NM8-Gewinde
8 11 Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang
“Technical Information”.
Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,
müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M4-Schrauben ein-
gesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze von
500N/mm
2
haben und mit einem Anzugsmoment 0,9 Nm an-
gezogen werden.
Installation Sonderzubehör: siehe Anhang “Technical Informa-
tion”.
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-
gehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-
den.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C
nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsys-
temen die TP mit Wasserkühlung arbeiten.
!
!!
!
GEFAHR!
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
!
!!
!
ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß muß kleiner als 2 bar sein.
!
!!
!
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
!
!!
!
ACHTUNG!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen dürfen nur Sonderaus-
führungen der Pumpe Turbo-V 250SF benutzt werden. Diese
Pumpen haben einen Anschluß, durch die ein Edelgasstrom
von 0,4 bis 1 mbar ltr/sec fließen muß.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V 250SF sind wartungsfrei.
Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften
vorgenommen werden.
!
!!
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-
den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-
schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
!
!!
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird
empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzube-
hör). Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder
eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die
Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.
NEIN!
MODE D’EMPLOI
5 87-900-881-01(B)
GENERALITES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire
attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser
l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité
en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions
données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non
formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V 250SF sont des pompes
turbomoléculaires conçues pour des applications de vide
poussé et ultrapoussé, capables de pomper n'importe quel
type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas
indiquées pour le pompage de liquides ou de particules
solides.
L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (56000 tr/min maxi), mue par un moteur
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V
250SF sont totalement dépourvues d’agents polluants et sont
par conséquent indiquées pour les applications exigeant un
vide “propre”.
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant
l’utilisation de l’appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l’appendice “Technical Information”.
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
!
!!
!
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas
effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.
!
!!
!
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient
endommager sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, isolés
du texte.
EMMAGASINAGE
Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra
veiller à respecter les conditions environnementales suivantes:
− température: de - 20°C - à + 70°C
− humidité relative 0 - 95 % (non condensante)
Si le temps d'emmagasinage est supérieur à 9 mois, amorcer
la pompe en mode SOFT START (voir la notice de l’unité de
commande).
PREPARATION POUR L'INSTALLATION
La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe
et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.
!
!!
!
ATTENTION!
En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher,
les mains nues, les éléments devant être exposés au vide.
Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.
INSTALLATION
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le
fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions
environnementales suivantes:
− pression maxi: 2 bar
− température: de +5°C° à +35°C
− humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails,
se reporter à l'appendice "Technical Information".
!
!!
!
ATTENTION!
N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la
connexion de la turbopompe au système.
MODE D’EMPLOI
6 87-900-881-01(B)
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 250SF ne
doivent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs spéciaux
Varian (série 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ou 969-
9866) et doivent être connectées à une pompe primaire (Cf.
schéma dans “Technical Information”).
La turbopompe devra être installée en position verticale ou en
position retournée avec une inclinaison maximum de 10° par
rapport à l’axe vertical.
La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle
position. Fixer la turbopompe dans une position stable en
reliant la bride d’entrée à une contre-bride fixe pouvant
supporter un couple de 1000 Nm autour de son axe, ou bien en
utilisant le kit en option prévu pour un fixation à la base de la
pompe.
La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l’aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant indique le nombre de colliers nécessaires et le
couple de serrage prescrit.
BRIDE TYPE DE
COLLIER
NBRE COUPLE DE
SERRAGE
ISO 100 Collier double à
filetage M10
4 22 Nm
Collier simple à
filetage M8
8 11 Nm
La turbopompe à bride d’entrée ConFiat doit être fixée à la
chambre à vide à l’aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à
l’appendice “Technical Information”.
Pour fixer la pompe au moyen de sa base, il est nécessaire
d'utiliser trois vis M4 fixées aux trous prévus à cet effet se
trouvant aur la base de la pompe. Les vis utilisées doivent
avoir une limite d'élasticité de 500 N/mm2 et être fixées à un
couple de 0,9 Nm.
Pour l’installation des accessoires en option, consulter
“Technical Information”.
UTILISATION
Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la
turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de
contrôle.
Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser
la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est
possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du
réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la
chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas
dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau
pendant les opérations de chauffage.
Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les
opérations de chauffage.
!
!!
!
DANGER!
Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut causer des lésions aux personnes.
!
!!
!
ATTENTION!
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar.
!
!!
!
ATTENTION!
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se
détériorer.
!
!!
!
ATTENTION!
Pour le pompage de gaz nocif, utiliser exclusivement les
versions spéciales de la pompe Turbo-V250SF. Ces pompes
sont dotées d'un port ad hoc, à travers laquelle il est
nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte compris
entre 0,4 et 1 mbar l/s.
ENTRETIEN
Les pompes de la série Turbo-V250SF ne requièrent aucun
entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par
du personnel agréé.
!
!!
!
DANGER!
Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe,
débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant
la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet
du rotor.
En cas de panne, il est possible de s'adresser au service
réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange
service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place
de la pompe détraquée.
NOTE
Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des
réparations ou un "advanced exchange service", remplir et
faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et
Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie
de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe
avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales en la
matière.
!
!!
!
DANGER!
Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais
introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou
bien des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est
conseillé d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on
utilise un amortisseur de vibrations ou bien un soufflet
métallique flexible sur l'entrée, fixer toujours la
turbopompe à la base.
NON!
INSTRUCCIONES DE USO
7 87-900-881-01(B)
INFORMACION GENERAL
Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El
usuario deberá leer atentamente el presente manual de
instrucciones y cualquier otra información suplementaria
facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se
considera libre de cualquier responsabilidad debida al
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco
apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las
intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las
normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-V 250SF son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto
que pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto
gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o
partículas sólidas.
El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa
de alta velocidad (56000 r.p.m./min. máx) movida por un motor
trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V 250SF no
llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo tanto son
aptas para aplicaciones que requieren un vacío “limpio”.
Los apartados siguientes contienen toda la información
necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador
al utilizar el aparato. Información más detallada se puede
encontrar en el anexo “Technical Information”.
Este manual utiliza los símbolos convencionales
siguientes:
!
!!
!
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una operación específica que, al no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
!
!!
!
¡ATENCION!
Los mensajes de atención se visualizan antes de
procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños
al equipo.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se
deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes:
− temperatura: de -20°C a +70°C
− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Si el periodo de almacenamiento es superior a 9 meses, poner
en marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el
manual de la unidad de control).
PREPARACION PARA LA INSTALACION
La bomba se suministra en un embalaje de protección
dimensional; si se observan señales de daños, que podrían
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto
con la oficina de venta más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la
preservación del medio ambiente.
!
!!
!
¡ATENCION!
Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin
guantes los componentes destinados a someterse al vacío.
Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada.
NOTA
La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar
una posible contaminación debida al polvo.
INSTALACION
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases
agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de
incendio.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
− presión máxima: 2 bar
− temperatura: de +5°C a + 35°C
− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
!
!!
!
¡ATENCION!
Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
INSTRUCCIONES DE USO
8 87-900-881-01(B)
Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
“Technical Information” para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 250SF han
de utilizarse exclusivamente con uno de los controladores
Varian (serie 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ó 969-
9866) y se conectarán a una bomba primaria (véase esquema
en “Technical Information”).
La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la
turbobomba en posición estable uniendo la brida de entrada de
la turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un
par de 1000 Nm alrededor de su eje, o utilizando el kit opcional
apropiado para la fijación a la base.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la
cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas
individuales. La tabla siguiente describe el número de
mordazas necesarias y el par de apriete al que han de
apretarse.
BRIDA TIPO DE MORDAZA N. PAR DE
APRIETE
ISO 100 Mordaza doble
con rosca M10
4 22 Nm
Mordaza individual
con rosca M8
8 11 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFiat se fijará a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos Varian.
Para más detalles véase el anexo “Technical Information”.
Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres
tornillos M4 fijados en los orificios correspondientes que se
encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han
de tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm
2
y
han de fijarse a un par de 0,9 Nm.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
UTILIZACION
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control.
Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la
temperatura de la brida de entrada no deberá superar 120°C.
Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las
operaciones de calentamiento.
!
!!
!
¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
!
!!
!
¡ATENCION!
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar.
!
!!
!
¡ATENCION!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
!
!!
!
¡ATENCION!
Para bombear gases agresivos utilizar sólo las versiones
especiales de la bomba Turbo - V 250SF. Estas bombas van
dotadas de una puerta a través de la cual es preciso
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte comprendido
entre 0.4 y 1 mbar l/s.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V250SF no necesitan ningún
tipo de mantenimiento. Cualquier operación tendrá que ser
realizada por personal autorizado.
!
!!
!
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la
bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el
rotor se pare completamente.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en
el embalaje de la bomba antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.
!
!!
!
¡PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de
protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de
vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de
entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.
NO!
INSTRUÇÕES PARA O USO
9 87-900-881-01(B)
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruções e
qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian
antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza
pela eventual inobservância total ou parcial das instruções,
pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas
nacionais específicas.
As bombas da série Turbo-V 250SF são bombas
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo,
capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto
gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou
partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (56.000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas Turbo-V
250SF são totalmente sem agentes contaminadores e,
portanto, são adequadas para aplicações que requerem um
vácuo "limpo".
Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as
informações necessárias para garantir a segurança do técnico
durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são
fornecidas no apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
!
!!
!
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões
pessoais.
!
!!
!
ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não observados, poderiam causar
danos à aparelhagem.
OBS
As obs. contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Durante o transporte e a armazenagem das bombas não
devem ser superadas as seguintes condições ambientais:
− temperatura: de -20ºC a +70ºC
− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante)
Se o tempo de armazenagem for superior a 9 meses, accionar
accionar a bomba em SOFT START (ver manual da unidade
de controlo).
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399
para a protecção do meio ambiente.
!
!!
!
ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
OBS
A bomba não pode ser danificada permanecendo
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema
para evitar que se suje com poeiras.
INSTALAÇÃO
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
− pressão máxima: 2 bar
− temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida
com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical
Information" para maiores detalhes.
!
!!
!
ATENÇÃO!
Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no
momento da ligação da turbobomba ao sistema.
INSTRUÇÕES PARA O USO
10 87-900-881-01(B)
Existindo campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice
"Technical Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V 250SF devem
ser utilizadas somente com um dos controladores Varian
específicos (série 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ou
969-9866) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver
esquema em "Technical Information").
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a
turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da
turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um
torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo, ou utilizando o kit
específico opcional para a fixação à base.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às
câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A
tabela a seguir descreve o número de bornes necessários e
com qual torque devem ser apertados.
FLANGE TIPO DE BORNE N° TORQUE
ISO 100 Borne duplo com rosca
M10
4 22 Nm
Borne simples com rosca
M8
8 11 Nm
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada
à câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice
"Technical Information".
Para fixar a bomba através da sua base, é necessário utilizar
três parafusos M4 fixados aos furos específicos existentes na
base da bomba. Os parafusos utilizados devem possuir um
limite de carga de 500 N/mm
2
e devem ser fixados com um
binário de 0,9 Nm.
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical
Information".
UTILIZAÇÃO
Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o
eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no
flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. Utilizar
sempre o resfriamento com água durante as operações de
aquecimento.
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações
de aquecimento.
!
!!
!
PERIGO!
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
!
!!
!
ATENÇÃO!
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar.
!
!!
!
ATENÇÃO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
!
!!
!
ATENÇÃO!
Para bombear gases agressivos utilizar só as versões
especiais da bomba Turbo - V 250SF. Estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte entre 0.4
e 1 mbar l/s.
MANUTENÇÃO
As bombas da série Turbo-V250SF não requerem qualquer
manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por
pessoal autorizado.
!
!!
!
PERIGO!
Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com
defeito.
OBS.
Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e
enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.
!
!!
!
PERIGO!
Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba à base.
NÃO!
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
11 87-900-881-01(B)
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen
alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich
niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk
in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V 250SF zijn turbomoleculaire
pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in
staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn
niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste
deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 56.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V 250SF pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen
en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een “schoon
vacuüm” verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de
apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te
vinden in de bijlage "Technical information".
Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:
!
!!
!
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
!
!!
!
ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de
volgende omgevingscondities aanwezig zijn:
− temperatuur: van -20°C tot +70°C
− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend)
Als de opslagperiode meer dan 9 maanden bedraagt, de pomp
met de SOFT START wijze opstarten (zie handleiding
regeleenheid).
UITPAKKEN
De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of
stoten te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
!
!!
!
ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of
een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof
wordt voorkomen.
INSTALLATIE
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn:
− max. druk: 2 bar
− temperatuur: van +5°C tot +35°C
− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
!
!!
!
ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
12 87-900-881-01(B)
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 250SF
mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de
speciale Varian controllers (serie 969-9423, 969-9504, 969-
9523, 969-9425, of 969-9866) en moeten aangesloten zijn op
een primaire pomp (zie schema in “Technical Information”).
De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die
een koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen,
of gebruik het speciale optie-pakket voor bevestiging aan de
basis.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde
klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten
worden.
FLENS KLEMTYPE NR. AANHAALKOPPEL
ISO 100 Dubbele klem
met M10
schroefdraad
4 22 Nm
Enkelvoudige
klem met M8
schroefdraad
8 11 Nm
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor
meer informatie de bijlage “Technical Information”.
Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie
M4 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp
worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van
500 N/mm
2
bezitten en met een koppel van 0,9 Nm worden
aangehaald.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld.
Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd worden met behulp van een optionele
verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de
vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer
dan 120° C bedragen.
Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.
!
!!
!
GEVAAR!
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
!
!!
!
ATTENTIE!
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmsoferische druk) bedragen.
!
!!
!
ATTENTIE!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.
!
!!
!
ATTENTIE!
Gebruik voor het pompen van agressieve gassen alleen de
speciale uitvoeringen van de Turbo-V250SF pomp. Deze
pompen zijn voorzien van een speciale poort, waardoor een
stroom inert gas moet worden geleverd die varieert tussen 0.4
en 1 mbar lt/s.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V250SF zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.
!
!!
!
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart
"Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het
plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van
deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking
worden gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
!
!!
!
GEVAAR!
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de
inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men
raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als
een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan
de basis bevestigen.
NEE!
BRUGSANVISNING
13 87-900-881-01(B)
ALMENE OPLYSNINGER
Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse.
Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere
vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug.
Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt,
eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret
anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages
uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en
måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige
normer.
Turbo-V 250SF serien omfatter turbomolekulære pumper til
højvakuum og til ultra-højvakuum, der er i stand til at pumpe
alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet
til at pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved
høj hastighed (max. 56000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv
trefaset elektrisk motor. Turbo-V 250SF pumperne er
fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god
anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.
I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for
operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede
oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information".
I denne håndbog findes følgende regler:
!
!!
!
ADVARSEL!
Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et
indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare
for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.
!
!!
!
PAS PÅ
Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal
overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.
BEMÆRK
Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.
OPLAGRING
Under transport og oplagring af pumpene skal følgende
omgivelsesbetingelser være overholdt:
− temperatur: fra -20°C til +70°C
− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
Hvis pumperne oplagres i mere end 9 måneder, skal de sættes
i gang på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til
kontrolenheden).
FORBEREDELSE TIL MONTERING
Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage.
Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på
beskadigelse, der kan være sket under transporten.
Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til
den under udpakningen.
Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er
genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv
85/399 vedrørende miljøbeskyttelse.
!
!!
!
PAS PÅ
For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de
bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid
handsker eller anden passende beskyttelse.
BEMÆRK
Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den
atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales
det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i
anlægget.
MONTERING
Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.
Følgende betingelser skal overholdes under driften:
− maksimaltryk: 2 bar
− temperatur: fra +5°C til +35°C
− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).
Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
“Technical Information” for yderligere detaljer.
!
!!
!
PAS PÅ
Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik,
turbopumpen tilsluttes anlægget.
BRUGSANVISNING
14 87-900-881-01(B)
Turbomolekulærpumperne i V 250SF serien må kun anvendes
med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9423,
969-9504, 969-9523, 969-9425 eller 969-9866) og skal
forbindes med en primær pumpe (se skemaet i "Technical
Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den
fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres
til en fast modflange, der er i stand til at modstå et
drejningsmoment på 1000 Nm omkring aksen. Pumpen kan
også fastspændes ved hjælp af det særlige udstyr, der fås på
efterspørgsel.
Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.
Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og
det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte
flangedimensioner og typer af klemmer.
FLANGE KLEMMETYPE ANTAL TILSPÆNDING-
SMOMENT
ISO 100 Dobbelt klemme,
gevind M10
4 22 Nm
Enkelt klemme,
gevind M8
8 11 Nm
Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til
vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele
fra Varian. For detaljer henvises til “Teknisk information”.
For at fastspænde pumpen til fundamentet er det nødvendigt at
anvende tre M4-skruer, som indsættes i hullerne på pumpens
fundament. Skruerne skal klare en belastning på 500 N/mm
2
skruernes korrekte tilspændingsmoment er 0,9 Nm.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
ANVENDELSE
Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen
på indgangsflangen ikke overstige 120°C.
Brug altid vandafkøling under opvarmningen.
!
!!
!
ADVARSEL!
Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.
!
!!
!
PAS PÅ
Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der
er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.
!
!!
!
PAS PÅ
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
!
!!
!
PAS PÅ
Brug kun specialpumperne af Turbo - V 250SF typen til
pumpning af ætsende luftarter. Disse pumper er forsynede
med en særlig åbning, gennem hvilken den passive luftarts
strømning skal ligge mellem 0.4 og 1 mbar l/s.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af TURBO-V 250SF typen behøver ikke nogen
vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af
autoriseret personale.
!
!!
!
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt.
Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.
BEMÆRK
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges
i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå i
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.
!
!!
!
ADVARSEL!
For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst
årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens
indgangsåbning. Det anbefales at anvende et
beskyttelsesnet (på efterspørgsel). Hvis der anvendes en
vibrationsdæmper eller en bøjelig metaldæmper på
pumpeåbningen, skal turbopumpen altid fastgøres til
underlagspladen.
NEJ!
BRUKSANVISNING
15 87-900-881-01(B)
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna i Turbo-V 250SF -serien är turbomolekylära pumpar
för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan
användas för pumpning av alla typer av gas eller
gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller
fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
56000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V 250SF-seriens pumpar, som
därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
!
!!
!
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras
exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
!
!!
!
VIKTIGT
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som
måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport
och förvaring av pumpen:
− temperatur: från -20°C till +70°C
− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
Efter förvarning under mer än nio månader skall pumpen
startas med MJUKSTART - metoden (se bruksanvisningen för
kontrolldelen
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på
skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
!
!!
!
VIKTIGT
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
INSTALLATION
Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från
atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
− maximitryck: 2 bar)
− temperatur: från +5°C till +35°C
− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar.
!
!!
!
VIKTIGT
Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har
anslutits till systemet.
BRUKSANVISNING
16 87-900-881-01(B)
Turbomolekylärpumparna i serien V 250SF måste användas
med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9423, 969-
9504, 969-9523, 969-9425, eller 969-9866), och anslutas till en
förpump (se schema i " Technical information").
Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst
turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens
intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på
1000 Nm runt den genomgående axeln, eller använd den
särskilda monteringssatsen som finns som tillval.
Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och
med vilket åtdragningsmoment de ska spännas.
FLÄNS TYP AV
KLAMMER
ANTAL ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
ISO 100 Dubbel klammer
med gänga M10
4 22 Nm
Enkel klammer
med gänga M8
8 11 Nm
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga “Technical Information”.
För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att
använda 3 M4 skruvar, som installeras i hålen på pumpens
fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på
500 N/mm
2
korrekt åtdragningsmoment är 0,9 Nm.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information".
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med
ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under
uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet
aldrig bli högre än 120 °C.
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.
!
!!
!
VARNING!
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.
!
!!
!
VIKTIGT
Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för
luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar.
!
!!
!
VIKTIGT
Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
!
!!
!
VIKTIGT
Vid pumpning av aggressiva gaser skall den
specialkonstruerade versionen av Turbo - V 250SF pumpen
användas. Denna pumptyp är försedd med ett specialuttag dit
ett ädelgasflöde mellan 0.4 och 1 mbar l/s skall anslutas.
UNDERHÅLL
Pumparna i Turbo-V 250SF-serien är underhållsfria. Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
!
!!
!
VARNING!
Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en
renoverad pump.
OBSERVERA
Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning
!
!!
!
VARNING!
Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens
inlopp för att undvika skador. Användning av skyddsgaller
(tillval) rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare
eller böjliga metallbälgar monteras vid inloppet måste
pumpen förankras i fundamentet.
NEJ
BRUKERVEILEDNING
17 87-900-881-01(B)
GENERELL INFORMASJON
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Turbo-V 250SF serien med pumper er turbo-molekulære
pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan
pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke
beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 56000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V 250SF
pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for
anlegg med behov for "rene" vakuum.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
!
!!
!
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
!
!!
!
FORSIKTIG
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom
de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende
miljømessige krav oppfylles:
− temperatur: fra -20°C til +70°C
− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Skal utstyret lagres lengre enn ni måneder, må pumpen
MYKSTARTES (se kontrollenhetens manual).
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,
må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
!
!!
!
FORSIKTIG
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
MERK
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge
pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.
INSTALLASJON
Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
− maksimalt trykk: 2 bar
− temperatur: fra +5°C til +35°C
− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
!
!!
!
FORSIKTIG
Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før
turbopumpen skal festes til systemet
BRUKERVEILEDNING
18 87-900-881-01(B)
Turbo-V 250SF serien turbo-molekulære pumper må kun
brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (969-9423,
969-9504, 969-9523, 969-9425 eller 969-9866), og må koples
til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon").
Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest
turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot
en koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm rundt
aksen, eller ved å bruke bunnfestesettet.
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende
tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante
strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene.
FLENS TYPE KLEMME ANTALL STRAMME-
MOMENT
ISO 100 Dobbel klemme
gjenge M10
4 22 Nm
Enkel klemme
gjenge M8
8 11 Nm
Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.
For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke
tre M4-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens
fundament. Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm
2
skruenes riktige strammemoment er 0,9 Nm.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.
For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av
kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke
overskride 120°C.
Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen
!
!!
!
ADVARSEL!
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
!
!!
!
FORSIKTIG
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar.
!
!!
!
FORSIKTIG
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.
!
!!
!
FORSIKTIG
Ved pumping av aggressive gasser må det brukes
spesialversjoner av Turbo - V 250SF pumpen. Disse pumpene
har en spesiell port som kan brukes til flyt av inaktive gass med
trykk mellom 0.4 og 1 mbar l/s.
VEDLIKEHOLD
Turbo-V 250SF serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på
pumpen må kun utføres av autorisert personell.
!
!!
!
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples
tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og
deretter vente til rotoren har stanset.
Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte
pumpen.
MERK
Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen
som sendes tilbake.
Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
!
!!
!
ADVARSEL!
For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre
gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler
på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt
ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible
metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen
er godt festet til underlaget.
NEI
KÄYTTÖOHJEET
19 87-900-881-01(B)
YLEISIÄ TIETOJA
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin
toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka
johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta
laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä
laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai
kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Turbo-V 250SF sarjan pumput ovat korkean ja ultrakorkean
tyhjiön käyttöön tarkoitettuja kaikentyyppisiä kaasuja tai
kaasukoostumien pumppaavia turbomolekyylipumppuja. Ne
eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten
pumppaukseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (56000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkomoottori käynnistää.
Turbo-V 250SF sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia
aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin
käyttötarpeisiin.
Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto
laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön
aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical
Information".
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
!
!!
!
VAARA!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion
erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen
suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin.
!
!!
!
HUOMIO
Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden
laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen.
HUOMAUTUKSET
Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot.
VARASTOINTI
Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy
seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä:
− lämpötila: - 20°C - +70°C
− suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä)
Jos varastointiaika on yli 9 kuukautta, tulee pumppu käynnistää
SOFT START-tavalla (katso kontrolliyksikön käyttökirja).
VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN
Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa
pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti
kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys
paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun
putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on
täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä
ympäristön suojelusta.
!
!!
!
HUOMIO
Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön
tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai
muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen.
HUOMAUTUKSET
Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On
kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään
järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen
pölyltä.
ASENNUS
Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai
agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa
räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä
koskevia ehtoja:
− maksimipaine: 2 bar
− lämpötila: + 5°C - +35°C
− suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).
Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän
tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical
Information”-liitteestä.
!
!!
!
HUOMIO
Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun
turbopumppu liitetään järjestelmään.
KÄYTTÖOHJEET
20 87-900-881-01(B)
Sarjan V 250SF turbomolekyylipumppuja tulee käyttää
ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969-
9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 tai 969-9866) ja niiden
täytyy olla yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta
"Technical Information").
Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kannattaa 1000 Nm paria akselinsa ympärillä, tai käyttäen
tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen kiinnittämiseen.
Turbopumpu ISO sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla
kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja
kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän ja
kiristysmomentti.
LAIPPA KIINNIKE MÄÄRA KIRISTYSMO-
ENTTI
ISO 100 Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
4 22 Nm
Yksinkertainen
kiinnike, kierteitys
M8
8 11 Nm
Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”-liittestä.
Pumppu tulee kiinnittää jalustan avulla käyttäen kolmea M4
ruuvia jotka on kiinnitetty sopiviin pumpun jalustassa oleviin
rakoihin. Ruuveilla tulee olla venytysrasitus joka vastaa 500
N/mm
2
, ja tulee kiinnittää 0,9 Nm momentilla.
Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical
Information" osassa.
KÄYTTÖ
Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet
löytyvät valvojan käsikirjasta.
Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.
Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon
kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta saatavaa
kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen kuumentamisen
aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa olla yli 120 °C.
Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen.
!
!!
!
VAARA!
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin
kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan
henkilöiden loukkaantumisia.
!
!!
!
HUOMIO
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan
paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia.
!
!!
!
HUOMIO
Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan
aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.
!
!!
!
HUOMIO
Aggressiivisten kaasujen pumppauksessa käyttäkää
ainoastaan Turbo-V250SF pumpun erikoisversiota. Näissä
pumpuissa on aukko, jonka läpi on kuljettava 0.4 ja 1 mbar
l/s:n välillä oleva jalokaasuvirta.
HUOLTO
Sarjan Turbo-V 250SF pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa.
Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu
henkilö.
!
!!
!
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä
verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen
tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä
pysähtymistä.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka
mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen
tilalle.
HUOMAUTUS
Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai
advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti
täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä
ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää
pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa kansallisen
lainsäädännön määräämällä tavalla.
!
!!
!
VAARA!
Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään
tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia
tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa
(lisävaruste).
Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai
taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää
aina jalustaan.
EI!
ODHGIES CRHSHS
ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS
ODHGIES CRHSHS
21 87-900-881-01(B)
GENIKES PLHROFORIES
GENIKES PLHROFORIESGENIKES PLHROFORIES
GENIKES PLHROFORIES
Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj
qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj
egceirid∂ou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h
Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj.
H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ
aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj
anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh pou
den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.
Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V 250SF e∂nai (strobilomoriak◊j)
antl∂ej (ÿ moriak◊j tourmp∂nej) gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ
uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio. E∂nai
akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn.
H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 56000 s.a.l.), h
opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r
uyhlÿj
apÒdoshj.
..
. Oi antl∂ej Turbo-V 250SF den peri◊coun rupantikoÚj
par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou
apaitoÚn ◊na "kaqarÒ" kenÒ.
Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th
di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j
plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma " Tecnik◊j Plhrofor∂ej ".
Auto to e
Auto to eAuto to e
Auto to egceir∂dio crhsimopoie∂ ti
gceir∂dio crhsimopoie∂ tigceir∂dio crhsimopoie∂ ti
gceir∂dio crhsimopoie∂ tij akÒlouqe
akÒlouqe akÒlouqe
akÒlouqej sumb£sei
sumb£sei sumb£sei
sumb£seij:
!
!!
!
KINDUNOS
KINDUNOSKINDUNOS
KINDUNOS!
Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se mia
diadikas∂a ÿ se mia eidikÿ ergas∂a h opo∂a e£n den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.
!
!!
!
PROSOCH
PROSOCHPROSOCH
PROSOCH!
Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi
opo∂ej e£n den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na
prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ.
SHMEIWSH
SHMEIWSHSHMEIWSH
SHMEIWSH
Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apÒ to ke∂meno.
APOQHKEUSH
APOQHKEUSHAPOQHKEUSH
APOQHKEUSH
Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqÿkeushj twn
antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j
sunqÿkej:
− qermokras∂a apo: -20°C m◊cri +70°C
− scetikÿ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth)
E£n o crÒnoj apoqÿkeushj xepern£ei touj 9 mÿnej, h antla qa
prpei na teqe se knhsh me trÒpo SOFT START (bl. to egceirdio
thj mon£daj elgcou).
PROETOIMASIA GIA THN
PROETOIMASIA GIA THNPROETOIMASIA GIA THN
PROETOIMASIA GIA THN EG
EG EG
EGKATASTASH
KATASTASHKATASTASH
KATASTASH
H antl∂a enai exoplism◊nh me m∂a eurÚcwrh prostateutikÿ
suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na
◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te
to topikÒ tmÿma pwlÿsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèèste
idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h
antl∂a.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ
anakuklènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.E.
85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.
!
!!
!
PROSOC
PROSOCPROSOC
PROSOCH
HH
H!
Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh
aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai na
ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh
kat£llhlh prostas∂a.
SHMEIWSH
SHMEIWSHSHMEIWSH
SHMEIWSH
H antl∂a den katastr◊fetai e£n aplèj ekteqe∂ ston atmosfairikÒ
a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn kratÿsete kleistÿ m◊cri th
stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto sÚsthma, ◊tsi èste na
apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ th skÒnh.
EGKATASTASH
EGKATASTASH EGKATASTASH
EGKATASTASH
H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai-ÿ na crhsimopoihqe∂
se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ,
p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei
k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj:
− max. p∂esh: 2 bar
− qermokras∂a: apÒ +5°C m◊cri +35°C
− scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).
Se magnhtik£ ped∂a Òpou h ◊ntash uperba∂nei ta 10 mT e∂nai
anagka∂a h k£luyh thj antl∂aj me ◊na sidhromagnhtikÒ
k£lumma. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
!
!!
!
PROSOCH
PROSOCHPROSOCH
PROSOCH!
Xekoll£te to autokÒllhto kai bg£zete to prostateutikÒ kap£ki
mÒnon th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.
ODHGIES CRHSHS
ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS
ODHGIES CRHSHS
22 87-900-881-01(B)
Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V250SF pr◊pei na
crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj el◊gcouj Varian
(seir£ 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 h 969-9866) kai
pr◊pei na e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe
scÿma stij "Tecnik◊j Plhrofor∂ej").
H tourmpoantla mpore na topoqethqe se opoiadÿpote qsh.
Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th
fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza
ikanÿ na
sugkratÿsei ◊na zeug£ri 1000 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj, ÿ
crhsimopoiÒntaj to kat£llhlo scetikÒ kit gia na
staqeropoiÿsete th b£sh..
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊ pei na sterewqe∂ sto
q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn m◊ggenwn. H akÒlouqh
tamp◊la perigr£fei to apara∂thto noÚmero m◊ggenwn kai me poio
zeÚgoj bidèmatoj na ta sf∂xete.
FLANTZA TUPOS MEGGENHS N. ZEUGOS
BIDWMATOS
ISO 100
Diplÿ m◊ggenh me
el∂kwsh M10
4
22 Nm
Monÿ m◊ggenh me
el∂kwsh M8
8
11 Nm
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂
sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn
Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe thn epifull∂da
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
Gia na sterewvsete thn antliva mevsw thÇ bavshÇ thÇ eivnai
aparaivthto na crhsimopoihvsete treiÇ bivdeÇ M4 sterewvnete
stiÇ eidikevÇ opevÇ pou upavrcoun sth bavsh thÇ antlivaÇ. Oi
crhsimopoiouvmeneÇ bivdeÇ prevpei na evcoun antochv 500
N/mm
2
, kai prevpei na sterewqouvn me evna zeugavri 0,9 Nm.
Gia thn egkat£stash twn proeraitikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej".
C
CC
CRHSH
RHSHRHSH
RHSH
Olej oi odhg∂ej gia th swstÿ leitourg∂a thj tourmpoantl∂aj
peri◊contai sto egceir∂dio el◊gcou.
Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh.
Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na qerm£nete
to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton ◊xtra qermantÿ.
Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ h
qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj
120°C.
Kat£ th q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh.
!
!!
!
KINDUNOS
KINDUNOSKINDUNOS
KINDUNOS!
Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£ thj
kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na
prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.
!
!!
!
PROSOCH
PROSOCHPROSOCH
PROSOCH!
Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra ÿ
adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou
diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar.
!
!!
!
PROSOCH
PROSOCHPROSOCH
PROSOCH!
Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ
metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se
leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta.
!
!!
!
PROSOC
PROSOCPROSOC
PROSOCH
HH
H!
Gia thn £ntlhsh polemikèn aerwn crhsimopoiÿste mÒno tij
ekdÒseij thj antlaj Turbo - V250SF Autj oi antlej enai
efodiasmnej me mia eidikÿ qurda msw thj opoaj enai anagkaa h
diocteush adranoÚj aerou pou na kumanetai metaxÚ 0.4 kai
1mbarl./d.
SUNTHRHSH
SUNTHRHSHSUNTHRHSH
SUNTHRHSH
Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo - V250SF de crei£zontai kamm∂a
suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ
eidikeum◊no proswpikÒ.
!
!!
!
KINDUNOS
KINDUNOSKINDUNOS
KINDUNOS!
Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a,
aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a
ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da kai perim◊nete m◊cri na stamatÿsei
tele∂wj to mot◊r.
Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj
Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th
dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a
£llh eniscum◊nh.
SHMEIWSH
SHMEIWSHSHMEIWSH
SHMEIWSH
Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ
gia
advanced exchange service,
enai apara∂thto na sumplhrèsete
kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo -
Sigouri£ kai uge∂a- sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn.
Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth
suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ.
Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na
katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj.
!
!!
!
KINDUNOS
KINDUNOSKINDUNOS
KINDUNOS!
Gia na apofÚgcqoÚn traumatismo∂ se £toma mh b£zete pot◊,
gia kan◊na lÒgo, ta d£ctula ÿ £lla antike∂mena sto stÒmio
eisÒdou thj tourmpoantl∂aj. SumbouleÚetai h crÿsh tou
dictuoÚ prostas∂aj (proeraitikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj
aposbestÿraj donÿsewn ÿ ◊na elastikÒ metallikÒ mikrÒ
fuserÒ sto stÒmio eisÒdou, stereènete p£nta thn
tourmpoantl∂a sth b£sh.
OCI
OCIOCI
OCI
INSTRUCTIONS FOR USE
23 87-900-881-01(B)
GENERAL INFORMATION
This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions,
improper use by untrained persons, non-authorized
interference with the equipment or any action contrary to that
provided for by specific national standards.
The Turbo-V250SF series pumps are turbo-molecular pumps
for high and ultra-high vacuum applications and can pump any
type of gas or gas compound. They are not suitable for
pumping liquids or solid particles. The pumping action is
obtained through a high speed turbine (max. 56000 rpm) driven
by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-
V250SF pumps are free of contaminating agents and,
therefore, are suitable for applications requiring a "clean"
vacuum.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the
equipment. Detailed information is supplied in the appendix
"Technical Information".
This manual uses the following standard protocol:
!
!!
!
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not
followed correctly, could lead to serious injury.
!
!!
!
CAUTION
The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.
NOTE
The notes contain important information taken from the text.
STORAGE
When transporting and storing the pumps, the following
environmental requirements should not be exceeded:
− temperature: from -20° to +70 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
If the storage time is longer than 9 months, start the pump
using the SOFT START mode (see control unit manual).
PREPARATION FOR INSTALLATION
The pump is supplied in a special protective packing. If this
shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.
!
!!
!
CAUTION
In order to prevent outgassing problems, do not use bare
hands to handle components which will be exposed to vacuum.
Always use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the pump.
Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed
in the system, thus preventing any form of pollution by dust.
INSTALLATION
Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk.
During operation, the following environmental conditions must
be respected:
− maximum pressure: 2 bar
− temperature: from +5 °C to +35 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical
Information" for detailed information.
The Turbo-V250SF series pumps must only be used with one
of the special Varian controllers (series 969-9423, 969-9504,
969-9523, 969-9425 or 969-9866) and must be connected to a
primary pump (see "Technical Information").
The turbopump can be installed in any position.
Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet
flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of
withstanding a torque of 1000 Nm around its axis, or use the
optional base fixing kit
!
!!
!
CAUTION!
Do not remove the adhesive and protective cap before
connecting the turbopump to the system.
INSTRUCTIONS FOR USE
24 87-900-881-01(B)
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of clamps or claws. The following
table shows, for each flange and fixing device, the necessary
number of clamps or claws and the relevant fixing torque.
FLANGE FIXING
DEVICE
N. FIXING TORQUE
ISO 100 M10 clamps 4 22 Nm
M8 claws 8 11 Nm
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian
hardware. See the appendix "Technical Information" for a
detailed description.
To fix the pump by means of its base, it is necessary to use
three M4 screws fixed to the foreseen holes of the pump base.
The used screws must have a minimum strength point of 500
N/mm
2
and must be fixed with a torque of 0,9 Nm.
For installation of optional accessories, see "Technical
Information".
USE
All the instructions for the correct use of the turbopump are
contained in the control unit manual.
Read the manual carefully before using the pump.
In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump
casing may be heated using the optional heater. While heating
the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed
120 °C.
Always use the water cooling system during the heating
operations.
!
!!
!
WARNING!
Do not touch the turbopump or any of its accessories during
the heating process. The high temperatures may cause burns.
!
!!
!
CAUTION
Use air or inert gas free from dust or particles for venting the
pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar.
!
!!
!
CAUTION
Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump
when in operation. The bearings may become damaged.
!
!!
!
CAUTION
For pumping aggressive gases, use the specially designed
versions of the Turbo-V250SF pump. These pumps are fitted
with a special port through which a flow of inert gas must be
passed between 0,4 and 1 mbar l/s.
MAINTENANCE
The Turbo-V250SF series pump does not require any
maintenance. Any work performed on the pump must be
carried out by authorized personnel.
!
!!
!
WARNING!
Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it
from the supply, vent the pump by opening the appropriate
valve, wait until the rotor has stopped turning.
In the case of breakdown, contact your local Varian service
center who can supply a reconditioned pump to replace that
broken down.
NOTE
Before returning the pump to the constructor for repairs, or
replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"
sheet attached to this instruction manual must be filled-in and
sent to the local sales office. A copy of the sheet must be
inserted in the pump package before shipping.
If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in
accordance with the specific national standards.
!
!!
!
WARNING!
To avoid injury, never put fingers or any objects
whatsoever in the inlet port of the turbopump. The use of
the protective screen is strongly advised (optional extra). If
a vibration damper or flexible metallic bellows are used on
the inlet port, make sure that the pump is fixed to the
base.
NO!
TECHNICAL INFORMATION
25 87-900-881-01(B)
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP
The Turbo-V250SF pump is available in two ver-
sions. The difference between the two versions lies
purely in the high vacuum connection. The two
versions are:
− Model 969-9009
with ISO 100 high vacuum flange
− Model 969-9010
with ConFlat 6” external diameter high vacuum
flange
Model 969-9009 Model 969-9010
The Turbo-V250SF pump is equipped with an up-
per inlet port and a side port and is foreseen for
applications where a double port is necessary
(multi-chamber systems).
The Turbo-V250SF pump consists of a high fre-
quency motor driving a turbine fitted with 5 bladed
stages and 3 Macrotorr stages. The turbine rotates
in an anticlockwise direction when viewed from the
high vacuum flange end.
The turbine is made of high-strength, light alumin-
ium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The turbine blades have two different
angles, 16° and 20°, while the Macrotorr stages
are in form of discs.
The turbine rotor is supported by permanently lu-
bricated high precision ceramic ball bearings in-
stalled on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are fabricated in
stainless steel. These are supported and accu-
rately positioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of self-
positioning machined discs with pumping channels
and an opening restricted by the corresponding ro-
tor discs. These are made of aluminium alloy.
During normal operation, the motor functions with a
power feed at 58 Vac three-phase at 933 Hz. To
reduce losses during start-up to a minimum, the
frequency increases according to a ramp with a
higher initial voltage/frequency ratio.
The external body of the pump is fitted with fins
which allow the pump itself to function with natural
convection air cooling. Kits are available for water
cooling or forced air cooling to cool the pump in the
cases where it is used under heavy load or when
natural convection is insufficient for cooling pur-
poses.
A thermistor sensor is mounted near the upper
bearing to prevent the pump from overheating.
The thermistor sensor, the motor stator windings
and the earth are connected to a Turbo-V control-
ler through a 6 pin socket on the side of the pump.
The pump is balanced after assembly with a resid-
ual vibration amplitude less than 0.01 µm.
The pump can operate in any position and can be
supported on the high vacuum flange or on its
base. The connection of the forevacuum on the
side of the pump is a KF 16 NW flange.
TECHNICAL INFORMATION
26 87-900-881-01(B)
TECHNICAL SPECIFICATION
Pumping speed (l/s) Main port: Side port:
N
2
: 250 l/s N
2
: 10 l/s
He: 220 l/s He: 10 l/s
H
2
: 200 l/s H
2
: 8 l/s
Compression ratio N
2
: 1 x 10
7
He: 7 x 10
3
H
2
: 2 x 10
3
Maximum differen-
tial pressure ratio
N
2
: 1 x 10
5
Base pressure* with recommended mechanical pump:
2 x 10
-10
mbar (1.5 x 10
-10
Torr)
with recommended diaphragm pump:
2 x 10
-9
mbar (1.5 x 10
-10
Torr)
Inlet flange Main port: CFF 6" O.D., ISO 100
Side port: NW40 KF
Foreline flange NW16 KF
Rotational speed 56000 RPM
Start-up time < 3 minutes
Recommended
forepump
Two stage rotary pump SD-40
Diaphragm pump: MDP 30
Operating
position
any
Cooling
requirements
Natural air convection
Forced air or water optional
Operating ambient
temperature
+ 5° C to + 35° C
Coolant water flow: 30 l/h (0.13 GPM)
temperature: + 10° C to + 30° C
pressure: 3 to 4 bar
electrical conductivity: ≤ 500 µS/cm
Bakeout
temperature
120° C at inlet flange maximum
(CF flange)
80° C at inlet flange maximum
(ISO flange)
Vibration level
(displacement)
< 0.01 µm at inlet flange
Noise level 45 dB (A) at 1 meter
Input 58 Vac, three phase, 933 Hz
Lubricant permanent lubrication
Storage
temperature
- 20° C to + 70° C
Weight kg (lbs) 5.5 (12)
* According to standard DIN 28 428, the base
pressure is that measured in a leak-free test dome,
48 hours after the completion of test dome bake-
out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange
and using the recommended pre-vacuum pump.
Dimensions: inches [mm]
TECHNICAL INFORMATION
27 87-900-881-01(B)
Graph of nitrogen pumping speed against inlet pressure
Graph of compression ratio against foreline pressure
Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using
the recommended mechanical forevacuum pump
TECHNICAL INFORMATION
28 87-900-881-01(B)
INLET SCREEN INSTALLATION
The inlet screens mod. 969-9302 prevents the
blades of the pump from being damaged by debris
greater than 0.7 mm diameter.
The inlet screen, however, does reduce the pump-
ing speed by about 10%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.
The screen can be mounted on either pump series
and is supplied with a small tab for easy removal
(see figure).
Overall dimensions with the protection screen fitted
on pump series 969-9009 (with ISO 100 flange).
Overall dimensions with the inlet screen fitted on
pump series 969-9010 (with ConFlat 6” flange).
TECHNICAL INFORMATION
29 87-900-881-01(B)
WATER COOLING KIT INSTALLATION
Two types of water cooling kits are available to be
mounted when the pump is used under heavy load
conditions or when air cooling is insufficient.
The two model part numbers are: 969-9337 (metal-
lic model), and 969-9347 (plastic model).
Model 969-9337
Model 969-9347
!
!!
!
CAUTION
The items of the plastic model kit must be assem-
bled as shown in the following figure
The assembled kit must be screwed into the suit-
able holes of the pump body with a recommended
closing torque of 5 Nm.
The metallic model is assembled as shown in the
figure.
Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic
hoses from the water supply must be fitted to the
two nozzles.
NOTE
These hoses must be held on the respective noz-
zles using hose clips to avoid that the tube(s) gets
loose or disconnected during operation.
The plastic model must be screwed into the suit-
able holes of the pump.
Cooling may be carried out either through an open
circuit with eventual discharge of the water, or us-
ing a closed circuit cooling system.
The water temperature must be between +10°C
and +30°C, with an inlet pressure between 3 and 5
bar. This allows a flow of about 200 l/h.
The overall dimensions of the pump when
equipped with the water cooling kit mounted are
shown in the figure below.
TECHNICAL INFORMATION
30 87-900-881-01(B)
BASE FIXING KIT INSTALLATION
The kit mod. 969-9326 enables the pump to be
fixed at the base.
Open the package containing the feet and respec-
tive screws.
Insert the three grub screws in the three feed from
the rear, as shown in the diagram, and screw them
in ensuring that they do not protrude from the other
end.
Use the Allen key supplied for this purpose.
Turn the pump upside down
!
!!
!
CAUTION
Before overturning the pump, remove the protec-
tion screen, if fitted.
Insert the three feed as shown in the figure, bear-
ing in mind that the position must be as indicated in
the figure.
For the feet to the pump by tightening the previ-
ously inserted grub screws with the Allen key.
Turn the pump the right way up. Fix the pump to a
base by using the three screws provided (M4
thread) in the holes in the three feet.
TECHNICAL INFORMATION
31 87-900-881-01(B)
AIR COOLING KIT INSTALLATION
Two fan kits are available for air cooling the pump,
when natural air convenction is insufficient.
Specification for small fan (mod. 969-9310):
− air flow: 9 l/s (10 CFM)
− input voltage: 24 Vdc
− maximum power: 2.16 W
− dimensions: 60x60 mm (2.36x2.36 inches)
Specification for large fan (mod. 969-9313):
− air flow: 25 l/s (51 CFM)
− input voltage: 120 Vac, 50-60 Hz
− maximum power: 17 W
− dimensions: 119x119 mm
(4.69x4.69 inches)
Open the package containing the feet and respec-
tive screws and install them as indicated in the in-
stallation of the base fixing kit.
Position the fan on the pump, ensuring that the
holes in the plate line up with those in the feet.
Insert the respective washers and screws and
tighten with a screwdriver.
Connect the fan to the controller.
The low power fan can also be mounted under the
pump as shown in the following figure.
SIDE MOUNTING
BOTTOM MOUNTING
TECHNICAL INFORMATION
32 87-900-881-01(B)
VENT VALVE INSTALLATION
The vent valve mod. 969-9833 enables undesired
venting of the pump during a temporary power fail-
ure (5 sec maximum) to be avoided, and enables
an automatic vent operation.
Unscrew the threaded plug.
Screw the vent valve into the pump.
Tighten the valve using a 16 mm hexagonal span-
ner.
!
!!
!
CAUTION
Do not overtighten the valve as this may damage
the thread on the pump.
TECHNICAL INFORMATION
33 87-900-881-01(B)
VENT DEVICE INSTALLATION
The vent device mod. 969-9831 allows to avoid
undesired venting of the pump during a temporary
power failure (adjustable time up to 36 min.), and
enables an automatic vent operation.
Unscrew and remove the threaded plug.
Screw the flange mod. 969-9109 on the pump, tak-
ing care of the o-ring right position.
Assemble the seal ring and lock the vent device in
position using the KF klamp.
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION
Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange
version pumps are available as accessories.
The two model part numbers are the following:
− model 969-9342 for ISO 100 flange;
− model 969-9332 for CFF 6” flange.
They typically reduce the vibration transmitted from
the Turbo-V250SF pump to the system by a factor
of 20.
Please refer to the relevant instruction manual.
TECHNICAL INFORMATION
34 87-900-881-01(B)
TYPICAL CONNECTIONS
High Vacuum Flange Connection
To connect the Turbo-V250SF pump to the ISO
inlet flange, remove the outer ring and position the
centering ring as shown in the figure.
Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.
For ConFlat flange connections we recommend
using Varian hardware.
To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-
pro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange.
Attach the units and tighten each one in turn. Repeat
the sequential tightening until the flange faces meet.
!
!!
!
CAUTION
Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.
High Vacuum Flange Connection Configurations
TECHNICAL INFORMATION
35 87-900-881-01(B)
Fore-vacuum Pump Connection
A flange KF 16 NW is available to connect the
Turbo-V250SF to the fore-vacuum pump. A hose
or vacuum approved pipe can be used. If a rigid
pipe is used, any vibration generated by the me-
chanical pump must be eliminated through the use
of bellows.
NOTE
The Turbo-V250SF is characterized by its high
compression ratio also for oil vapors. When using a
mechanical oil-sealed pump, it is advisable to in-
stall a suitable trap between the turbopump and the
fore-vacuum pump in order to prevent oil back-
streaming.
Electrical Connection
The turbopump is connected to the controller
through an 6-pin connector. Pins B, C and D are
the 3-phase supply to the motor, pins A and F are
connected to the temperature sensor (NTC type,
30 KΩ resistance at 25° C) and pin E is connected
to the pump earth.
If the temperature sensor is disconnected, the
pump will not start. To prevent damage to the
pump when the temperature exceeds 60° C, the
sensor automatically cuts out the power supply.
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES
To prevent damage to the bearings, an inert gas
must flow into the pump body around the upper
bearing towards the forevacuum line. To supply the
inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through
the purge port, connect a gas purge valve between
the pressure regulator and the pump.
Adjust the pressure regulator in order to read a gas
flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s.
A special kit is available to purge this pump.
Please contact Varian for informations.
!
!!
!
CAUTION
To prevent bearing damage, Varian suggests a
minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17
mbar l/s). This value can be exceeded, according
to the process requirements. Please contact Var-
ian for specific applications.
The purge gas throughput with the recommended
forepump of 15 m
3
/h (11 CFM) allows to achieve a
high vacuum pressure in the 10
-8
mbar range.
The recommended gas flow maintains a pressure into
the pump body higher than the forevacuum pressure.
The recommended procedure to vent the system
and the pump avoiding the contact between the
pump bearings and the corrosive gas is described
in the following points:
1. Close the corrosive gas flow into the system.
2. Leaving the Turbo-V pump and the backing
pump running and the purge gas flowing, wait
for enough time to evacuate the corrosive gas
from the system.
3. Open the Turbo-V vent port slowly until to
reach atmospheric pressure in the system.
4. Turn off the Turbopump.
5. When the Turbo-V pump and the backing
pump are stopped and the system is at at-
mospheric pressure, for a better bearing pro-
tection it is advisable to leave the purge gas
flowing into the Turbo-V pump, with the
chamber or the Turbo-V vent valve opened, to
avoid system overpressures. If the vent valve
can't be kept opened, the backing pump
should be left operating.
Purge layout
1. Purge gas line
2. Pressure regulator
3. Gas purge valve
4. Gas purge kit
5. Forevacuum pump
6. Turbopump
7. Vent valve
TECHNICAL INFORMATION
36 87-900-881-01(B)
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC
FIELDS
Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose to its
rotation.
The result is increased electrical power consump-
tion by the motor, most of which is dissipated in the
rotor.
Since the rotor is not in contact with the stator the
above power can leave the rotor mainly by radia-
tion and hence the rotor may be overheated while
static parts of the pump remain cool.
This effect is strongly dependant from the intensity,
time function and distribution of the magnetic field.
In general, therefore, an increase in pump current
can be expected.
If this increase is lower than 50% of the current
value drawn by the motor in high vacuum opera-
tion, no particular problem should be expected.
However if the effect is grater, than the case
should be carefully reviewed by Varian's specialist.
As a matter of fact, in case of high magnetic fields,
also important forces might be generated and ap-
plied to the rotor.
ACCESSORIES
DESCRIPTION PART NUMBER
Inlet screen DN100 969-9302
Base fixing kit 969-9326
Water cooling kit 969-9337
Plastic water cooling kit 969-9347
Air cooling kit (small) 969-9310
Air cooling kit (large) 969-9313
Vibration damper ISO 100 969-9344
Vibration damper 6” CFF 969-9334
Centering ring ISO 100
(with O-ring)
IC-100 SV
ISO clamp IC-063-100-A
Copper gaskets for 6” CFF
(10-Pack)
FG-0600-CI
Nut and bolt set for 6” CFF
(25-Pack)
FB-0450-C12
Vent valve with fixed delay time 969-9833
Vent valve with adjustable delay
time
969-9831
Vent flange NW 10 KF 969-9109
Forepump DS 102, with 1 ph.,
universal motor
949-9315
Forepump MDP 30, 120 V 949-9451
Forepump MDP 30, 220 V 949-9452
For a complete overview of Varian's extensive
product lines, please refer to the Varian catalog.
Request for Return
1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
3. The customer is expected to take the following actions to ensure the
Safety
of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : +1 781 8617200
Fax: +1 781 8609252
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: +39 011 9979111
Fax: +39 011 9979330
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only:
Taxable
Non-taxable
Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...
……………..…………………... ..………………………………...
………………..………………... ..………………………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange
Paid Repair
Warranty Exchange
Warranty Repair
Loaner Return
Credit
Shipping Error
Evaluation Return
Calibration
Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT
been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS
been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……
NOTE:
If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,
the customer
will be held responsible
for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and
is liable
for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..
Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
POSITION PARAMETERS
Does not start
Noise
Vertical
Power: Rotational Speed:
Does not spin freely
Vibrations
Horizontal
Current: Inlet Pressure:
Does not reach full speed
Leak
Upside-down
Temp 1: Foreline Pressure:
Mechanical Contact
Overtemperature
Other: Temp 2: Purge flow:
Cooling defective …………………. OPERATION TIME:
TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS
Bad feedthrough
Poor vacuum
Main seal leak
Bellows leak
Vacuum leak
High voltage problem
Solenoid failure
Damaged flange
Error code on display
Other
Damaged sealing area
Other
Customer application:
Customer application:
LEAK DETECTORS INSTRUMENTS
Cannot calibrate
No zero/high backround
Gauge tube not working
Display problem
Vacuum system unstable
Cannot reach test mode
Communication failure
Degas not working
Failed to start
Other
Error code on display
Other
Customer application:
Customer application:
PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS
Pump doesn’t start
Noisy pump (describe)
Heater failure
Electrical problem
Doesn’t reach vacuum
Over temperature
Doesn’t reach vacuum
Cooling coil damage
Pump seized
Other
Vacuum leak
Other
Customer application:
Customer application:
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.
Sales and Service Offices
Argentina
Varian Argentina Ltd.
Sucursal Argentina
Av. Ricardo Balbin 2316
1428 Buenos Aires
Argentina
Tel: (54) 1 783 5306
Fax: (54) 1 786 5172
Australia
Varian Australia Pty Ltd.
679-701 Springvale Road
Mulgrave, Victoria ZZ 3170
Australia
Tel: (61) 395607133
Fax: (61) 395607950
Benelux
Varian Vacuum Technologies
Rijksstraatweg 269 H,
3956 CP Leersum
The Netherlands
Tel: (31) 343 469910
Fax: (31) 343 469961
Brazil
Varian Industria e Comercio Ltda.
Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644
Vila Olimpia
Sao Paulo 04548 005
Brazil
Tel: (55) 11 3845 0444
Fax: (55) 11 3845 9350
Canada
Central coordination through:
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free: (800) 882 7426
China
Varian Technologies - Beijing
Room 1201, Jinyu Mansion
No. 129A, Xuanwumen Xidajie
Xicheng District
Beijing 1000031 P.R. China
Tel: (86) 10 6608 1530
Fax: (86) 10 6608 1534
France and Wallonie
Varian s.a.
7 avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: (33) 1 69 86 38 13
Fax: (33) 1 69 28 23 08
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: (49) 6151 703 353
Fax: (49) 6151 703 302
India
Varian India PVT LTD
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: (91) 11 5548444
Fax: (91) 11 5548445
Italy
Varian Vacuum Technologies
Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9111
Fax: (39) 011 997 9350
Japan
Varian Vacuum Technologies
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253
Fax: (81) 3 5232 1263
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd.
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: (82) 2 3452 2452
Fax: (82) 2 3452 2451
Mexico
Varian S.A.
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: (52) 5 523 9465
Fax: (52) 5 523 9472
Ta i w a n
Varian Technologies Asia Ltd.
18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road
Sec. 1, Hsi Chih
Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: (886) 2 2698 9555
Fax: (886) 2 2698 9678
UK and Ireland
Varian Ltd.
28 Manor Road
Walton-On-Thames
Surrey KT 12 2QF
England
Tel: (44) 1932 89 8000
Fax: (44) 1932 22 8769
United States
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free: (800) 882 7426
Other Countries
Varian Vacuum Technologies
Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9111
Fax: (39) 011 997 9350
Internet Users:
Customer Service & Technical Support:
vtt.customer.service@varianinc.com
Worldwide Web Site:
www.varianinc.com/vacuum
Order On-line:
www.evarian.com
Representatives in most countries
11/01
Transcripción de documentos
Turbo-V250SF pumps MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES 969-9009 series 969-9010 series BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS INSTRUCTION MANUAL 87-900-881-01(B) APRIL 2002 Turbo-V 250SF ISTRUZIONI PER L’USO .................................................................................................... 1 GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3 MODE D’EMPLOI ................................................................................................................ 5 INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7 INSTRUÇÕES PARA O USO.............................................................................................. 9 GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................. 11 BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13 BRUKSANVISNING .......................................................................................................... 15 BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19 PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21 INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23 TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25 TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26 INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28 WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................29 TYPICAL CONNECTIONS...........................................................................................................34 High Vacuum Flange Connection ......................................................................................34 High Vacuum Flange Connection Configurations ..............................................................34 Fore-vacuum Pump Connection ........................................................................................35 Electrical Connection .........................................................................................................35 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................35 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS...........................................................36 ACCESSORIES ...........................................................................................................................36 ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. Le pompe della serie Turbo-V 250SF sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (56000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V 250SF sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: ! INSTALLAZIONE PERICOLO! Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar − temperatura: da + 5 °C a +35 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 250SF devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian (serie 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 e 969-9866) e devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse, oppure utilizzando l’apposito kit opzionale per il fissaggio alla base. I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. ! ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura. NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. IMMAGAZZINAMENTO Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: − temperatura: da -20 °C a +70 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante) Se il tempo di immagazzinamento è superiore a 9 mesi, avviare la pompa nel modo SOFT START (vedi manuale dell’unità di controllo). PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE ! ATTENZIONE! Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema. La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. ! ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. 1 87-900-881-01(B) ISTRUZIONI PER L'USO Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento. ! PERICOLO! Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. NO! ! ATTENZIONE! Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar. ! ! ATTENZIONE! PERICOLO! Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione (opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base. ! ATTENZIONE! Per il pompaggio di gas aggressivi utilizzare solo le versioni speciali della pompa Turbo-V250SF. Tali pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte compreso tra 0,4 e 1 mbar l/s. La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli. La seguente tabella descrive, per ogni dimensione flangia e tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. FLANGIA ISO 100 TIPO DI MORSETTO Morsetto doppio con filettatura M10 Morsetto singolo con filettatura M8 N. COPPIA DI SERRAGGIO 4 22 Nm 8 11 Nm MANUTENZIONE Le pompe della serie Turbo-V250SF non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. ! PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola ed attendere fino al completo arresto del rotore. La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario utilizzare tre viti M4 fissate agli appositi fori presenti sulla base della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di snervamento di 500 N/mm2 e devono essere fissate con una coppia di 0,9 Nm. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta. NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione. USO Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C. Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. 2 87-900-881-01(B) GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINES Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Bei den Pumpen der Serie Turbo-V 250SF handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich für jede Art von Gas oder gashaltige Gemische, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine (max. 56000 Upm) erzielt, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-V 250SF-Pumpen enthalten keinerlei unweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. ANMERKUNG Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubverschmutzungen zu vermeiden. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: ! INSTALLATION Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: − Maximaldruck: 2 Bar − Temperatur: von +5°C bis +35°C − Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend). GEFAHR! Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können. ! ACHTUNG! Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können. Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden. ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. LAGERUNG Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen folgende klimatische Verhältnisse vorliegen: − Temperatur: von -20°C bis +70°C − Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% Beträgt die Lagerzeit mehr als 9 Monate, muß die Pumpe bei Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden (siehe Handbuch der Steuereinheit). ! ACHTUNG! Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim Anschluß der Turbopumpe an die Anlage. VOR DER INSTALLATION Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden. Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz. ! ACHTUNG! Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten Schutz tragen. 3 87-900-881-01(B) GEBRAUCHSANLEITUNG Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten. ! GEFAHR! Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht Verbrennungsgefahr. NEIN! ! ACHTUNG! Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar sein. ! ! ACHTUNG! GEFAHR! Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein. Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. ! ACHTUNG! Zum Pumpen von aggressiven Gasen dürfen nur Sonderausführungen der Pumpe Turbo-V 250SF benutzt werden. Diese Pumpen haben einen Anschluß, durch die ein Edelgasstrom von 0,4 bis 1 mbar ltr/sec fließen muß. Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V 250SF dürfen ausschließlich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen betrieben werden (Baureihen 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 oder 969-9866) und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema “Technical Information”). Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden. Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen Gegenflansch anschließen, der um die eigene Achse einem Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse aushält, oder den als Option erhältlichen Bausatz für die Befestigung am Sockelteil benutzen Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben. WARTUNG Die Pumpen der Baureihe Turbo-V 250SF sind wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften vorgenommen werden. ! GEFAHR! Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften, warten bis der Rotor vollkommen stillsteht. Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced exchange service" in Anspruch genommen werden. FLANSCH SCHELLENART ANZAHL ANZUGSMOMENT ISO 100 Doppelklemme mit 4 22 Nm NM10-Gewinde Einzelklemme mit 8 11 Nm NM8-Gewinde ANMERKUNG Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden. Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang “Technical Information”. Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen, müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M4-Schrauben eingesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze von 500N/mm2 haben und mit einem Anzugsmoment 0,9 Nm angezogen werden. Installation Sonderzubehör: siehe Anhang “Technical Information”. Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen. ANWENDUNG Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten. Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen werden. Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden. 4 87-900-881-01(B) MODE D’EMPLOI GENERALITES Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Les pompes de la série Turbo-V 250SF sont des pompes turbomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultrapoussé, capables de pomper n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de particules solides. L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (56000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V 250SF sont totalement dépourvues d’agents polluants et sont par conséquent indiquées pour les applications exigeant un vide “propre”. Les paragraphes suivants donnent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant l’utilisation de l’appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l’appendice “Technical Information”. NOTE La pompe ne peut être endommagée en restant simplement exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute pollution due à la poussière. INSTALLATION Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: ! Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: DANGER! Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. ! ATTENTION! − − − Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage. pression maxi: 2 bar température: de +5°C° à +35°C humidité relative: 0 - 95% (non condensante) En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information". NOTE Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du texte. ! ATTENTION! EMMAGASINAGE N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la connexion de la turbopompe au système. Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra veiller à respecter les conditions environnementales suivantes: − température: de - 20°C - à + 70°C − humidité relative 0 - 95 % (non condensante) Si le temps d'emmagasinage est supérieur à 9 mois, amorcer la pompe en mode SOFT START (voir la notice de l’unité de commande). PREPARATION POUR L'INSTALLATION La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration. Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement. ! ATTENTION! En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. 5 87-900-881-01(B) MODE D’EMPLOI Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage. ! DANGER! Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut causer des lésions aux personnes. NON! ! ATTENTION! Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar. ! ! ATTENTION! DANGER! Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou bien des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est conseillé d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on utilise un amortisseur de vibrations ou bien un soufflet métallique flexible sur l'entrée, fixer toujours la turbopompe à la base. Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer. ! ATTENTION! Pour le pompage de gaz nocif, utiliser exclusivement les versions spéciales de la pompe Turbo-V250SF. Ces pompes sont dotées d'un port ad hoc, à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte compris entre 0,4 et 1 mbar l/s. Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 250SF ne doivent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs spéciaux Varian (série 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ou 9699866) et doivent être connectées à une pompe primaire (Cf. schéma dans “Technical Information”). La turbopompe devra être installée en position verticale ou en position retournée avec une inclinaison maximum de 10° par rapport à l’axe vertical. La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position. Fixer la turbopompe dans une position stable en reliant la bride d’entrée à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de 1000 Nm autour de son axe, ou bien en utilisant le kit en option prévu pour un fixation à la base de la pompe. La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à l’aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant indique le nombre de colliers nécessaires et le couple de serrage prescrit. BRIDE ISO 100 TYPE DE COLLIER Collier double à filetage M10 Collier simple à filetage M8 NBRE 4 COUPLE DE SERRAGE 22 Nm 8 11 Nm ENTRETIEN Les pompes de la série Turbo-V250SF ne requièrent aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par du personnel agréé. ! DANGER! Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor. En cas de panne, il est possible de s'adresser au service réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la pompe détraquée. NOTE Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. La turbopompe à bride d’entrée ConFiat doit être fixée à la chambre à vide à l’aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l’appendice “Technical Information”. Pour fixer la pompe au moyen de sa base, il est nécessaire d'utiliser trois vis M4 fixées aux trous prévus à cet effet se trouvant aur la base de la pompe. Les vis utilisées doivent avoir une limite d'élasticité de 500 N/mm2 et être fixées à un couple de 0,9 Nm. Pour l’installation des accessoires en option, consulter “Technical Information”. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales en la matière. UTILISATION Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage. 6 87-900-881-01(B) INSTRUCCIONES DE USO INFORMACION GENERAL Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las normas nacionales específicas. Las bombas de la serie Turbo-V 250SF son bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto que pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa de alta velocidad (56000 r.p.m./min. máx) movida por un motor trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V 250SF no llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo tanto son aptas para aplicaciones que requieren un vacío “limpio”. Los apartados siguientes contienen toda la información necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador al utilizar el aparato. Información más detallada se puede encontrar en el anexo “Technical Information”. Este manual siguientes: utiliza ! los símbolos NOTA La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar una posible contaminación debida al polvo. convencionales INSTALACION No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las condiciones ambientales siguientes: − presión máxima: 2 bar − temperatura: de +5°C a + 35°C − humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) ¡PELIGRO! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. ! ¡ATENCION! Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo. NOTA ! ¡ATENCION! Las notas contienen información importante extraída del texto. Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento en que se conecte la turbobomba al sistema. ALMACENAMIENTO Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes: − temperatura: de -20°C a +70°C − humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) Si el periodo de almacenamiento es superior a 9 meses, poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el manual de la unidad de control). PREPARACION PARA LA INSTALACION La bomba se suministra en un embalaje de protección dimensional; si se observan señales de daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta más cercana. Durante la operación de desembalaje, prestar una atención especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes. No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la preservación del medio ambiente. ! ¡ATENCION! Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada. 7 87-900-881-01(B) INSTRUCCIONES DE USO Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento. ! ¡PELIGRO! No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. NO! ! ¡ATENCION! Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta apropiada deberá ser inferior a 2 bar. ! ! ¡ATENCION! ¡PELIGRO! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre la turbobomba a la base. ! ¡ATENCION! Para bombear gases agresivos utilizar sólo las versiones especiales de la bomba Turbo - V 250SF. Estas bombas van dotadas de una puerta a través de la cual es preciso suministrar a la bomba un caudal de gas inerte comprendido entre 0.4 y 1 mbar l/s. Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice “Technical Information” para más detalles. Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 250SF han de utilizarse exclusivamente con uno de los controladores Varian (serie 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ó 9699866) y se conectarán a una bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”). La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la turbobomba en posición estable uniendo la brida de entrada de la turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje, o utilizando el kit opcional apropiado para la fijación a la base. La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas individuales. La tabla siguiente describe el número de mordazas necesarias y el par de apriete al que han de apretarse. BRIDA TIPO DE MORDAZA N. ISO 100 Mordaza doble con rosca M10 Mordaza individual con rosca M8 4 PAR DE APRIETE 22 Nm 8 11 Nm MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo-V250SF no necesitan ningún tipo de mantenimiento. Cualquier operación tendrá que ser realizada por personal autorizado. ! ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba, desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare completamente. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada. NOTA Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o "advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de "Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje de la bomba antes de enviarla. La turbobomba con brida de entrada ConFiat se fijará a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos Varian. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres tornillos M4 fijados en los orificios correspondientes que se encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han de tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm2 y han de fijarse a un par de 0,9 Nm. Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”. En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su eliminación respetando las normas nacionales específicas. UTILIZACION Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla. Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no deberá superar 120°C. 8 87-900-881-01(B) INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela eventual inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. As bombas da série Turbo-V 250SF são bombas turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (56.000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas Turbo-V 250SF são totalmente sem agentes contaminadores e, portanto, são adequadas para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do técnico durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". OBS A bomba não pode ser danificada permanecendo simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para evitar que se suje com poeiras. Este manual utiliza as seguintes convenções: ! INSTALAÇÃO Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: − pressão máxima: 2 bar − temperatura: de + 5ºC a + 35ºC − humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). PERIGO! As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões pessoais. ! ATENÇÃO! As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não observados, poderiam causar danos à aparelhagem. Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical Information" para maiores detalhes. OBS As obs. contêm informações importantes destacadas do texto. ! ATENÇÃO! ARMAZENAGEM Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no momento da ligação da turbobomba ao sistema. Durante o transporte e a armazenagem das bombas não devem ser superadas as seguintes condições ambientais: − temperatura: de -20ºC a +70ºC − humidade relativa: 0 - 95% (não condensante) Se o tempo de armazenagem for superior a 9 meses, accionar accionar a bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo). PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. ! ATENÇÃO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. 9 87-900-881-01(B) INSTRUÇÕES PARA O USO Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações de aquecimento. ! PERIGO! Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. NÃO! ! ATENÇÃO! Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar. ! ! ATENÇÃO! PERIGO! Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção (opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar sempre a turbobomba à base. Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. ! ATENÇÃO! Para bombear gases agressivos utilizar só as versões especiais da bomba Turbo - V 250SF. Estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte entre 0.4 e 1 mbar l/s. Existindo campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical Information" para maiores detalhes. As bombas turbomoleculares da série Turbo-V 250SF devem ser utilizadas somente com um dos controladores Varian específicos (série 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ou 969-9866) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver esquema em "Technical Information"). A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo, ou utilizando o kit específico opcional para a fixação à base. A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A tabela a seguir descreve o número de bornes necessários e com qual torque devem ser apertados. FLANGE ISO 100 TIPO DE BORNE Borne duplo com rosca M10 Borne simples com rosca M8 N° 4 TORQUE 22 Nm 8 11 Nm MANUTENÇÃO As bombas da série Turbo-V250SF não requerem qualquer manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por pessoal autorizado. ! PERIGO! Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor. Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito. OBS. Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou advanced exchange service, é indispensável preencher e enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da expedição. A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice "Technical Information". Para fixar a bomba através da sua base, é necessário utilizar três parafusos M4 fixados aos furos específicos existentes na base da bomba. Os parafusos utilizados devem possuir um limite de carga de 500 N/mm2 e devem ser fixados com um binário de 0,9 Nm. Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical Information". Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. UTILIZAÇÃO Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler atentamente este manual antes da utilização. Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações de aquecimento. 10 87-900-881-01(B) GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De pompen van de serie Turbo-V 250SF zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 56.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-V 250SF pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een “schoon vacuüm” verlangen. In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information". OPMERKING De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen: ! INSTALLATIE GEVAAR! De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: − max. druk: 2 bar − temperatuur: van +5°C tot +35°C − relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. ! ATTENTIE! Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: − temperatuur: van -20°C tot +70°C − relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend) Als de opslagperiode meer dan 9 maanden bedraagt, de pomp met de SOFT START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid). ! ATTENTIE! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. UITPAKKEN De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of stoten te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399. ! ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of een andere geschikte bescherming. 11 87-900-881-01(B) GEBRUIKSAANWIJZINGEN Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe. ! GEVAAR! Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. NEE! ! ATTENTIE! Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmsoferische druk) bedragen. ! ! ATTENTIE! GEVAAR! Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen. Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. ! ATTENTIE! Gebruik voor het pompen van agressieve gassen alleen de speciale uitvoeringen van de Turbo-V250SF pomp. Deze pompen zijn voorzien van een speciale poort, waardoor een stroom inert gas moet worden geleverd die varieert tussen 0.4 en 1 mbar lt/s. De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 250SF mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale Varian controllers (serie 969-9423, 969-9504, 9699523, 969-9425, of 969-9866) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in “Technical Information”). De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen, of gebruik het speciale optie-pakket voor bevestiging aan de basis. De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden. FLENS ISO 100 KLEMTYPE Dubbele klem met M10 schroefdraad Enkelvoudige klem met M8 schroefdraad NR. 4 AANHAALKOPPEL 22 Nm 8 11 Nm ONDERHOUD De pompen van de serie Turbo-V250SF zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. ! GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer informatie de bijlage “Technical Information”. Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie M4 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van 500 N/mm2 bezitten en met een koppel van 0,9 Nm worden aangehaald. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. GEBRUIK Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door. Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis verwarmd worden met behulp van een optionele verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen. 12 87-900-881-01(B) BRUGSANVISNING ALMENE OPLYSNINGER Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige normer. Turbo-V 250SF serien omfatter turbomolekulære pumper til højvakuum og til ultra-højvakuum, der er i stand til at pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til at pumpe væsker eller faste partikler. Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved høj hastighed (max. 56000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv trefaset elektrisk motor. Turbo-V 250SF pumperne er fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum. I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information". BEMÆRK Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i anlægget. I denne håndbog findes følgende regler: ! ADVARSEL! MONTERING Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt. Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller stor brandfare. Følgende betingelser skal overholdes under driften: − maksimaltryk: 2 bar − temperatur: fra +5°C til +35°C − relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende). ! PAS PÅ Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret. Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag “Technical Information” for yderligere detaljer. BEMÆRK Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger. OPLAGRING Under transport og oplagring af pumpene skal følgende omgivelsesbetingelser være overholdt: − temperatur: fra -20°C til +70°C − relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) Hvis pumperne oplagres i mere end 9 måneder, skal de sættes i gang på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til kontrolenheden). ! PAS PÅ Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik, turbopumpen tilsluttes anlægget. FORBEREDELSE TIL MONTERING Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse, der kan være sket under transporten. Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til den under udpakningen. Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv 85/399 vedrørende miljøbeskyttelse. ! PAS PÅ For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid handsker eller anden passende beskyttelse. 13 87-900-881-01(B) BRUGSANVISNING Brug altid vandafkøling under opvarmningen. ! ADVARSEL! Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage kvæstelser på personer. NEJ! ! PAS PÅ Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar. ! ! PAS PÅ ADVARSEL! Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens indgangsåbning. Det anbefales at anvende et beskyttelsesnet (på efterspørgsel). Hvis der anvendes en vibrationsdæmper eller en bøjelig metaldæmper på pumpeåbningen, skal turbopumpen altid fastgøres til underlagspladen. ! PAS PÅ Brug kun specialpumperne af Turbo - V 250SF typen til pumpning af ætsende luftarter. Disse pumper er forsynede med en særlig åbning, gennem hvilken den passive luftarts strømning skal ligge mellem 0.4 og 1 mbar l/s. Turbomolekulærpumperne i V 250SF serien må kun anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 eller 969-9866) og skal forbindes med en primær pumpe (se skemaet i "Technical Information"). Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et drejningsmoment på 1000 Nm omkring aksen. Pumpen kan også fastspændes ved hjælp af det særlige udstyr, der fås på efterspørgsel. Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer. Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte flangedimensioner og typer af klemmer. FLANGE ISO 100 KLEMMETYPE Dobbelt klemme, gevind M10 Enkelt klemme, gevind M8 ANTAL 4 TILSPÆNDINGSMOMENT 22 Nm 8 11 Nm VEDLIGEHOLDELSE Pumperne af TURBO-V 250SF typen behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af autoriseret personale. ! ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen, skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er standset helt. Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. BEMÆRK Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen "Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen. Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele fra Varian. For detaljer henvises til “Teknisk information”. For at fastspænde pumpen til fundamentet er det nødvendigt at anvende tre M4-skruer, som indsættes i hullerne på pumpens fundament. Skruerne skal klare en belastning på 500 N/mm2 skruernes korrekte tilspændingsmoment er 0,9 Nm. Se "Technical Information" for montering af optionals. Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. ANVENDELSE Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er beskrevet i håndbogen til kontrolenheden. Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen. For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen på indgangsflangen ikke overstige 120°C. 14 87-900-881-01(B) i BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Pumparna i Turbo-V 250SF -serien är turbomolekylära pumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 56000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga tillsatsämnen används i Turbo-V 250SF-seriens pumpar, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information". OBSERVERA I bruksanvisningen används följande standardrubriker: ! Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen. Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. INSTALLATION Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: − maximitryck: 2 bar) − temperatur: från +5°C till +35°C − relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) ! VIKTIGT Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå. I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. OBSERVERA Detta visar på viktig information i texten. FÖRVARING Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport och förvaring av pumpen: − temperatur: från -20°C till +70°C − relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) Efter förvarning under mer än nio månader skall pumpen startas med MJUKSTART - metoden (se bruksanvisningen för kontrolldelen ! VIKTIGT Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har anslutits till systemet. FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd. ! VIKTIGT Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. 15 87-900-881-01(B) BRUKSANVISNING Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas. ! VARNING! Vidrör inte turbopumpen eller några uppvärmningen för att undvika brännskador. NEJ tillbehör under ! VIKTIGT Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar. ! VIKTIGT ! Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. VARNING! Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval) rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen förankras i fundamentet. ! VIKTIGT Vid pumpning av aggressiva gaser skall den specialkonstruerade versionen av Turbo - V 250SF pumpen användas. Denna pumptyp är försedd med ett specialuttag dit ett ädelgasflöde mellan 0.4 och 1 mbar l/s skall anslutas. Turbomolekylärpumparna i serien V 250SF måste användas med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9423, 9699504, 969-9523, 969-9425, eller 969-9866), och anslutas till en förpump (se schema i " Technical information"). Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 1000 Nm runt den genomgående axeln, eller använd den särskilda monteringssatsen som finns som tillval. Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och med vilket åtdragningsmoment de ska spännas. FLÄNS ISO 100 TYP AV KLAMMER Dubbel klammer med gänga M10 Enkel klammer med gänga M8 ANTAL 4 8 UNDERHÅLL Pumparna i Turbo-V 250SF-serien är underhållsfria. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. ! VARNING! Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad pump. ÅTDRAGNINGSMOMENT 22 Nm OBSERVERA Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. 11 Nm Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga “Technical Information”. För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att använda 3 M4 skruvar, som installeras i hålen på pumpens fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på 500 N/mm2 korrekt åtdragningsmoment är 0,9 Nm. Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical Information". Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning ANVÄNDNING Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i styrenhetens bruksanvisning. Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen. För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet aldrig bli högre än 120 °C. 16 87-900-881-01(B) BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. Turbo-V 250SF serien med pumper er turbo-molekulære pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 56000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V 250SF pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ! MERK Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. INSTALLASJON ! FORSIKTIG Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: − maksimalt trykk: 2 bar − temperatur: fra +5°C til +35°C − relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. LAGRING ! FORSIKTIG Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende miljømessige krav oppfylles: − temperatur: fra -20°C til +70°C − relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Skal utstyret lagres lengre enn ni måneder, må pumpen MYKSTARTES (se kontrollenhetens manual). Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før turbopumpen skal festes til systemet KLARGJØRE TIL INSTALLASJON Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. ! FORSIKTIG For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. 17 87-900-881-01(B) BRUKERVEILEDNING Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen ! ADVARSEL! Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. NEI ! FORSIKTIG Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar. ! ! FORSIKTIG ADVARSEL! Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades. For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen er godt festet til underlaget. ! FORSIKTIG Ved pumping av aggressive gasser må det brukes spesialversjoner av Turbo - V 250SF pumpen. Disse pumpene har en spesiell port som kan brukes til flyt av inaktive gass med trykk mellom 0.4 og 1 mbar l/s. Turbo-V 250SF serien turbo-molekulære pumper må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 eller 969-9866), og må koples til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon"). Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm rundt aksen, eller ved å bruke bunnfestesettet. Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene. FLENS ISO 100 TYPE KLEMME Dobbel klemme gjenge M10 Enkel klemme gjenge M8 ANTALL 4 STRAMMEMOMENT 22 Nm 8 11 Nm av VEDLIKEHOLD Turbo-V 250SF serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på pumpen må kun utføres av autorisert personell. ! ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset. Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte pumpen. MERK Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen som sendes tilbake. Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”. For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke tre M4-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens fundament. Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm2 skruenes riktige strammemoment er 0,9 Nm. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk informasjon". Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i kontrollenhetens manual. Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk. For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120°C. 18 87-900-881-01(B) KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. Turbo-V 250SF sarjan pumput ovat korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöön tarkoitettuja kaikentyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumien pumppaavia turbomolekyylipumppuja. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaukseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (56000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkomoottori käynnistää. Turbo-V 250SF sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical Information". HUOMAUTUKSET Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen pölyltä. Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: ! ASENNUS VAARA! Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: − maksimipaine: 2 bar − lämpötila: + 5°C - +35°C − suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä). Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. ! HUOMIO Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical Information”-liitteestä. HUOMAUTUKSET Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot. ! HUOMIO VARASTOINTI Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä: − lämpötila: - 20°C - +70°C − suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä) Jos varastointiaika on yli 9 kuukautta, tulee pumppu käynnistää SOFT START-tavalla (katso kontrolliyksikön käyttökirja). Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun turbopumppu liitetään järjestelmään. VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä ympäristön suojelusta. ! HUOMIO Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen. 19 87-900-881-01(B) KÄYTTÖOHJEET Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen. ! VAARA! Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan henkilöiden loukkaantumisia. EI! ! HUOMIO Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia. ! ! HUOMIO VAARA! Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa (lisävaruste). Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää aina jalustaan. ! HUOMIO Aggressiivisten kaasujen pumppauksessa käyttäkää ainoastaan Turbo-V250SF pumpun erikoisversiota. Näissä pumpuissa on aukko, jonka läpi on kuljettava 0.4 ja 1 mbar l/s:n välillä oleva jalokaasuvirta. Sarjan V 250SF turbomolekyylipumppuja tulee käyttää ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 9699423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 tai 969-9866) ja niiden täytyy olla yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information"). Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kannattaa 1000 Nm paria akselinsa ympärillä, tai käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen kiinnittämiseen. Turbopumpu ISO sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän ja kiristysmomentti. LAIPPA ISO 100 KIINNIKE Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 Yksinkertainen kiinnike, kierteitys M8 MÄÄRA 4 KIRISTYSMOENTTI 22 Nm 8 11 Nm HUOLTO Sarjan Turbo-V 250SF pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa. Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu henkilö. ! VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen tilalle. HUOMAUTUS Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä. Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”-liittestä. Pumppu tulee kiinnittää jalustan avulla käyttäen kolmea M4 ruuvia jotka on kiinnitetty sopiviin pumpun jalustassa oleviin rakoihin. Ruuveilla tulee olla venytysrasitus joka vastaa 500 N/mm2, ja tulee kiinnittää 0,9 Nm momentilla. Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical Information" osassa. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, lainsäädännön määräämällä tavalla. toimikaa kansallisen KÄYTTÖ Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet löytyvät valvojan käsikirjasta. Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa. Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta saatavaa kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen kuumentamisen aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa olla yli 120 °C. 20 87-900-881-01(B) ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj egceirid∂ou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V 250SF e∂nai (strobilomoriak◊j) antl∂ej (ÿ moriak◊j tourmp∂nej) gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio. E∂nai akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn. H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 56000 s.a.l.), h opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r uyhlÿj apÒdoshj.. Oi antl∂ej Turbo-V 250SF den peri◊coun rupantikoÚj par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou apaitoÚn ◊na "kaqarÒ" kenÒ. Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma " Tecnik◊j Plhrofor∂ej ". SHMEIWSH H antl∂a den katastr◊fetai e£n aplèj ekteqe∂ ston atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn kratÿsete kleistÿ m◊cri th stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ th skÒnh. Auto to egceir∂dio egceir∂dio crhsimopoie∂ tij ti akÒlouqej akÒlouqe sumb£seij: sumb£sei ! KINDUNOS! KINDUNOS EGKATASTASH Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se mia diadikas∂a ÿ se mia eidikÿ ergas∂a h opo∂a e£n den ekteleste∂ swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej. H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai-ÿ na crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ, p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j. Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj: − max. p∂esh: 2 bar − qermokras∂a: apÒ +5°C m◊cri +35°C − scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth). PROSOCH ! PROSOCH! Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi opo∂ej e£n den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ. Se magnhtik£ ped∂a Òpou h ◊ntash uperba∂nei ta 10 mT e∂nai anagka∂a h k£luyh thj antl∂aj me ◊na sidhromagnhtikÒ k£lumma. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". SHMEIWSH Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun apospaste∂ apÒ to ke∂meno. APOQHKEUSH Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqÿkeushj twn antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j sunqÿkej: − qermokras∂a apo: -20°C m◊cri +70°C − scetikÿ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth) E£n o crÒnoj apoqÿkeushj xepern£ei touj 9 mÿnej, h antla qa prpei na teqe se knhsh me trÒpo SOFT START (bl. to egceirdio thj mon£daj elgcou). ! PROSOCH! PROSOCH Xekoll£te to autokÒllhto kai bg£zete to prostateutikÒ kap£ki mÒnon th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma. PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH EGKATASTASH H antl∂a enai exoplism◊nh me m∂a eurÚcwrh prostateutikÿ suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te to topikÒ tmÿma pwlÿsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèèste idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h antl∂a. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ anakuklènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.E. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj. ! PROSOCH PROSOCH! Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a. 21 87-900-881-01(B) ODHGIES CRHSHS Kat£ th q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh. ! KINDUNOS! KINDUNOS Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£ thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. ! PROSOCH! PROSOCH OCI Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar. ! PROSOCH! PROSOCH ! Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta. KINDUNOS! KINDUNOS ! PROSOCH PROSOCH! Gia na apofÚgcqoÚn traumatismo∂ se £toma mh b£zete pot◊, gia kan◊na lÒgo, ta d£ctula ÿ £lla antike∂mena sto stÒmio eisÒdou thj tourmpoantl∂aj. SumbouleÚetai h crÿsh tou dictuoÚ prostas∂aj (proeraitikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj aposbestÿraj donÿsewn ÿ ◊na elastikÒ metallikÒ mikrÒ fuserÒ sto stÒmio eisÒdou, stereènete p£nta thn tourmpoantl∂a sth b£sh. Gia thn £ntlhsh polemikèn aerwn crhsimopoiÿste mÒno tij ekdÒseij thj antlaj Turbo - V250SF Autj oi antlej enai efodiasmnej me mia eidikÿ qurda msw thj opoaj enai anagkaa h diocteush adranoÚj aerou pou na kumanetai metaxÚ 0.4 kai 1mbarl./d. Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V250SF pr◊pei na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj el◊gcouj Varian (seir£ 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 h 969-9866) kai pr◊pei na e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij "Tecnik◊j Plhrofor∂ej"). H tourmpoantla mpore na topoqethqe se opoiadÿpote qsh. Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na sugkratÿsei ◊na zeug£ri 1000 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj, ÿ crhsimopoiÒntaj to kat£llhlo scetikÒ kit gia na staqeropoiÿsete th b£sh.. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn m◊ggenwn. H akÒlouqh tamp◊la perigr£fei to apara∂thto noÚmero m◊ggenwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj na ta sf∂xete. FLANTZA TUPOS MEGGENHS ISO 100 Diplÿ el∂kwsh Monÿ el∂kwsh m◊ggenh M10 m◊ggenh M8 N. me 4 ZEUGOS BIDWMATOS 22 Nm me 8 11 Nm SUNTHRHSH Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo - V250SF de crei£zontai kamm∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ. ! KINDUNOS! KINDUNOS Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a, aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da kai perim◊nete m◊cri na stamatÿsei tele∂wj to mot◊r. Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh. SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ gia advanced exchange service, enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo Sigouri£ kai uge∂a- sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe thn epifull∂da "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Gia na sterewvsete thn antliva mevsw thÇ bavshÇ thÇ eivnai aparaivthto na crhsimopoihvsete treiÇ bivdeÇ M4 sterewvnete stiÇ eidikevÇ opevÇ pou upavrcoun sth bavsh thÇ antlivaÇ. Oi crhsimopoiouvmeneÇ bivdeÇ prevpei na evcoun antochv 500 N/mm2, kai prevpei na sterewqouvn me evna zeugavri 0,9 Nm. Gia thn egkat£stash twn proeraitikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj. CRHSH Olej oi odhg∂ej gia th swstÿ leitourg∂a thj tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio el◊gcou. Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh. Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton ◊xtra qermantÿ. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ h qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C. 22 87-900-881-01(B) INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The Turbo-V250SF series pumps are turbo-molecular pumps for high and ultra-high vacuum applications and can pump any type of gas or gas compound. They are not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 56000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The TurboV250SF pumps are free of contaminating agents and, therefore, are suitable for applications requiring a "clean" vacuum. The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". ! This manual uses the following standard protocol: ! NOTE WARNING! Normal exposure to the environment cannot damage the pump. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. ! CAUTION In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. INSTALLATION CAUTION Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: − maximum pressure: 2 bar − temperature: from +5 °C to +35 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The Turbo-V250SF series pumps must only be used with one of the special Varian controllers (series 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 or 969-9866) and must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The turbopump can be installed in any position. Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 1000 Nm around its axis, or use the optional base fixing kit The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. NOTE The notes contain important information taken from the text. STORAGE When transporting and storing the pumps, the following environmental requirements should not be exceeded: − temperature: from -20° to +70 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) If the storage time is longer than 9 months, start the pump using the SOFT START mode (see control unit manual). PREPARATION FOR INSTALLATION The pump is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399. ! CAUTION! Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system. 23 87-900-881-01(B) INSTRUCTIONS FOR USE Always use the water cooling system during the heating operations. ! WARNING! Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. NO! ! CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar. ! ! WARNING! To avoid injury, never put fingers or any objects whatsoever in the inlet port of the turbopump. The use of the protective screen is strongly advised (optional extra). If a vibration damper or flexible metallic bellows are used on the inlet port, make sure that the pump is fixed to the base. ! ISO 100 FIXING DEVICE M10 clamps M8 claws N. FIXING TORQUE 4 8 22 Nm 11 Nm CAUTION For pumping aggressive gases, use the specially designed versions of the Turbo-V250SF pump. These pumps are fitted with a special port through which a flow of inert gas must be passed between 0,4 and 1 mbar l/s. The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws. The following table shows, for each flange and fixing device, the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque. FLANGE CAUTION Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged. MAINTENANCE The Turbo-V250SF series pump does not require any maintenance. Any work performed on the pump must be carried out by authorized personnel. ! WARNING! Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it from the supply, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning. The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Varian hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. To fix the pump by means of its base, it is necessary to use three M4 screws fixed to the foreseen holes of the pump base. The used screws must have a minimum strength point of 500 N/mm2 and must be fixed with a torque of 0,9 Nm. For installation of optional accessories, see "Technical Information". In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned pump to replace that broken down. NOTE Before returning the pump to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the pump package before shipping. USE All the instructions for the correct use of the turbopump are contained in the control unit manual. Read the manual carefully before using the pump. In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump casing may be heated using the optional heater. While heating the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed 120 °C. If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. 24 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The Turbo-V250SF pump is available in two versions. The difference between the two versions lies purely in the high vacuum connection. The two versions are: During normal operation, the motor functions with a power feed at 58 Vac three-phase at 933 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. − Model 969-9009 with ISO 100 high vacuum flange The external body of the pump is fitted with fins which allow the pump itself to function with natural convection air cooling. Kits are available for water cooling or forced air cooling to cool the pump in the cases where it is used under heavy load or when natural convection is insufficient for cooling purposes. − Model 969-9010 with ConFlat 6” external diameter high vacuum flange A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating. The thermistor sensor, the motor stator windings and the earth are connected to a Turbo-V controller through a 6 pin socket on the side of the pump. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm. Model 969-9009 The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange or on its base. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange. Model 969-9010 The Turbo-V250SF pump is equipped with an upper inlet port and a side port and is foreseen for applications where a double port is necessary (multi-chamber systems). The Turbo-V250SF pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 5 bladed stages and 3 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of aluminium. The turbine blades have two different angles, 16° and 20°, while the Macrotorr stages are in form of discs. The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump. The static blades of the stator are fabricated in stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings. The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs. These are made of aluminium alloy. 25 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION Dimensions: inches [mm] Pumping speed (l/s) Main port: N2: 250 l/s He: 220 l/s H2: 200 l/s Side port: N2: 10 l/s He: 10 l/s H2: 8 l/s Compression ratio N2: 1 x 107 He: 7 x 103 H2: 2 x 103 Maximum differential pressure ratio N2: 1 x 105 Base pressure* with recommended mechanical pump: 2 x 10-10 mbar (1.5 x 10-10 Torr) with recommended diaphragm pump: 2 x 10-9 mbar (1.5 x 10-10 Torr) Operating ambient temperature + 5° C to + 35° C Coolant water flow: 30 l/h (0.13 GPM) temperature: + 10° C to + 30° C pressure: 3 to 4 bar electrical conductivity: ≤ 500 µS/cm Bakeout temperature 120° C at inlet flange maximum (CF flange) 80° C at inlet flange maximum (ISO flange) Vibration level (displacement) < 0.01 µm at inlet flange Inlet flange Main port: CFF 6" O.D., ISO 100 Side port: NW40 KF Noise level 45 dB (A) at 1 meter Input 58 Vac, three phase, 933 Hz Foreline flange NW16 KF Lubricant permanent lubrication Rotational speed 56000 RPM < 3 minutes Storage temperature - 20° C to + 70° C Start-up time Recommended forepump Two stage rotary pump SD-40 Diaphragm pump: MDP 30 Weight kg (lbs) 5.5 (12) Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional * According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bakeout, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump. 26 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 27 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION INLET SCREEN INSTALLATION Overall dimensions with the protection screen fitted on pump series 969-9009 (with ISO 100 flange). The inlet screens mod. 969-9302 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Overall dimensions with the inlet screen fitted on pump series 969-9010 (with ConFlat 6” flange). The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy removal (see figure). 28 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION The metallic model is assembled as shown in the figure. WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969-9347 (plastic model). Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. Model 969-9337 NOTE These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid that the tube(s) gets loose or disconnected during operation. The plastic model must be screwed into the suitable holes of the pump. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system. Model 969-9347 ! The water temperature must be between +10°C and +30°C, with an inlet pressure between 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. CAUTION The overall dimensions of the pump when equipped with the water cooling kit mounted are shown in the figure below. The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following figure The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. 29 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION BASE FIXING KIT INSTALLATION For the feet to the pump by tightening the previously inserted grub screws with the Allen key. The kit mod. 969-9326 enables the pump to be fixed at the base. Open the package containing the feet and respective screws. Insert the three grub screws in the three feed from the rear, as shown in the diagram, and screw them in ensuring that they do not protrude from the other end. Use the Allen key supplied for this purpose. Turn the pump the right way up. Fix the pump to a base by using the three screws provided (M4 thread) in the holes in the three feet. Turn the pump upside down ! CAUTION Before overturning the pump, remove the protection screen, if fitted. Insert the three feed as shown in the figure, bearing in mind that the position must be as indicated in the figure. 30 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION AIR COOLING KIT INSTALLATION SIDE MOUNTING Two fan kits are available for air cooling the pump, when natural air convenction is insufficient. Specification for small fan (mod. 969-9310): − air flow: 9 l/s (10 CFM) − input voltage: 24 Vdc − maximum power:2.16 W − dimensions: 60x60 mm (2.36x2.36 inches) The low power fan can also be mounted under the pump as shown in the following figure. Specification for large fan (mod. 969-9313): − air flow: 25 l/s (51 CFM) − input voltage: 120 Vac, 50-60 Hz − maximum power:17 W − dimensions: 119x119 mm (4.69x4.69 inches) BOTTOM MOUNTING Open the package containing the feet and respective screws and install them as indicated in the installation of the base fixing kit. Position the fan on the pump, ensuring that the holes in the plate line up with those in the feet. Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver. Connect the fan to the controller. 31 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION VENT VALVE INSTALLATION Screw the vent valve into the pump. The vent valve mod. 969-9833 enables undesired venting of the pump during a temporary power failure (5 sec maximum) to be avoided, and enables an automatic vent operation. Tighten the valve using a 16 mm hexagonal spanner. Unscrew the threaded plug. ! CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. 32 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION VENT DEVICE INSTALLATION VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The two model part numbers are the following: − model 969-9342 for ISO 100 flange; − model 969-9332 for CFF 6” flange. They typically reduce the vibration transmitted from the Turbo-V250SF pump to the system by a factor of 20. Please refer to the relevant instruction manual. The vent device mod. 969-9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (adjustable time up to 36 min.), and enables an automatic vent operation. Unscrew and remove the threaded plug. Screw the flange mod. 969-9109 on the pump, taking care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. 33 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware. TYPICAL CONNECTIONS High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo-V250SF pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. ! CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock. Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. High Vacuum Flange Connection Configurations 34 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION A special kit is available to purge this pump. Please contact Varian for informations. Fore-vacuum Pump Connection A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V250SF to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. ! CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. Please contact Varian for specific applications. NOTE The Turbo-V250SF is characterized by its high compression ratio also for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. The purge gas throughput with the recommended 3 forepump of 15 m /h (11 CFM) allows to achieve a -8 high vacuum pressure in the 10 mbar range. The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure. The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points: Electrical Connection The turbopump is connected to the controller through an 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 25° C) and pin E is connected to the pump earth. 1. Close the corrosive gas flow into the system. 2. Leaving the Turbo-V pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system. 3. Open the Turbo-V vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system. 4. Turn off the Turbopump. 5. When the Turbo-V pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensor automatically cuts out the power supply. PUMP USED WITH CORROSIVE GASES To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump. 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge kit Forevacuum pump Turbopump Vent valve Purge layout 35 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. ACCESSORIES DESCRIPTION The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool. This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. In general, therefore, an increase in pump current can be expected. If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. PART NUMBER Inlet screen DN100 969-9302 Base fixing kit 969-9326 Water cooling kit 969-9337 Plastic water cooling kit 969-9347 Air cooling kit (small) 969-9310 Air cooling kit (large) 969-9313 Vibration damper ISO 100 969-9344 Vibration damper 6” CFF 969-9334 Centering ring ISO 100 (with O-ring) IC-100 SV ISO clamp IC-063-100-A Copper gaskets for 6” CFF (10-Pack) FG-0600-CI Nut and bolt set for 6” CFF (25-Pack) FB-0450-C12 Vent valve with fixed delay time 969-9833 Vent valve with adjustable delay time 969-9831 Vent flange NW 10 KF 969-9109 Forepump DS 102, with 1 ph., universal motor 949-9315 Forepump MDP 30, 120 V 949-9451 Forepump MDP 30, 220 V 949-9452 For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 36 87-900-881-01(B) Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices Argentina Varian Argentina Ltd. Germany and Austria Varian Deutschland GmbH UK and Ireland Varian Ltd. Sucursal Argentina Av. Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel: (54) 1 783 5306 Fax: (54) 1 786 5172 Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 28 Manor Road Walton-On-Thames Surrey KT 12 2QF England Tel: (44) 1932 89 8000 Fax: (44) 1932 22 8769 Australia Varian Australia Pty Ltd. India Varian India PVT LTD United States Varian Vacuum Technologies 679-701 Springvale Road Mulgrave, Victoria ZZ 3170 Australia Tel: (61) 395607133 Fax: (61) 395607950 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 5548444 Fax: (91) 11 5548445 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H, 3956 CP Leersum The Netherlands Tel: (31) 343 469910 Fax: (31) 343 469961 Brazil Varian Industria e Comercio Ltda. Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel: (55) 11 3845 0444 Fax: (55) 11 3845 9350 Canada Central coordination through: Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 China Varian Technologies - Beijing Room 1201, Jinyu Mansion No. 129A, Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 P.R. China Tel: (86) 10 6608 1530 Fax: (86) 10 6608 1534 France and Wallonie Varian s.a. 7 avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 13 Fax: (33) 1 69 28 23 08 11/01 Italy Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Other Countries Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Japan Varian Vacuum Technologies Internet Users: Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 Customer Service & Technical Support: Korea Varian Technologies Korea, Ltd. Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 Mexico Varian S.A. Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road Sec. 1, Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 [email protected] Worldwide Web Site: www.varianinc.com/vacuum Order On-line: www.evarian.com Representatives in most countries-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20
-
21
-
22
-
23
-
24
-
25
-
26
-
27
-
28
-
29
-
30
-
31
-
32
-
33
-
34
-
35
-
36
-
37
-
38
-
39
-
40
-
41
-
42
-
43
-
44
En otros idiomas
- français: Varian Turbo-V250SF Manuel utilisateur
- italiano: Varian Turbo-V250SF Manuale utente
- English: Varian Turbo-V250SF User manual
- Deutsch: Varian Turbo-V250SF Benutzerhandbuch
- Nederlands: Varian Turbo-V250SF Handleiding
- português: Varian Turbo-V250SF Manual do usuário
- dansk: Varian Turbo-V250SF Brugermanual
- svenska: Varian Turbo-V250SF Användarmanual
- suomi: Varian Turbo-V250SF Ohjekirja
Documentos relacionados
-
Varian Turbo-V 150HT Manual de usuario
-
-
-
Varian 969-9126 Instructions For Use Manual
-
-
-
-
-
-
Varian 969-8903 Manual de usuario