Varian Turbo-V 2000 HT Manual de usuario

Marca: Varian

Modelo: Turbo-V 2000 HT

Tipo: Manual de usuario

Turbo-V 2000HT

pumps

969-9084 series

969-9059 series

MANUALE DI ISTRUZIONI

BEDIENUNGSHANDBUCH

NOTICE DE MODE D’EMPLOI

MANUAL DE INSTRUCCIONES

MANUAL DE INSTRUÇÕES

BEDRIJFSHANDLEIDING

INSTRUKSTIONSBOG

BRUKSANVISNING

INSTRUKSJON MANUAL

OHJEKÄSIKIRJA

ODHGIES CRHSEWS

INSTRUCTION MANUAL

87-900-969-01

MAY 2003

Turbo-V 2000HT

ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3

MODE D’EMPLOI................................................................................................................5

INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................7

INSTRUÇÕES PARA O USO..............................................................................................9

GEBRUIKSAANWIJZINGEN.............................................................................................11

BRUGSANVISNING ..........................................................................................................13

BRUKSANVISNING ..........................................................................................................15

BRUKERVEILEDNING...................................................................................................... 17

KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19

PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21

INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23

TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................25

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25

TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26

INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28

WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................28

VENT DEVICE INSTALLATION...................................................................................................30

VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................30

GAS PURGE VALVE INSTALLATION.........................................................................................31

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................31

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................32

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .........................................................................32

Connection B - FORE-VACUUM PUMP ............................................................................33

Connection C - ELECTRICAL............................................................................................33

MOVING THE GAS PURGE VALVE AND FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS .................34

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS...............................................................34

ACCESSORIES ...........................................................................................................................34

ISTRUZIONI PER L’USO

1 87-900-969-01

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizza-

tore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed

ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'uti-

lizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali

responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istru-

zioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad

interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali

specifiche.

Le pompe della serie Turbo-V2000HT sono pompe turbomolecolari

per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qual-

siasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il

pompaggio di liquidi o di particelle solide.

L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata

velocità (33000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase

ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V2000HT sono totalmente

prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per applicazioni

che richiedono un vuoto "pulito".

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessa-

rie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'appa-

recchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice

“Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una

procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo

corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che,

se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle

pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le se-

guenti prescrizioni:

• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento del-

le pompe non devono essere superate le seguenti condizioni

ambientali:

• temperatura: da –20 °C a 70 °C

• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)

• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel

modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la

prima volta

• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare

è di 10 mesi dalla data di spedizione.

ATTENZIONE!

Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superio-

re, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si

prega di contattare il locale rappresentante della Varian.

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si pre-

sentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il

trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.

Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare atten-

zione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o

vibrazioni.

Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamen-

te riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela del-

l'ambiente.

ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani

nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare

sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplice-

mente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mante-

nerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde

evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

PERICOLO!

La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata

tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.

All’uopo utilizzare gli appositi golfari da avvitare nei fori filettati

M8 praticati sull’involucro della pompa.

ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento

del collegamento della turbopompa al sistema.

ISTRUZIONI PER L’USO

2 87-900-969-01

Assicurarsi che la pompa sia adatta per la propria applicazione.

La pompa è stata progettata per uso in sistemi di pompaggio

per PVD o generalmente per applicazioni in cui si richieda un

vuoto "pulito". Contattare Varian Vacuum Technologies o il vo-

stro fornitore per altre applicazioni.

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad

agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,

in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le

seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere

protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Te-

chnical Information" per ulteriori dettagli.

Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V2000HT devono

essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian

(serie 969-9462, 969-9562) e devono essere collegate ad una

pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").

La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.

PERICOLO!

Il livello di potenza fornito alla pompa va adattato al tipo di gas

pompato. Agendo attraverso il controller (vedere il manuale del

controller) è possibile selezionare ARIA o ARGON (default:

ARGON). Per utilizzare la pompa con gas diversi si prega di

contattare la Varian.

Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia

di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace

di resistere ad una coppia di 30000 Nm attorno al proprio asse.

La turbopompa con flangia di ingresso ISOF deve essere fissa-

ta alla camera da vuoto per mezzo di 12 viti M10 di acciaio di

classe non inferiore a 8.8 (

= 800 N/mm

). Si suggerisce una

coppia di chiusura di 22 Nm.

La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere

fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria

meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Te-

chnical Information".

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical

Information".

USO

Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa

sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere atten-

tamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori

pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della pompa uti-

lizzando il riscaldatore opzionale. Durante l'eventuale riscalda-

mento della camera da vuoto, le temperature della flangia di

ingresso e del rotore non devono essere superiori a 120 °C. Uti-

lizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni

di riscaldamento.

PERICOLO!

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante

le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-

sare lesioni alle persone.

ATTENZIONE!

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte

esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso

attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la

pressione atmosferica).

Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopom-

pa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.

ATTENZIONE!

Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate

di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire

alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-

gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").

PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-

sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure

tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas

esplosivi.

MANUTENZIONE

Le pompe della serie Turbo-V2000HT non richiedono alcuna

manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da

personale autorizzato.

PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa

scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la

pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo

arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale

della pompa sia inferiore a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-

ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-

mette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di

quella guasta.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advan-

ced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al

locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al pre-

sente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita

nell'imballo della pompa prima della spedizione.

Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla

sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi-

che.

PERICOLO!

Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun

motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della

turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione

(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazio-

ni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca

d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.

NO!

GEBRAUCHSANLEITUNG

3 87-900-969-01

ALLGEMEINES

Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte

der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten

Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch

teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch

durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und

Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden

Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.

Bei den Pumpen der Serie Turbo-V2000HT handelt es sich um

Turbomolekularpumpen für Hoch- und

Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung von

jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur

Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel.

Die Pumpwirkung wird durch eine

Hochgeschwindigkeitsdrehturbine (max. 33000 U/Min) erreicht, die

von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die

Turbo-V2000HT -Pumpen enthalten keinerlei umweltschädliche

Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke,

die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben

In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen

für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts

aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang

"Technical Information" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise

folgendermaßen hervorgehoben:

GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners

auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter

Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können.

ACHTUNG

Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den

Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an

der Anlage entstehen können.

ANMERKUNG

Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem

Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian

Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden

Anweisungen zu beachten:

• Während des Transports, der Handhabung und der

Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte

nicht überschritten werden:

• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C

• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)

• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang

bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start

ingangzusetzen.

• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10

Monate ab dem Speditionsdatum.

ACHTUNG!

Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte

Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk

zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den

örtlichen Varian Vertreter.

VOR DER INSTALLATION

Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert.

Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen

Verkaufsstelle gemeldet werden.

Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt

oder Stößen ausgesetzt wird.

Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist

vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für

Umweltschutz.

ACHTUNG

Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten,

die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen

Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen

geeigneten Schutz tragen.

ANMERKUNG

Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre

ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis

zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um

Staubverschmutzungen zu vermeiden.

INSTALLATION

GEFAHR!

Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe nur mit

entsprechend geeigneten Geräten angehoben und transportiert

werden. Zu diesem Zweck sind die dafür vorgesehenen

Ringschrauben zu verwenden, die in die Gewindebohrungen

M8 am Pumpengehäuse einzuschrauben sind.

ACHTUNG

Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim

Anschluß der Turbopumpe an die Anlage

GEBRAUCHSANLEITUNG

4 87-900-969-01

Überprüfen, dass die Pumpe für die betreffende Anwendung

geeignet ist. Die Pumpe wurde für den Gebrauch in PVD-

Pumpsystemen und im Allgemeinen für Anwendungen, bei de-

nen ein “sauberes” Vakuum erforderlich ist, konzipiert. Für an-

derweitige Anwendungen ist mit Varian Vacuum Technologies

oder mit Ihrem Lieferanten Rücksprache zu halten.

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die un-

geschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und ag-

gressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte

Brandgefahr besteht.

Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-

gehalten werden:

- Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck

- Temperatur: von +5°C bis +35°C

- Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)

Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz

eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden.

Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information”.

Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000HT dürfen nur

mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9462, 969-

9562) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe ange-

schlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die

Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.

GEFAHR!

Die von der Pumpe gelieferte Leistungsstärke ist an den zu

pumpenden Gastyp anzupassen. Über den Controller (siehe

Betriebsanleitung des Controllers) kann LUFT oder ARGON

(Default: ARGON) ausgewählt werden. Für die Verwendung der

Pumpe mit anderweitigen Gasen ist mit Varian Rücksprache zu

halten.

Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie

den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-

genflansch anschließen, der ein Drehmoment von 30000 Nm

um seine eigene Achse aushält.

Die Turbopumpe mit ISOF Eintrittsflansch ist an der Vakuum-

kammer mit 12 Schrauben M10 aus Stahl mind. Klasse 8.8

(

= 800 N/mm

) zu befestigen. Es wird ein Schließmoment

von 22 Nm empfohlen.

Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem

speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer

angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang

"Technical Information".

Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information“.

ANWENDUNG

Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe

sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.

Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen

werden.

Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-

gehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-

den. Während der eventuellen Erwärmung der Vakuumkammer

darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors

120°C nicht überschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Was-

serkühlung arbeiten.

GEFAHR!

Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch even-

tuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht

Verbrennungsgefahr.

! ACHTUNG!

Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie

Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-

tungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphäri-

schen Druck sein.

! ACHTUNG!

Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen

sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da

die Lager beschädigt werden könnten.

! ACHTUNG!

Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit ei-

ner Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der La-

ger ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt

werden darf (siehe Anhang "Technical Information").

GEFAHR!

Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-

baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für

das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnah-

men befolgt werden.

Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven

Gasen.

WARTUNG

Die Pumpen der Serie Turbo-V2000HT sind wartungsfrei. E-

ventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal

ausgeführt werden.

GEFAHR!

Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,

die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,

warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur

am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.

Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian ad-

vanced exchange service" in Anspruch genommen werden.

ANMERKUNG

Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß

das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-

buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-

den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.

Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-

schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.

GEFAHR!

Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall

in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder ir-

gendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird emp-

fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei

Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines fle-

xiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbo-

pumpe immer am Unterteil fest installiert.

NEIN!

MODE D’EMPLOI

5 87-900-969-01

INDICATIONS GENERALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation

professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire

attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre

indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser

l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité

en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions

données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non

formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire

aux réglementations nationales spécifiques.

Les pompes de la série Turbo-V2000HT sont des pompes

turbomoléculaires conçues pour des applications de vide

poussé et ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le

pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé

gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de

liquides ou de particules solides.

L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à

vitesse élevée (33000 tr/min maxi), actionnée par un moteur

électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-

V2000HT sont totalement exemptes d'agents polluants et sont

par conséquent indiquées pour des applications exigeant un

vide "propre".

Les paragraphes suivants donnent toutes les indications

nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant

l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés

se trouvent dans l'appendice "Technical Information".

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur

sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle

n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de

graves lésions.

ATTENTION !

Les messages d'attention apparaissent avant certaines

procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient

endommager sérieusement l'appareillage.

NOTA

Les notes contiennent des renseignements importants,

isolés du texte.

STOCKAGE

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des

pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de

respecter les instructions suivantes :

• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,

doivent impérativement avoir lieu dans les conditions

ambiantes suivantes:

• température : de –20 °C à +70 °C

• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)

• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires

doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.

• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est

de 10 mois à compter de la date d'expédition.

ATTENTION!

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit

être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le

représentant Varian de zone.

PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION

La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;

si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être

produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de

vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,

veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe

et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.

Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est

entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE

85/399 en matière de protection de l'environnement.

ATTENTION !

En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas

toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés

au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection

appropriée.

NOTE

La pompe ne peut être endommagée en restant simplement

exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la

garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter

toute pollution due à la poussière.

INSTALLATION

DANGER!

Compte tenu de son poids, la pompe doit toujours être maniée

à l'aide d'appareils de levage et de manutention spéciaux. Si

nécessaire, utiliser les anneaux de levage après les avoir

préalablement vissés dans les orifices filetés M8 pratiqués sur

le corps de la pompe.

ATTENTION!

Ne retirer le ruban adhesiv et le couvercle de protection

qu’au moment du branchement de la turbopompe au

systéme.

MODE D’EMPLOI

6 87-900-969-01

Assurez-vous que la pompe est adaptée à l'application à la-

quelle vous la destinez. La pompe a été conçue pour être utili-

sée dans des systèmes de pompage pour PVD ou d'une façon

plus générale pour des applications impliquant un vide "propre".

Pour toute autre application, veuillez contacter Varian Vacuum

Technologies ou votre fournisseur habituel.

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-

sés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des

poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux

explosifs ou à risque élevé d'incendie.

Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les

conditions environnementales suivantes:

- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique

- température: de +5°C° à +35°C

- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-

tégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se

reporter à l'appendice "Technical Information".

Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V2000HT ne

doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux Va-

rian (série 969-9462, 969-9562) et elles doivent être connec-

tées à une pompe primaire (voir schéma dans "Technical

Information").

La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position.

DANGER!

Le niveau de puissance fourni à la pompe doit être adapté au

type de gaz pompé. Le contrôleur (voir manuel correspondant)

permet de sélectionner AIR ou ARGON (par défaut : ARGON).

Pour l'utilisation de la pompe avec des gaz différents, veuillez

contacter Varian.

Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la bride

d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant sup-

porter un couple de 30000 Nm autour de son axe.

La turbo pompe avec collerette d’entrée ISOF doit être fixée à

la chambre à vide à l’aide de 12 vis M10 en acier d’une classe

de résistance minimum de 8.8 (

= 800 N/mm

). Il est conseillé

de serrer à un couple de 22 Nm.

La turbopompe à bride d'entrée Conflat doit être fixée à la

chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian pré-

vus à cet effet. Pour tous autres détails, se reporter à l'appen-

dice "Technical Information".

Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical

Information".

UTILISATION

Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la tur-

bopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il

est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la

pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est

possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauf-

feur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre du

vide, la température de la bride d'entrée et celle du rotor ne

doivent pas dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement

par eau pendant les opérations de chauffage.

DANGER!

Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires

éventuels pendant les opérations de chauffage. La température

élevée peut causer des lésions aux personnes.

! ATTENTION !

Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du

gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression

d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure

à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.

! ATTENTION !

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation

ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério-

rer.

! ATTENTION !

Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées

d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir

à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger

les coussinets (voir l'appendice "Technical Information").

DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-

ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-

ques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de

gaz explosifs.

ENTRETIEN

Les pompes de la série Turbo-V2000HT n'exigent aucun autre

entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel

agréé.

DANGER!

Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, dé-

brancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la

soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du

rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe

soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de s'adresser au service

réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange

service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place

de la pompe endommagée.

NOTE

Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des répara-

tions ou un "advanced exchange service", remplir et faire par-

venir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé"

annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette

fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'ex-

pédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination

conformément aux réglementations nationales en la matière.

DANGER!

Pour éviter tout risque de lésion aux personnes, ne jamais

introduire, sous aucun prétexte, ni les doigts ni aucun objet

dans la bouche de la turbopompe. Il est conseillé d’utiliser le

filet de protection fourni en option. En cas d’utilisation d’un

amortisseur de vibrations ou d’un soufflet métallique flexible

sur la bouche d’entrée, toujours bien fixer la turbopompe à sa

base.

NON!

INSTRUCCIONES DE USO

7 87-900-969-01

INFORMACIÓN GENERAL

Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario

deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y

cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes

de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier

responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las

instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin

adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no

cumpla con las normas nacionales específicas.

Las bombas de la serie Turbo-V2000HT son bombas

turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto y

pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso.

No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas.

El efecto de bombeo se obtiene a través de una turbina que gira a

gran velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico

trifásico de grandes prestaciones. En las bombas Turbo-V2000HT

no hay agentes contaminantes y, por lo tanto, son apropiadas

incluso para las aplicaciones que necesitan un vacío "limpio".

En los párrafos siguientes se indica toda la información necesaria

para garantizar la seguridad del operador durante el uso del equipo.

Una información más detallada se facilita en el Suplemento

"Technical Information".

Este manual utiliza los símbolos convencionales siguientes:

¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un

procedimiento o una operación específica que, al no realizarse

correctamente, podría provocar graves lesiones personales.

¡ATENCIÓN!

Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos

que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las

bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes

instrucciones:

• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las

bombas no deberán superarse las siguientes condiciones

ambientales:

• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;

• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);

• el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares

en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en

funcionamiento por primera vez;

• el período máximo de almacenamiento de una bomba

turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío

al cliente.

¡ATENCIÓN!

En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo

permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al

fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega con-

tactar con el representante local de Varian.

PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN

La bomba se suministra en un embalaje de protección dimensional;

si se observan señales de daños, que podrían haberse producido

durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta

más cercana.

Durante la operación de desembalaje, prestar una atención

especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.

No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es

totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE 85/399 para la

preservación del medio ambiente.

¡ATENCIÓN!

Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes

los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre

los guantes u otra protección apropiada.

NOTA

La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la

atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada

hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar

una posible contaminación debida al polvo.

INSTALACIÓN

¡PELIGRO!

La bomba, a causa de su peso, ha de manejarse mediante

herramientas de levantamiento y desplazamiento específicas.

Para este fin se utilizan las respectivas armellas, que deben

ser atornilladas en los agujeros roscados M8 presentes en la

cubierta de la bomba.

¡ATENCIÓN!

Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en

el momento en que se conecte la turbobomba al sistema.

INSTRUCCIONES DE USO

8 87-900-969-01

Verificar que la bomba sea adecuada para el uso que de ella

se desea hacer. La bomba ha sido proyectada para empleo en

sistemas de bombeo para PVD o para aplicaciones en las que

generalmente se requiere un vacío “limpio”. Respecto de otras

aplicaciones sírvase contactar con Varian Vacuum

Technologies o con su proveedor.

No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes

atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en

ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio.

Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las

condiciones ambientales siguientes:

- presión máxima: 2 bar por encima de la presión

atmosférica

- temperatura: de +5°C a + 35°C

- humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora).

Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de

protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice

“Technical Information” para más detalles.

Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V2000HT se

deberán utilizar sólo con uno de los controladores apropiados

Varian (serie 969-9462, 969-9562) y se deberán acoplar a una

bomba primaria (véase esquema en "Technical Information".

La turbobomba se puede instalar en cualquier posición.

¡PELIGRO!

El nivel de potencia suministrado a la bomba debe ser

predispuesto en función del tipo de gas bombeado. Operando

mediante el controller (véase el manual del controller) es

posible seleccionar AIRE o ARGON (por defecto: ARGON).

Para utilizar la bomba con otros tipos de gases sírvase

contactar previamente con Varian.

Fijar la turbobomba en posición estable acoplando la brida de

entrada de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda

soportar un par de 30000 Nm alrededor de su eje

La turbobomba con brida de entrada ISOF debe ser fijada a la

cámara de vacío mediante 12 tornillos M10 de acero de clase

no inferior a 8.8 (

= 800 N/mm

). Se sugiere aplicar un par de

apriete de 22 Nm.

La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la

cámara de vacío mediante accesorios mecánicos Varian. Para

más detalles véase el apéndice “Technical Information”.

Para la instalación de los opcionales, véase “Technical

Information”.

UTILIZACIÓN

Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la

turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de

control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.

Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la

envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.

Durante el eventual calentamiento de la cámara de vacío, la

temperatura de la brida de entrada y del rotor no debe superar

nunca 120 ºC. Utilizar siempre la refrigeración por agua

durante las operaciones de calentamiento.

¡PELIGRO!

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante

las operaciones de calentamiento. La alta temperatura

puede provocar lesiones a las personas.

¡ATENCIÓN!

Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin

polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta

apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión

atmosférica.

¡ATENCIÓN!

Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la

turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían

dañarse.

¡ATENCIÓN!

Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas

de una puerta específica mediante la cual es necesario

suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o

Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice

“Technical Information”).

¡PELIGRO!

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,

inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos

apropiados típicos de cada gas.

No usar la bomba cuando haya gases explosivos.

MANTENIMIENTO

Las bombas de la serie Turbo-V2000HT no necesitan ningún

mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada

por personal autorizado.

¡PELIGRO!

Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,

desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba

abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare

completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50

ºC.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación

Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite

obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.

NOTA

Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o

"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar

y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de

"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de

instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en

el embalaje de la bomba antes de enviarla.

En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su

eliminación respetando las normas nacionales específicas.

¡PELIGRO!

Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por

ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada

de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de

protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de

vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de

entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.

NO!

INSTRUÇÕES PARA O USO

9 87-900-969-01

INFORMAÇÕES GERAIS

Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve

ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra

informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a

aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela eventual

inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido

por parte de pessoas não treinadas, por operações não

autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais

específicas.

As bombas da série Turbo-V2000HT são bombas

turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, e

são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto

gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou

partículas sólidas.

O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de

alta velocidade (33000 r.p.m. máx.) movida por um motor

eléctrico de três fases de alto rendimento. As bombas Turbo-

V2000HT são totalmente sem agentes contaminadores e,

portanto, são adequadas para aplicações que requerem um

vácuo "limpo".

Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações

necessárias para garantir a segurança do técnico durante o uso da

aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice

"Technical Information".

Este manual utiliza as seguintes convenções:

PERIGO!

As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para um

procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada

correctamente, poderia provocar graves lesões pessoais.

ATENÇÃO

As mensagens de atenção são visualizadas antes de

procedimentos que, se não observados, poderiam causar danos à

aparelhagem.

NOTA

As notas contêm informações importantes destacadas do texto.

ARMAZENAGEM

Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das

bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas as

seguintes prescrições:

• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das

bombas as condições ambientais devem ser as seguintes:

• temperatura: de –20 °C a 70 °C

• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)

• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o

cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start

• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba

turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição.

ATENÇÃO!

Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for supe-

rior, será necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante.

Para mais informações, contatar o representante local da Varian.

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO

A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se

apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se

durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de

vendas local.

Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para

não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou

vibrações.

Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é

completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399

para a protecção do meio ambiente.

ATENÇÃO

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos

os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre

luvas ou outra protecção adequada.

NOTA

A bomba não pode ser danificada permanecendo

simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,

mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema

para evitar que se suje com poeiras.

INSTALAÇÃO

PERIGO!

A bomba, devido ao seu peso, deve ser manejada utilizando

ferramentas específicas de levantamento e deslocamento. Se

for preciso, utilizar os pinos de olhal a aparafusar nos furos

com rosca M8 posicionados na embalagem da bomba.

ATENÇÃO

Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no

momento da ligação da turbobomba ao sistema

INSTRUÇÕES PARA O USO

10 87-900-969-01

Assegure-se de que a bomba é idónea para o tipo de

aplicação desejado. A bomba foi concebida para o uso em

sistema de bombeamento para PVD ou, em geral, para

aplicações que necessitam de vácuo “limpo”. Para quaisquer

outros tipos de aplicação, contacte a Varian Vacuum

Technologies ou o seu fornecedor de confiança.

Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a

agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases

agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou

com elevado risco de incêndio.

Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas

as seguintes condições ambientais:

- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica

- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC

- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).

Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida

com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical

Information" para maiores detalhes.

As bombas turbomoleculares da série Turbo-V2000HT devem

ser utilizadas somente com um dos controladores Varian

específicos (série 969-9462, 969-9562) e devem ser ligadas a

uma bomba primária (ver esquema em "Technical

Information").

A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição.

PERIGO!

O nível de potência fornecido à bomba deve ser o indicado

para o tipo de gás aspirado. Operando com o controller (con-

sultar o manual do controller) é possível seleccionar AR ou

ARGON (pré-definido: ARGON). Para utilizar a bomba com

outros tipos de gases, consultar a Varian.

Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de

entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de

resistir a um torque de 30000 Nm ao redor do próprio eixo.

A turbobomba com flange de entrada ISOF deve ser fixada à

câmara de vácuo através de 12 parafusos M10 de aço, classe

não inferior a 8,8 (

= 800 N/mm

). Aconselhamos um torque

de aperto de 22 Nm.

A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada

à câmara de vácuo através de parafusos específicos da

mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice

"Technical Information".

Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical

Information”.

UTILIZAÇÃO

Todas as instruções para o correcto funcionamento da

turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.

Ler atentamente este manual antes da utilização.

Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o

invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante a

fase de aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura da

flange de entrada e do rotor não deve ultrapassar 120 °C.

Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações

de aquecimento.

PERIGO!

Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios

durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura

pode causar lesões às pessoas.

ATENÇÃO

Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem

poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta

específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão

atmosférica).

ATENÇÃO

Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da

turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam

sofrer danos.

ATENÇÃO

Para bombear gases agressivos, estas bombas estão

equipadas com uma porta específica através da qual é

necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou

Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical

Information").

PERIGO!

Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,

inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos

adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na

presença de gases explosivos.

MANUTENÇÃO

As bombas da série Turbo-V2000HT não requerem qualquer

manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por

pessoal autorizado.

PERIGO!

Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o

conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a

válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e

até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.

Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação

Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite

obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com

defeito.

NOTA

Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou

advanced exchange service, é indispensável preencher e

enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e

Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da

mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da

expedição.

Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua

eliminação respeitando as normas nacionais específicas.

PERIGO!

Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer

motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da

turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção

(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou

um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar

sempre a turbobomba à base.

NÃO

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

11 87-900-969-01

ALGEMENE INFORMATIE

Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De

gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle

overige door Varian verstrekte informatie door te lezen

alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich

niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk

in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik

door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor

geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de

specifieke nationale wetgeving.

De pompen van de serie Turbo-V2000HT zijn turbomoleculaire

pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in

staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn

niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.

Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende

turbine (max. 33000 toeren/min.) die aangedreven wordt door

een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De

Turbo-V2000HT pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen

en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon"

vacuüm verlangen.

In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de

veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de

apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te

vinden in de bijlage "Technical information".

Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:

GEVAAR!

Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator

vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet

correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.

ATTENTIE

Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet

opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.

OPMERKING

De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst

is gelicht.

OPSLAG

Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de

Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten

de volgende voorschriften in acht worden genomen:

• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen

moet aan de volgende omgevingscondities worden

voldaan:

• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C

• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet

condenserend)

• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de

Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor

de eerste keer in werking worden gesteld

• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10

maanden vanaf de verzenddatum.

ATTENTIE!

Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet

de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer

informatie wordt verzocht contact op te nemen met de

plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.

UITPAKKEN

De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking

geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het

transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact

opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.

Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of

stoten te verduren krijgt.

Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het

verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de

EEG milieurichtlijn 85/399.

ATTENTIE

Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de

componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet

met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd

handschoenen of een andere geschikte bescherming.

OPMERKING

De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan

de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden

om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het

systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof

wordt voorkomen.

INSTALLATIE

GEVAAR!

De pomp moet, in verband met haar gewicht, met speciale hef-

en vervoerswerktuigen verplaatst worden.

Gebruik voor dit doel de specifieke hijsogen die in de M8

schroefdraadopeningen in het pompomhulsel geschroefd

moeten worden.

ATTENTIE

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem

wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop

verwijderd worden.

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

12 87-900-969-01

Controleer of de pomp geschikt voor de eigen toepassing is. De

pomp is ontworpen voor gebruik binnen PVD pompsystemen of in

het algemeen voor toepassingen waarvoor een “schoon” vacuüm is

vereist. Neem contact op met Varian Vacuum Technologies of uw

leverancier voor andere toepassingen.

De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in

ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden

(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten

met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.

Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities

aanwezig zijn:

- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk

- temperatuur: van +5°C tot +35°C

- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).

Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op

passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical

Information” voor meer informatie.

De turbomoleculaire pompen van de serie V2000HT mogen

alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale

Varian controllers (serie 969-9462, 969-9562) en moeten

aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in

"Technical information").

De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.

GEVAAR!

Het aan de pomp geleverde krachtniveau moet aangepast

worden aan het gepompte gastype. Het is mogelijk om met

behulp van de controller (zie de handleiding van de controller)

LUCHT of ARGON te kiezen (default: ARGON). Neemt u a.u.b.

contact op met Varian als u andere gastypes wilt gebruiken.

Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de

inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die

een koppel van 30000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.

De turbopomp met ISOF ingangsflens moet bevestigd worden

aan de vacuümkamer met behulp van 12 M10 stalen bouten

met een sterkteklassse van niet minder dan 8.8 (

= 800

N/mm

). Men adviseert een aanhaalkoppel van 22 Nm.

De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de

vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale

mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor

meer informatie de bijlage "Technical information".

Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die

als optie verkrijgbaar zijn.

GEBRUIK

Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn

in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig

deze handleiding vóór ingebruikname door. Om een betere

grensdruk te bereiken, kan het pomphuis verwarmd worden met

behulp van een optionele verwarmingsunit. Tijdens het eventuele

verwarmen van de vacuümkamer, mag de temperatuur van de

ingangsflens en de rotor niet meer dan 120 °C bedragen. Pas

tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.

GEVAAR!

Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen

aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken.

ATTENTIE

Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas

zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor

bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de

atmsoferische druk) bedragen.

ATTENTIE

Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de

turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen

anders beschadigd raken.

ATTENTIE

Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen

van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een

stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de

lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information").

GEVAAR!

Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare,

giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden

gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de

pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.

ONDERHOUD

De pompen van de serie Turbo-V2000HT zijn onderhoudsvrij.

Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel

worden uitgevoerd.

GEVAAR!

Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de

stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor

bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig

stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder

een temperatuur van 50 °C is gezakt .

In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van

Varian of de "Varian advanced exchange service" in te

schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de

defecte pomp.

OPMERKING

Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te

sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart

"Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het

plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van

deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking

worden gevoegd.

Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de

specifieke nationale wetgeving te werk.

GEVAAR!

Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen

enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening

van de turbopomp worden gestoken. Men raadt gebruik van

het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of

een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt

aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen.

NEE

BRUGSANVISNING

13 87-900-969-01

GENEREL INFORMATION

Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren

bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning,

Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke

ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun

er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af

ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb

på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast

til det pågældende lands særlige normer.

Turbo-V2000HT serien omfatter turbomolekulære pumper til

højvakuum og til ultra-højvakuum. Pumperne er i stand til at

pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke

egnet til at pumpe væsker eller faste partikler.

Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved

høj hastighed (max. 33000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv

trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000HT pumperne er

fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god

anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.

I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for

operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede

oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information ".

I denne håndbog findes følgende regler:

ADVARSEL!

Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et

indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare

for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.

VIGTIGT !

Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal

overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.

BEMÆRK

Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.

OPBEVARING

Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre

optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære

pumper fra Varian:

• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i

forbindelse med transport, flytning og opbevaring af

pumperne:

• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,

• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).

• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved

hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af

pumperne for første gang.

• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder

fra forsendelsesdatoen.

VIGTIGT!

Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,

er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yder-

ligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian

repræsentant.

FORBEREDELSE TIL MONTERING

Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage.

Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på

beskadigelse, der kan være sket under transporten.

Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til

den under udpakningen.

Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er

genbrugsmateriale i overensstemmelse med direktivet

85/399/EØF vedrørende miljøbeskyttelse.

VIGTIGT !

For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de

bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid

handsker eller anden passende beskyttelse.

BEMÆRK

Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den

atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales

det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i

anlægget.

MONTERING

ADVARSEL!

Grundet dens vægt må pumpen kun håndteres ved hjælp af

dertil bestemt løfte- og flytningsudstyr. I forbindelse med løft

anvendes øjeboltene, der fastspændes i de gevindskårne

huller M8 på pumpens beklædning.

VIGTIGT !

Tapen og beskyttelsesproppen må først fjernes, når

turbopumpen sluttes til systemet.

BRUGSANVISNING

14 87-900-969-01

Kontrollér, at pumpen er egnet til den konkrete brug. Pumpen

er projekteret til brug i pumpesystemer til PVD eller generelt til

anvendelse, der kræver et "rent" vakuum. Kontakt Varian

Vacuum Technologies eller forhandleren, hvis pumpen skal

benyttes til andre former for brug.

Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der

udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende

luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller

stor brandfare.

Følgende betingelser skal overholdes under driften:

- maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)

- temperatur: fra +5°C til +35°C

- relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).

Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag

“Technical Information” for yderligere detaljer.

Turbomolekulærpumperne i Turbo-V2000HT serien må kun

anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie

969-9462, 969-9562) og skal forbindes med en primær pumpe

(se skemaet i "Technical Information").

Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling.

ADVARSEL!

Pumpens effektniveau skal tilpasses i forhold til den pumpede

gastype. Ved at benytte styreenheden (se brugsanvisningen for

styreenheden) er det muligt at vælge LUFT eller ARGON

(standardindstilling: ARGON). Kontakt venligst Varian, hvis

pumpen skal benyttes til andre gastyper.

Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange

fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et

drejningsmoment på 30000 Nm omkring aksen.

Turbopumpen med ISOF indgangsflange skal monteres på va-

kuumkammeret ved hjælp af 12 M10 stålskruer (min. styrkek-

lasse 8,8 (σ

= 800 N/mm

)). Anbefalet tilspændingsmoment:

22 Nm.

Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til

vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele

fra Varian. For detaljer henvises til ”Technical Information”.

Se "Technical Information" for montering af optionals.

ANVENDELSE

Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er

beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.

Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.

For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen

opvarmes. I forbindelse med eventuel opvarmning af

vakuumkammeret må temperaturen for indgangsflangen og

rotoren ikke overskride 120° C. Brug altid vandafkøling under

opvarmningen.

ADVARSEL!

Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under

opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage

kvæstelser på personer.

VIGTIGT!

Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der

er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige

åbning skal være under 2 bar.

VIGTIGT!

Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i

forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for

beskadigelse af lejerne.

VIGTIGT!

Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet

med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller

kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne (se bilaget

“Technical Information”).

ADVARSEL!

Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller

radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte

gastype strengt overholdes.

Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.

VEDLIGEHOLDELSE

Pumperne af Turbo-V2000HT typen behøver ikke nogen

vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af

autoriseret personale.

ADVARSEL!

Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,

skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen

ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er

standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end

50°C.

Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians

reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange

Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for

den, der er gået i stykker.

BEMÆRK

Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller

til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen

"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den

til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges

i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.

Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå i

overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.

ADVARSEL!

For at undgå personskader må fingre eller andre

genstande aldrig indsættes i turbopumpens indløbsdysen.

Det anbefales at anvende beskyttelsesnettet (optional).

Såfremt der anvendes en befugter eller en blæsebælg af

metal på indløbsdysen, skal turbopumpen altid fastgøres til

basen.

NEJ!

BRUKSANVISNING

15 87-900-969-01

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.

Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig

dokumentation från Varian före användning av utrustningen.

Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av

åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av

person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen

eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.

Pumparna i Turbo-V2000HT-serien är turbomolekylära pumpar

för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan

användas för pumpning av alla typer av gas eller

gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller

fasta partiklar.

Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max

33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga

tillsatsämnen används i Turbo-V2000HT -seriens pumpar, som

därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.

De följande avsnitten innehåller all information som behövs för

att garantera operatörens säkerhet under användningen.

Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".

I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en

speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras

exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra

personskador.

VIKTIGT !

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som

måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Respektera följande anvisningar för att garantera optimal pre-

standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:

• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande

omgivningsförhållanden respekteras:

• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.

• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).

• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna

när de mottas och sätts i drift för första gången.

• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader

från leveransdatumet.

VIKTIGT !

Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen

skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala

Varian-återförsäljaren för ytterligare information.

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta

det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på

skador som kan ha uppstått under transporten.

Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid

uppackningen.

Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är

återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om

miljöskydd.

VIKTIGT !

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras

med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid

handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.

Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har

installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm

eller annat i den.

INSTALLATION

VARNING!

Med tanke på pumpens vikt får den endast hanteras med hjälp

av därtill avsedda lyft- och flyttningsanordningar Skruva om det

behövs i öglebultarna i de gängade hålen M6 på pumpens

hölje.

VIKTIGT !

Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska

anslutas till systemet.

Kontrollera att pumpen är lämplig för dess

användningsområde. Pumpen är konstruerad för användning i

pumpsystem för PVD eller vanliga användningsområden som

kräver ett "rent" vakuum. Kontakta Varian Vacuum

Technologies eller din leverantör om pumpen ska användas för

andra ändamål.

BRUKSANVISNING

16 87-900-969-01

Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från

atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte

heller i explosiv eller brandfarlig miljö.

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)

- temperatur: från +5°C till +35°C

- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).

I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild

skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare

upplysningar.

Turbomolekylärpumparna i serien V2000HT måste användas

med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9462, 969-

9562), och anslutas till en förpump (se schemat " Technical

information ").

Turbopumpen kan installeras i valfri position.

VARNING!

Pumpens effektnivå ska anpassas till pumpad gastyp. Använd

styrenheten (se styrenhetens bruksanvisning) för att välja LUFT

eller ARGON (standardinställning: ARGON). Kontakta Varian om

pumpen ska användas till andra gastyper.

Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens

intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på

30000 Nm runt den genomgående axeln.

Turbopumpen med inloppsfläns ISOF ska fästas vid

vakuumkammaren med hjälp av 12 stålskruvar M10 med min.

hållfasthetsklass 8.8 (s

= 800 N/mm

). Rekommenderat

åtdragningsmoment 22 Nm.

Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till

vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer

hänvisas till bilaga ”Technical Information”

Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical

Information”.

ANVÄNDNING

Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i

styrenhetens bruksanvisning.

Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.

För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med

ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under

eventuell uppvärmning av tryckkammaren ska temperaturen för

ingångsflänsen och rotorn inte överstiga 120 °C.

Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.

VARNING!

Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under

uppvärmningen för att undvika brännskador.

VIKTIGT!

Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för

luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar

(över atmosfäriskt tryck).

VIKTIGT!

Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga

förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli

skadade.

VIKTIGT!

För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda

med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström

av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan

“Technical information”).

VARNING!

Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga

eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna

för varje enskild gas.

Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.

UNDERHÅLL

Pumparna i Turbo-V2000HT-serien är underhållsfria. Allt

servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.

VARNING!

Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens

strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den

aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt

tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad

eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en

renoverad pump.

OBSERVERA

Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller

utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och

säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och

skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en

kopia av bladet med pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.

VARNING!

För att undvika personskador får du aldrig sticka in

fingrarna eller andra föremål i turbopumpens

intagsöppningar. Vi rekommenderar användning av

skyddsnätet (tillval). Om en vibrationsdämpare eller en

flexibel metallbälg används för intagsöppningen, måste

turbopumpen alltid fästas till fundamentet.

NEJ!

BRUKERVEILEDNING

17 87-900-969-01

GENERELL INFORMASJON

Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.

Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen

informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke

holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av

manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,

feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av

utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med

nasjonale bestemmelser.

Turbo-V2000HT serien med pumper er turbo-molekulære

pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan

pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke

beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.

Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 33000

opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000HT

pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for

anlegg med behov for "rene" vakuum.

De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er

nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer

detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".

Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:

ADVARSEL!

Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet

til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke

følges, kan medføre alvorlige skader.

FORSIKTIG !

Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom

de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.

MERK

Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra

teksten.

LAGRING

For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian turbo-

molekylære pumper må følgende anvisninger følges:

• Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke

følgende miljøforhold overstiges:

• Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.

• Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).

• Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene

når de mottas og startes opp første gang.

• Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder

fra sendedato.

FORSIKTIG!

Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må

pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale

Varian-forhandleren for informasjon.

KLARGJØRE TIL INSTALLASJON

Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser

denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,

må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.

Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned

eller utsettes for noen form for støt.

Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer

er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399

om miljøbeskyttelse.

FORSIKTIG !

For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal

utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid

hansker eller andre og passende verneutstyr.

MERK

Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge

pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er

montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for

nedstøving.

INSTALLASJON

ADVARSEL!

Med tanke på pumpens vekt skal den bare håndteres ved bruk

av dertil egnede løfte- og flyttingsanordninger. Ved behov må

man bruke øyeboltene som skal skrues fast i de gjengete

hullene M8 på pumpehuset.

FORSIKTIG !

Fjern tapen og ta ut beskyttelsesproppen først når

turbopumpen skal sluttes til systemet.

Forsikre deg om at pumpen er egnet for bruken. Pumpen er

produsert for å brukes i pumpesystemer for PVD, eller generelt

hvor det kreves et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vacuum

Technologies eller din forhandler for annet bruk.

Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn,

snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer

eller miljøer med stor brannfare.

BRUKERVEILEDNING

18 87-900-969-01

Under bruk må følgende forhold respekteres:

- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)

- temperatur: fra +5°C til +35°C

- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens).

Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede

skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.

Turbo-V2000HT serien turbo-molekulære pumper må kun

brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-

9462, 969-9562), og må koples til hovedpumpen (se skjema i

"Teknisk informasjon ").

Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling.

ADVARSEL!

Effektnivået til pumpen må stilles inn i forhold til gassen som

pumpes. Det er mulig å velge LUFT eller ARGON ved hjelp av

styreenheten (se styreenhetens veiledning) (standardinnstilling:

ARGON). Ta kontakt med Varian dersom pumpen skal brukes

til andre gasstyper.

Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen

festet mot en koplingsflens med et dreiemoment på 30000 Nm

rundt aksen.

Turbopumpen med ISOF inngangsflens må festes til vakuum-

kammeret med 12 M10 stålskruer med en styrkeklasse på

minst 8.8 (s

= 800 N/mm

). Det anbefales et strammemoment

på 22 Nm.

Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på

vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra

Varian. For detaljer henvises det til “Technical Information”.

For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk

informasjon.

BRUK

Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i

kontrollenhetens manual.

Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.

For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en

varmer som kan fås som ekstrautstyr. I tilfelle trykkammeret

varmes opp, må ikke temperaturen til inngangsflensen og

rotoren overskride 120°C.

Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen..

ADVARSEL!

Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under

oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til

brannskader.

FORSIKTIG!

Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av

pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2

bar (over atmosfærisk trykk).

FORSIKTIG!

Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av

turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.

FORSIKTIG!

Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med

en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive

gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se

“Teknisk informasjon”).

ADVARSEL!

Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller

radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte

gasstypene følges.

Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.

VEDLIKEHOLD

Turbo-V2000HT serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid

på pumpen må kun utføres av autorisert personell.

ADVARSEL!

Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples

tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og

deretter vente til rotoren har stanset og pumpens

overflatetemperatur er lavere enn 50°C.

Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians

reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice

som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte

pumpen.

MERK

Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller

som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet

"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale

salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen

som sendes tilbake.

Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til

nasjonale bestemmelser.

ADVARSEL!

For å unngå personskader må du aldri stikke inn fingrene

eller annet i turbopumpens inngangsåpning. Vi anbefaler

bruk av beskyttelsesnettet (tilbehør). Dersom en

vibrasjonsdemper eller en fleksibel metallbelge brukes på

inngangsåpningen må turbopumpen alltid festes til

fundamentet.

NEI!

KÄYTTÖOHJEET

19 87-900-969-01

YLEISIÄ TIETOJA

Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen

laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti

mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin

toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka

johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta

laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä

laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai

kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä.

Turbo-V2000HT sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja,

jotka on tarkoitettu korkean ja ultrakorkean tyhjiön

muodostamiseen. Ne soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai

kaasuseosten pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai

kiinteiden hiukkasten pumppaukseen.

Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (33000

kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka

korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori käynnistää.

Turbo-V2000HT sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia

aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin

käyttötarpeisiin.

Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto

laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön

aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical

Information ".

Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:

VAARA!

Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion

erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen

suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin.

HUOMIO!

Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden

laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen.

HUOMAUTUKSET

Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot.

VARASTOINTI

Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen

pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:

• Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan,

seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:

• lämpötila: -20 °C - 70 °C.

• suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä).

• Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen

pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja

käyttäessään sitä ensimmäisen kerran.

• Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta

toimituspäivästä.

HUOMIO!

Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee

palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varian-

edustajalta.

VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN

Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa

pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti

kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys

paikalliseen myyntitoimistoon.

Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun

putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja.

Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on

täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä

ympäristön suojelusta.

HUOMIO !

Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön

tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai

muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen.

HUOMAUTUS

Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On

kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään

järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen

pölyltä.

ASENNUS

VAARA!

Ajatellen pumpun painoa, tätä tulee käsitellä ainoastaan siihen

tarkoitetulla nosto- ja siirtolaitteiston avulla. Käytä tarvittaessa

tarkoitukseen olevia nostosilmukoita, jotka tulee kiertää

pumpun rungossa oleviin kierteisiin M8 reikiin.

HUOMIO !

Poista tarra ja irrota suojakorkki vasta silloin, kun yhdistät

turbopumpun järjestelmään.

KÄYTTÖOHJEET

20 87-900-969-01

Varmista, että pumppu soveltuu tarkoitettuun käyttöön.

Pumppu on suunniteltu käytettäväksi PVD-

pumppausjärjestelmissä tai yleensä tarkoituksiin, joissa

vaaditaan "puhdasta" tyhjiötä. Ota yhteys Varian Vacuum

Technologies -yritykseen tai jälleenmyyjään, jos pumppua

halutaan käyttää muihin tarkoituksiin.

Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se

joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai

aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa

räjähdys- tai tulipalovaara.

Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä

koskevia ehtoja:

- maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine

- lämpötila: + 5°C - +35°C

- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).

Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän

tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical

Information“-liitteestä.

Sarjan V2000HT turbomolekyylipumppuja tulee käyttää

ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969-

9462, 969-9562) ja niiden täytyy olla yhdistettyinä

pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information").

Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.

VAARA!

Pumpun antama tehotaso tulee sovittaa pumpattuun

kaasutyyppiin. Valitse valvojan (ks. valvojan käsikirja) avulla

ILMA tai ARGON (oletus: ARGON). Jos haluat käyttää

pumppua muilla kaasuilla, ota yhteys Varian-yritykseen.

Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä

turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka

kannattaa 30000 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai

käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen

kiinnittämiseen.

ISOF-imulaipalla varustettu turbopumppu tulee kiinnittää

tyhjökammioon 12 teräsruuvilla M10, joiden luokka ei ole alle

8.8 (

= 800 N/mm

). Suosittelemme 22 Nm

kiristysmomenttia.

Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää

tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden

avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”. – liittestä.

Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical

Information" osassa.

KÄYTTÖ

Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet

löytyvät valvojan käsikirjasta.

Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.

Parempien rajapaineiden saavuttamiseksi pumpun kotelo

voidaan kuumentaa käyttämällä lisätilauksesta saatavaa

kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana

sisääntulolaipan ja roottorin lämpötila ei saa olla yli 120°C.

Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen.

VAARA!

Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin

kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan

henkilöiden loukkaantumisia.

HUOMIO!

Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai

jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia.

Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla

alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine).

HUOMIO!

Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan

aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.

HUOMIO!

Aggressiivisten kaasujen pumppausta varten nämä pumput on

varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kuljettaa pumppuun

ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan

(katso liite “Technical information”).

VAARA!

Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja

radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka

kaasuun sopivaa menettelytapaa.

Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.

HUOLTO

Sarjan Turbo-V2000HT pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa.

Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu

henkilö.

VAARA!

Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä

verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen

tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä

pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50°.

Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin

korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka

mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen

tilalle.

HUOMAUTUS

Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai

advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti

täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon

"Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä

ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää

pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.

Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa kansallisen

lainsäädännön määräämällä tavalla.

VAARA!

Älä koskaan aseta sormiasi tai muita esineitä turbopumpun

syöttöaukon sisään, sillä ne saattavat ruhjoutua pahasti.

Suosittelemme pikkuisen suojaverkon käyttöä

(valinnainen), mikäli syöttöaukossa käytetään

tärinänvaimenninta tai taipuisia metallipalkeita. Kiinnitä

turbopumppu aina jalustaan kiinni.

EI!

ODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHS

21 87-900-969-01

GENIKES PLHROFORIES

GENIKES PLHROFORIESGENIKES PLHROFORIES

GENIKES PLHROFORIES

Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj

qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj

egceir∂diou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h

Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj.

H Varian den f◊rei kam∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ

aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj

anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh pou

den sumfwne∂ me touj eidikoÚj eqnikoÚjkanonismoÚj.

Oi antl∂ej thj seir£j Turbo-V2000HT e∂nai strobilomoriak◊j

antl∂ej gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na

antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio ÿ aerioÚco sustatikÒ. E∂nai

akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn.

H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou

peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 33000 s.a.l.), h

opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r

uyhlÿj

apÒdoshj.

. Oi antl∂ej Turbo-V2000HT den peri◊coun rupantikoÚj

par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou

apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ.

Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej

plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th

di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j

plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø.

Aut

AutAut

AutÒ

ÒÒ

Ò to egceir

to egceir to egceir

to egceir∂

∂∂

∂dio crhsimopoie

dio crhsimopoiedio crhsimopoie

dio crhsimopoie∂

∂∂

∂ ti

ti ti

tij

j ak

ak ak

akÒ

ÒÒ

Òlouqe

louqelouqe

louqej

j sumb

sumb sumb

sumb£

££

£sei

seisei

seij¿

j¿j¿

j¿

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a

diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂

swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi

opo∂ej an den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na

prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun

apospaste∂ apÒ to ke∂meno.

APO

APOAPO

APOQHKEUSH

QHKEUSHQHKEUSH

QHKEUSH

Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai axiopist∂aj

twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na throÚntai oi exÿj

prodiagraf◊j¿

• kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqÿkeush twn antlièn

den pr◊pei na uperba∂nontai oi exÿj periballontik◊j sunqÿkej¿

• qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C

• scetikÿ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh)

• o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me ton

trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se

leitourg∂a gia prèth for£

• o crÒnoj apoqÿkeushj m∂aj strobilomoriakÿj antl∂aj e∂nai 10

mÿnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolÿj.

PROSOCH

PROSOCH PROSOCH

PROSOCH

E£n, gia opoiodÿpote lÒgo, o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai megalÚteroj,

crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto ergost£sio. Gia k£qe

plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnÿsete me thn topikÿ

antiproswpe∂a thj Varian.

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASHPROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

H antl∂a promhqeÚetai m◊sa se m∂a eidikÿ prostateutikÿ

suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na

◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te

to topikÒ tmÿma pwlÿsewn.

Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste

idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h

antl∂a.

Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ

anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj

E.O.K. 85/399 gia thn diafÚlaxh tou perib£llontoj.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh

aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai na

ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh

kat£llhlh prostas∂a.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

H antl∂a den katastr◊fetai an aplèj ekteqe∂ ston

atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn

kratÿsete kleistÿ m◊cri th stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto

sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ

th skÒnh.

EGKATASTASH

EGKATASTASHEGKATASTASH

EGKATASTASH

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

H antl∂a, lÒgw tou b£rouj thj, pr◊pei na metakinhqe∂

diam◊sou eidikèn ergale∂wn anÚywshj kai metak∂nhshj. En

an£gkh crhsimopoie∂te touj eidikoÚj kr∂kouj pou pr◊pei na

bidwqoÚn stij elikoeide∂j op◊j M8 ftiagm◊nej sto per∂blhma

thj antl∂aj.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Xekollÿste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ

kap£ki mÒno th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto

sÚsthma.

Bebaiwqe∂te Òti h antl∂a e∂nai kat£llhlh gia thn efarmogÿ

thj. H antl∂a ◊cei scediaste∂ gia th crÿsh se sustÿmata

£ntlhshj gia PVD ÿ genik£ gia efarmog◊j stij opo∂ej

apaite∂tai ◊na "kaqarÒ" kenÒ. Epikoinwnÿste me thn Varian

Vacuum Technologies ÿ me ton promhqeutÿ saj gia £llej

efarmog◊j.

ODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHS

22 87-900-969-01

H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na

crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj

par£gontej (brocÿ, p£go, ciÒni), skÒnej, polemik£ a◊ria, se

cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.

Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi

akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj:

- m◊g. p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh

- qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C

- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).

Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na

prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to

par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej

leptom◊reiej.

Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V2000HT pr◊pei

na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj elegkt◊j

Varian (seir◊j 969-9462, 969-9562) kai pr◊pei na e∂ nai

sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij

øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).

H tourmpoantl∂a mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote

q◊sh.

KINDUNOS

INDUNOSINDUNOS

INDUNOS!

Η στάθµη ισχύος που χορηγείται από την αντλία πρέπει να

προσαρµοστεί στον τύπο αντλούµενου αερίου. Ενεργώντας µέσω του

controller (βλέπε το εγχειρίδιο του controller) είναι δυνατό να επιλέξετε

ΑΕΡΑ ή ΑΡΓΟΝ (προεπιλ ο γή: ΑΡΓΟΝ). Για τη χρησιµοποίηση της

αντλίας µε διαφορετ ι κά αέρια παρακαλο ύµε να επικοινωνήσετε µε την

Varian.

Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th

fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza

ikanÿ na na

antistaqe∂ se ◊na zeÚgoj 30000 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj.

Η στροβιλαντλία µε φλάντζα εισόδου ISOF πρέπει να στερεωθεί

στο θάλαµο κενού δια µέσου 12 χαλύβδινων βιδών M10 όχι

κατώτερης κατηγορίας από 8.8 (σ

= 800 N/mm

). Συνιστάται µια

ροπή κλεισίµατος 22 Nm.

H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na

sterewqe∂ ston q£lamo kenoÚ m◊sw thj eidikÿj mikrotecn∂aj

Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma

"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".

Gia thn egkat£stash twn proairetikèn exarthm£twn, bl◊pe

"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".

CRHSH

CRHSHCRHSH

CRHSH

/Olej oi odhg∂ej gia gia th swstÿ leitourg∂a thj

tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio thj mon£daj

el◊gcou.

Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh.

Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na

qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton

proairetikÒ qermantÿra. Kat£ thn endecÒmenh q◊rmansh tou

qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a thJ fl£ntzaJ eisÒdou kai tou

rÒtora den pr◊pei na e∂nai anèterh apÒ 120°C. Kat£ th

q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh.

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£

thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂

na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra

ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh

eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh

apÒ 2 bar (p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh).

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ

metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se

leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta

kouzinevta.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH

Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai

efodiasm◊nej me m∂a eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai

anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (£zwto ÿ argÒn) gia

thn prostas∂a twn roulem£n (bl◊pe par£rthma øTecnik◊j

Plhrofor∂ejø).

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,

eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂ste tij kat£llhlej

diadikas∂ej eidik£ gia to k£qe a◊rio.

Mhn crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂aj ekrhktikèn aer∂wn.

SUNTHRHSH

SUNTHRHSHSUNTHRHSH

SUNTHRHSH

Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V2000HT de crei£zontai

kam∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai

apÒ exousiodothm◊no proswpikÒ.

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a,

aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn

antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da anam◊nete m◊cri thn

plÿrh akinhtopo∂hsh tou rÒtora kai perim◊nete m◊cri h

qermokras∂a thj epif£neiaj thj antl∂aj na e∂nai katèterh

apÒ 50° C.

Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto s◊rbij

episkeuèn Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”,

pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn

calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ

ÿ gia

advanced exchange service,

e∂nai apara∂thto na

sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o

Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai uge∂aø sunhmm◊no sto

parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei

na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn

apostolÿ.

Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na

katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj.

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Gia thn apofugÿ proswpikoÚ traumatismoÚ mh q◊tete

pot◊ gia kan◊na lÒgo, ta d£ktula ÿ £lla antike∂mena

sto stÒmio thj eisÒdou thj tourmpoantl∂aj.

SumbouleÚetai h crÿsh prostateutikoÚ ductioÚ

(proairetikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj sigastÿraj

kat£ twn donÿsewn ÿ ◊na mikrÒ elastikÒ fuserÒ sto

stÒmio thj eisÒdou, stereènete p£nta thn

tourmpoantl∂a sth b£sh.

OCIç

OCIçOCIç

OCIç

INSTRUCTIONS FOR USE

23 87-900-969-01

GENERAL INFORMATION

This equipment is destined for use by professionals. The user

should read this instruction manual and any other additional

information supplied by Varian before operating the equipment.

Varian will not be held responsible for any events occurring due

to non-compliance, even partial, with these instructions, im-

proper use by untrained persons, non-authorized interference

with the equipment or any action contrary to that provided for

by specific national standards.

The Turbo-V 2000HT series pumps are turbo-molecular pumps

for high and ultra-high vacuum applications and can pump any

type of gas or gas compound. They are not suitable for pump-

ing liquids or solid particles. The pumping action is obtained

through a high speed turbine (max. 33000 rpm) driven by a

high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 2000HT

pumps are free of contaminating agents and, therefore, are

suitable for applications requiring a "clean" vacuum.

The following paragraphs contain all the information necessary

to guarantee the safety of the operator when using the equip-

ment. Detailed information is supplied in the appendix "Techni-

cal Information".

This manual uses the following standard protocol:

WARNING!

The warning messages are for attracting the attention of the

operator to a particular procedure or practice which, if not fol-

lowed correctly, could lead to serious injury.

CAUTION

The caution messages are displayed before procedures which,

if not followed, could cause damage to the equipment.

NOTE

The notes contain important information taken from the text.

STORAGE

In order to guarantee the maximum level of performance and

reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following guide-

lines must be followed:

• when shipping, moving and storing pumps, the following

environmental specifications should not be exceeded:

• temperature range: -20 °C to 70 °C

• relative humidity range: 0 to 95% (non condensing)

• the turbomolecular pumps must be always soft-started

when received and operated for the first time by the cus-

tomer

• the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from

the shipping date.

CAUTION

If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has

to be returned to the factory. Please contact the local Varian

Vacuum Sales and Service representative for informations.

PREPARATION FOR INSTALLATION

The pump is supplied in a special protective packing. If this

shows signs of damage which may have occurred during

transport, contact your local sales office.

When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid

any kind of sudden impact or shock vibration to it.

Do not dispose of the packing materials in an unauthorized

manner. The material is 100% recyclable and complies with

EEC Directive 85/399.

CAUTION

In order to prevent outgassing problems, do not use bare

hands to handle components which will be exposed to vacuum.

Always use gloves or other appropriate protection.

NOTE

Normal exposure to the environment cannot damage the pump.

Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed

in the system, thus preventing any form of pollution by dust.

INSTALLATION

WARNING!

Cause its weight, the pump must be handled by means of suit-

able moving and handling tools.

Use the suitable handling kit eyebolts screwing them into the

M8 holes of the pump envelope.

CAUTION

Do not remove the adhesive and protective cap before

connecting the turbopump to the system.

INSTRUCTIONS FOR USE

24 87-900-969-01

Ensure that the pump is suitable for your application. The

pump is designed for PVD system pumping applications or

clean general vacuum applications. Contact Varian Vacuum

Technologies or your supplier if you want to use the pump on

any other application.

Do not install or use the pump in an environment exposed to

atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,

or in explosive environments or those with a high fire risk.

During operation, the following environmental conditions must

be respected:

− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure

− temperature: from +5 °C to +35 °C

− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

In the presence of magnetic fields the pump must be protected

using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical In-

formation" for detailed information.The Turbo - V 2000HT se-

ries pumps must only be used with one of the special Varian

controllers (series 969-9462, 969-9562) and must be con-

nected to a primary pump (see "Technical Information").

The turbopump can be installed in any position.

WARNING!

The power level to the pump must be set according to the

pumped gas. It is possible to select AIR or ARGON by means

of the controller (see the relevant instruction manual). Please

contact Varian if you want to use the pump with other gas

types.

Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet

flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of

withstanding a torque of 30000 Nm around its axis.

The turbopump with ISOF inlet flange must be fixed to the vac-

uum chamber by means of 12 M10 bolts with a strength class

at least of 8.8 (σ

= 800 N/mm

). A fixing torque of 22 Nm is

suggested.

The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the

vacuum chamber by means of the appropriate Varian hard-

ware. See the appendix "Technical Information" for a detailed

description.

For installation of optional accessories, see "Technical

Information".

USE

All the instructions for the correct use of the turbopump are

contained in the control unit manual.

Read the manual carefully before using the pump.

In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump

casing may be heated using the optional heater. While heating

the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed

120 °C. Always use the water cooling system during the heat-

ing operations.

WARNING!

Do not touch the turbopump or any of its accessories during

the heating process. The high temperatures may cause burns.

CAUTION

Use air or inert gas free from dust or particles for venting the

pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar

(above atmospheric pressure).

Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump

when in operation. The bearings may become damaged.

CAUTION

For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a

special port to allow a steady flow of inert gas (like N

, Ar) for

pump bearing protection (see the appendix "Technical Informa-

tion").

WARNING!

When employing the pump for pumping toxic, flammable, or

radioactive gases, please follow the required procedures for

each gas disposal.

Do not use the pump in presence of explosive gases.

MAINTENANCE

The Turbo-V 2000HT series pump does not require any main-

tenance. Any work performed on the pump must be carried out

by authorized personnel.

WARNING!

Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it

from the supply, vent the pump by opening the appropriate

valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the

surface temperature of the pump falls below 50 °C.

In the case of breakdown, contact your local Varian service

center who can supply a reconditioned pump to replace that

broken down.

NOTE

Before returning the pump to the constructor for repairs, or re-

placement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"

sheet attached to this instruction manual must be filled-in and

sent to the local sales office. A copy of the sheet must be in-

serted in the pump package before shipping.

If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accor-

dance with the specific national standards.

WARNING!

To avoid injury, never put fingers or any objects whatso-

ever in the inlet port of the turbopump. The use of the pro-

tective screen is strongly advised (optional extra). If a

vibration damper or flexible metallic bellows are used on

the inlet port, make sure that the pump is fixed to the base.

NO!

TECHNICAL INFORMATION

25 87-900-969-01

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP

The Turbo-V2000HT pump is available in two ver-

sions which differ only in their inlet flange.

They are:

− Model 969-9084 with ConFlat 12” external di-

ameter high vacuum flange

− Model 969-9059 with ISO F high vacuum flange

Model 969-9084

Model 969-9059

The Turbo-V2000HT pump consists of a high fre-

quency motor driving a turbine fitted with 8 bladed

stages and 4 Macrotorr stages. The turbine rotates

in an anticlockwise direction when viewed from the

high vacuum flange end.

The turbine is made of high-strength, light alumin-

ium alloy, and is machined from a single block of

aluminium. The turbine stages have seven differ-

ent angles, from 44° to 16°, while the Macrotorr

stages are in form of discs.

The turbine rotor is supported by permanently lu-

bricated high precision ceramic ball bearings in-

stalled on the forevacuum side of the pump.

The static blades of the stator are made of

stainless steel with five different blade angles from

44° to 16°. These are supported and accurately

positioned by spacer rings.

The Macrotorr stators are in the form of self-

positioning machined discs with pumping channels

and an opening restricted by the corresponding ro-

tor discs. These are made of aluminium alloy.

During normal operation, the motor is fed with a

voltage of 120 Vac three-phase at 550 Hz. To re-

duce losses during start-up to a minimum, the fre-

quency increases according to a ramp with a

higher initial voltage/frequency ratio.

A water cooling kit is available to cool down the

pump in the case where it is used under heavy

load or when the ambient temperature is insuffi-

cient for cooling purposes.

Two thermistor sensors are mounted near the

bearings to prevent the pump from overheating.

The thermistor sensors, the motor stator windings

and the earth are connected to a Turbo-V control-

ler through a 8 pin socket on the side of the pump.

The pump is balanced after assembly with a resid-

ual vibration amplitude less than 0.01 µm.

The pump can operate in any position and can be

supported on the high vacuum flange or on its

base. The connection of the forevacuum on the

side of the pump is a KF 40 flange.

TECHNICAL INFORMATION

26 87-900-969-01

TECHNICAL SPECIFICATION

The following figure shows the Turbo-V2000HT pump outline drawing. Dimensions are in inches [mm].

Pumping speed N

: 1950 l/s

He: 2000 l/s

: 1500 l/s

Compression ratio N

: >1 x 10

He: 2 x 10

: 2 x 10

Base pressure* Minimum with recommended

mechanical forepump:

1 x 10

-10

mbar (7.5 x 10

-11

Torr)

Inlet flange CFF 12" O.D.

ISO 250

Foreline flange KF 40 NW

Rotational speed 33000 RPM

Start-up time 10 minutes

Recommended

forepump

DS 602

TriScroll 600

Operating position Any

Cooling requirements Water

Max rotor temperature 120 °C

Operating ambient

temperature

+ 5° C to + 35° C

Coolant water minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM)

temperature: + 10° C to + 20° C

pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi)

Bakeout temperature 120° C max. at CF inlet flange

80° C max. at ISO inlet flange

Max permissible rotor

temperature

120 °C

Vibration level (dis-

placement)

< 0.01 µm at inlet flange

Input 120 Vac, three phase, 550 Hz

Lubricant permanent lubrication

Installation category II

Pollution degree 2

Storage temperature - 20° C to + 70° C

Weight kg (lbs) ISO 250: 44 (96.8)

CFF 12”: 55 (121)

* According to standard DIN 28 428, the base

pressure is that measured in a leak-free test dome,

48 hours after the completion of test dome bake-

out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange

and using the recommended pre-vacuum pump.

TECHNICAL INFORMATION

27 87-900-969-01

Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure

Graph of compression ratio vs foreline pressure

Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using

the recommended mechanical forevacuum pump

TECHNICAL INFORMATION

28 87-900-969-01

INLET SCREEN INSTALLATION

The inlet screens prevents the blades of the pump

from being damaged by debris greater than 3 mm

diameter. The inlet screen, however, will reduce

the pumping speed by about 20%.

The inlet screen is fitted in the upper part of the

pump, as shown in the figure and can be mounted

on each pump model.

The screen can be mounted on each pump model.

The inlet screen can be removed as shown in the

following figure.

The following figure shows the pump flange sec-

tions with the protection screen fitted on them. As

you can see, the overall dimensions do not change

as the inlet screen remains inside the pump profile.

WATER COOLING KIT INSTALLATION

Two types of water cooling kits are available to be

mounted when the pump is used under heavy load

conditions or when air cooling is insufficient.

The two model part numbers are: 969-9338 (metal-

lic model), and 969-9348 (plastic model).

Model 969-9338

Model 969-9348

! CAUTION

The items of the plastic model kit must be assem-

bled as shown in the following figure

The assembled kit must be screwed into the suit-

able holes of the pump body with a recommended

closing torque of 5 Nm.

TECHNICAL INFORMATION

29 87-900-969-01

Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic

hoses from the water supply must be fitted to the

two nozzles.

NOTE

These hoses must be held on the respective noz-

zles using hose clips to avoid that the tube(s) gets

loose or disconnected during operation.

Cooling may be carried out either through an open

circuit with eventual discharge of the water, or us-

ing a closed circuit cooling system.

The water temperature must be between +10°C

and +20°C, with an inlet pressure between 3 and 5

bar. This allows a flow of about 200 l/h.

NOTE

The water electrical conductance must be

≤

500

µs/cm. When the conductance is higher, in closed

water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole

is suggested.

The overall dimensions of the pump when

equipped with the water cooling kit mounted are

shown in the following figure (dimensions are in

inches [mm]).

TECHNICAL INFORMATION

30 87-900-969-01

VENT DEVICE INSTALLATION

The vent device mod. 969-9831 allows to avoid

undesired venting of the pump during a temporary

power failure (adjustable time up to 36 min.), and

enables an automatic vent operation.

Unscrew and remove the threaded plug (see figure

below).

Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, tak-

ing care of the o-ring right position.

Assemble the seal ring and lock the vent device in

position using the KF klamp.

VENT VALVE INSTALLATION

The vent valve mod. 969-9843 allows to avoid un-

desired venting of the pump during a temporary

power failure (5 sec maximum), and enables an

automatic vent operation.

Unscrew the threaded plug (see figure below).

Screw the vent valve into the pump without insert-

ing the supplied adapter between the valve and the

pump.

Tighten the valve using a 16 mm. hexagonal span-

ner with a torque of 2.5 Nm.

! CAUTION

Do not overtighten the valve as this may damage

the thread on the pump.

TECHNICAL INFORMATION

31 87-900-969-01

GAS PURGE VALVE INSTALLATION

A gas purge valve is available to protect the pump

bearings against particulate and corrosive gases

that could move into the pump.

To install the gas purge valve it is necessary to un-

screw the purge port cover as shown in the follow-

ing figure,

and then screw the gas purge valve (with a torque

of 2.5 Nm) as shown in the following figure.

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES

To prevent damage to the bearings, an inert gas

must flow into the pump body around the upper

bearing towards the forevacuum line.

To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the

pump through the purge port, connect a gas purge

valve between the pressure regulator and the

pump (see the following figure). Adjust the pres-

sure regulator in order to obtain the necessary gas

purge flow rate according to the application.

! CAUTION

To prevent bearing damage, Varian suggests the

following purge gas flow rates: 10 sccm (0.17 mbar

l/s) for a mild purge process, or 20 sccm (0.34

mbar l/s) for an heavy process. Please contact

Varian for specific applications.

The purge gas throughput with the recommended

forepump of 15 m

/h (11 CFM) allows to achieve a

high vacuum pressure in the 10

-9

mbar range.

The recommended gas flow maintains a pressure into

the pump body higher than the forevacuum pressure.

TECHNICAL INFORMATION

32 87-900-969-01

The recommended procedure to vent the system

and the pump avoiding the contact between the

pump bearings and the corrosive gas is described

in the following points:

1. Close the corrosive gas flow into the system.

2. Leaving the Turbo-V pump and the backing

pump running and the purge gas flowing, wait

for enough time to evacuate the corrosive gas

from the system.

3. Turn off the Turbopump.

4. Open the Turbo-V vent port slowly until to

reach atmospheric pressure in the system.

5. Turn off the Turbopump.

6. When the Turbo-V pump and the backing

pump are stopped and the system is at at-

mospheric pressure, for a better bearing pro-

tection it is advisable to leave the purge gas

flowing into the Turbo-V pump, with the

chamber or the Turbo-V vent valve opened, to

avoid system overpressures. If the vent valve

can't be kept opened, the backing pump

should be left operating.

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM

1. Turbo-V controller

2. Vent valve

3. Vacuum pump shut-off valve (optional)

4. System vent valve (optional)

5. Vacuum chamber

6. Ionisation gauge

7. Fore-vacuum pump connecting flange

8. Oil mist eliminator

9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve

10. Fore-vacuum pump control relay

11. Connection for water cooling

12. Roughing line with valve (optional)

13. Turbopump

14. Flexible connection

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE

To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,

remove the outer ring and position the centering

ring as shown in the figure.

Then fix the two flanges by means of 12 M10 steel

screws.

1. Purge gas line

2. Pressure regulator

3. Gas purge valve

4. Gas purge port

5. Forevacuum pump

6. Turbopump

7. Vent valve

TECHNICAL INFORMATION

33 87-900-969-01

For ConFlat flange connections we recommend

using Varian hardware. Other hardware can be

used if it satisfies to this specifications:

− stainless steel screws

− minimum strength point of 500 N/mm

− length: 63.5 mm (2.5 inches).

To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-

pro C-100 high temperature lubricant to the screw

threads protruding from the flange and between

the nuts and flange.

! CAUTION

Exercise care when tightening nuts and bolts to

avoid creating dents in the envelope as this may

cause the pump rotor to lock.

Connection B - FORE-VACUUM PUMP

A flange KF 40 NW is available to connect the Tur-

bopump to the fore-vacuum pump. A hose or vac-

uum approved pipe can be used. If a rigid pipe is

used, any vibration generated by the mechanical

pump must be eliminated through the use of bel-

lows.

NOTE

The Turbo pump is characterized by its high com-

pression ratio also for oil vapors. When using a

mechanical oil-sealed pump, it is advisable to in-

stall a suitable trap between the turbopump and the

fore-vacuum pump in order to prevent oil back-

streaming.

Connection C - ELECTRICAL

The turbopump is connected to the controller

through an 8-pin connector. Pins B, C and D are

the 3-phase supply to the motor, pins A and F are

connected to the upper bearing temperature sen-

sor, pins A and G are connected to the lower bear-

ing temperature sensor and pin E is connected to

the pump ground; pin H is not connected.

If one temperature sensor is disconnected, the

pump will not start. To prevent damage to the

pump when the temperature exceeds 60° C, the

sensor automatically cuts out the power supply.

TECHNICAL INFORMATION

34 87-900-969-01

MOVING THE GAS PURGE VALVE AND

FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS

All the pneumatic connections to the Turbo-

V2000HT pump can be moved to its bottom (see

the following figure).

To move the gas purge valve to the bottom of the

pump make the following steps:

1. Unscrew the gas purge valve from the side of

the pump

2. Unscrew the purge port cover on the bottom of

the pump and screw it on the side

3. Screw the gas purge valve (with a torque of 2.5

Nm) in the bottom of the pump.

To move the forevacuum pump flange to the bot-

tom of the pump make the following steps:

1. Unscrew the three screws that fix the forevac-

uum blank flange to the bottom of the pump

2. Unscrew the three screws that fix the forevac-

uum flange to the side of the pump

3. Fix the forevacuum flange to the bottom of the

pump using the relevant three screws

4. Fix the forevacuum blank flange to the side of

the pump using the relevant three screws.

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC

FIELDS

Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of

a turbomolecular pump that tend to oppose to its

rotation.

The result is increased electrical power consump-

tion by the motor, most of which is dissipated in the

rotor.

Since the rotor is not in contact with the stator the

above power can leave the rotor mainly by radia-

tion and hence the rotor may be overheated while

static parts of the pump remain cool. This effect is

strongly dependant from the intensity, time function

and distribution of the magnetic field. In general,

therefore, an increase in pump current can be ex-

pected.

If this increase is lower than 50% of the current

value drawn by the motor in high vacuum opera-

tion, no particular problem should be expected.

However if the effect is grater, than the case

should be carefully reviewed by Varian's specialist.

As a matter of fact, in case of high magnetic fields,

also important forces might be generated and ap-

plied to the rotor.

ACCESSORIES

DESCRIPTION PART NUMBER

Inlet screen 969-9350

Water cooling kit 969-9338

Plastic water cooling kit 969-9348

Vent flange NW 10 KF (M8) 969-9108

Vent valve with fixed delay time 969-9843

Vent device with adjustable delay

time

969-9831

Heavy duty vent valve 969-9842

Purge valve KF16-M12 10 SCCM 969-9239

Purge valve 7/16-M12 10 SCCM 969-9240

Purge valve KF16-M12 20 SCCM 969-9241

Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 969-9242

Triscroll Dry Vacuum Pump PTS

600 single phase, universal motor

PTS06001UNIV

Triscroll Dry Vacuum Pump PTS

600 3 phase, universal motor

PTS06003UNIV

Dual stage rotary vane pump DS

602 with single phase motor

949-9335

Dual stage rotary vane pump DS

602 with 3 phase motor

949-9336

For a complete overview of Varian's extensive

product lines, please refer to the Varian catalog.

Request for Return

1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,

signed and returned to Varian Customer Service.

2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).

3. The customer is expected to take the following actions to ensure the

Safety

of workers at Varian: (a) Drain any oils or

other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the

equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).

4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.

North and South America

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Ave

Lexington, MA 02421

Phone : +1 781 8617200

Fax: +1 781 8609252

Europe and Middle East

Varian SpA

Via Flli Varian 54

10040 Leini (TO) – ITALY

Phone: +39 011 9979111

Fax: +39 011 9979330

Asia and ROW

Varian Vacuum Technologies

Local Office

CUSTOMER INFORMATION

Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….

Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....

Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..

Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..

Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only:

Taxable

Non-taxable

Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...

……………..…………………... ..………………………………...

………………..………………... ..………………………………...

PRODUCT IDENTIFICATION

Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference

TYPE OF RETURN (check appropriate box)

Paid Exchange

Paid Repair

Warranty Exchange

Warranty Repair

Loaner Return

Credit

Shipping Error

Evaluation Return

Calibration

Other ……………….

HEALTH and SAFETY CERTIFICATION

Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or

RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.

The equipment listed above (check one):

HAS NOT

been exposed to any toxic or hazardous materials

HAS

been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that

equipment was exposed to, check all categories that apply:

Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive

List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.

.……………………………………………………………………………………………………………………..

Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….

Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……

NOTE:

If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,

the customer

will be held responsible

for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and

is liable

for any harm or injury to Varian

employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.

Do not write below this line

Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..

Request for Return

FAILURE REPORT

TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS

POSITION PARAMETERS

Does not start

Noise

Vertical

Power: Rotational Speed:

Does not spin freely

Vibrations

Horizontal

Current: Inlet Pressure:

Does not reach full speed

Leak

Upside-down

Temp 1: Foreline Pressure:

Mechanical Contact

Overtemperature

Other: Temp 2: Purge flow:

Cooling defective …………………. OPERATION TIME:

TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:

ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS

Bad feedthrough

Poor vacuum

Main seal leak

Bellows leak

Vacuum leak

High voltage problem

Solenoid failure

Damaged flange

Error code on display

Other

Damaged sealing area

Other

Customer application:

LEAK DETECTORS INSTRUMENTS

Cannot calibrate

No zero/high backround

Gauge tube not working

Display problem

Vacuum system unstable

Cannot reach test mode

Communication failure

Degas not working

Failed to start

Other

Error code on display

Other

Customer application:

PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS

Pump doesn’t start

Noisy pump (describe)

Heater failure

Electrical problem

Doesn’t reach vacuum

Over temperature

Doesn’t reach vacuum

Cooling coil damage

Pump seized

Other

Vacuum leak

Other

Customer application:

FAILURE DESCRIPTION

(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):

NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.

REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.

HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.

Sales and Service Offices

Argentina

Varian Argentina Ltd.

Sucursal Argentina

Av. Ricardo Balbin 2316

1428 Buenos Aires

Argentina

Tel: (54) 1 783 5306

Fax: (54) 1 786 5172

Australia

Varian Australia Pty Ltd.

679-701 Springvale Road

Mulgrave, Victoria ZZ 3170

Australia

Tel: (61) 395607133

Fax: (61) 395607950

Benelux

Varian Vacuum Technologies

Rijksstraatweg 269 H,

3956 CP Leersum

The Netherlands

Tel: (31) 343 469910

Fax: (31) 343 469961

Brazil

Varian Industria e Comercio Ltda.

Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644

Vila Olimpia

Sao Paulo 04548 005

Brazil

Tel: (55) 11 3845 0444

Fax: (55) 11 3845 9350

Canada

Central coordination through:

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Avenue

Lexington, MA 02421

USA

Tel: (781) 861 7200

Fax: (781) 860 5437

Toll Free: (800) 882 7426

China

Varian Technologies - Beijing

Room 1201, Jinyu Mansion

No. 129A, Xuanwumen Xidajie

Xicheng District

Beijing 1000031 P.R. China

Tel: (86) 10 6608 1530

Fax: (86) 10 6608 1534

France and Wallonie

Varian s.a.

7 avenue des Tropiques

Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12

Les Ulis cedex (Orsay) 91941

France

Tel: (33) 1 69 86 38 13

Fax: (33) 1 69 28 23 08

Germany and Austria

Varian Deutschland GmbH

Alsfelder Strasse 6

Postfach 11 14 35

64289 Darmstadt

Germany

Tel: (49) 6151 703 353

Fax: (49) 6151 703 302

India

Varian India PVT LTD

101-108, 1st Floor

1010 Competent House

7, Nangal Raya Business Centre

New Delhi 110 046

India

Tel: (91) 11 5548444

Fax: (91) 11 5548445

Italy

Varian Vacuum Technologies

Via F.lli Varian, 54

10040 Leini, (Torino)

Italy

Tel: (39) 011 997 9111

Fax: (39) 011 997 9350

Japan

Varian Vacuum Technologies

Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor

4-16-36 Shibaura

Minato-ku, Tokyo 108

Japan

Tel: (81) 3 5232 1253

Fax: (81) 3 5232 1263

Korea

Varian Technologies Korea, Ltd.

Shinsa 2nd Bldg. 2F

966-5 Daechi-dong

Kangnam-gu, Seoul

Korea 135-280

Tel: (82) 2 3452 2452

Fax: (82) 2 3452 2451

Mexico

Varian S.A.

Concepcion Beistegui No 109

Col Del Valle

C.P. 03100

Mexico, D.F.

Tel: (52) 5 523 9465

Fax: (52) 5 523 9472

Ta i w a n

Varian Technologies Asia Ltd.

18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road

Sec. 1, Hsi Chih

Taipei Hsien

Taiwan, R.O.C.

Tel: (886) 2 2698 9555

Fax: (886) 2 2698 9678

UK and Ireland

Varian Ltd.

28 Manor Road

Walton-On-Thames

Surrey KT 12 2QF

England

Tel: (44) 1932 89 8000

Fax: (44) 1932 22 8769

United States

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Avenue

Lexington, MA 02421

USA

Tel: (781) 861 7200

Fax: (781) 860 5437

Toll Free: (800) 882 7426

Other Countries

Varian Vacuum Technologies

Via F.lli Varian, 54

10040 Leini, (Torino)

Italy

Tel: (39) 011 997 9111

Fax: (39) 011 997 9350

Internet Users:

Customer Service & Technical Support:

vtt.customer.service@varianinc.com

Worldwide Web Site:

www.varianinc.com/vacuum

Order On-line:

www.evarian.com

Representatives in most countries

11/01

Transcripción de documentos

Turbo-V 2000HT pumps MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES 969-9084 series 969-9059 series MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS INSTRUCTION MANUAL 87-900-969-01 MAY 2003 Turbo-V 2000HT ISTRUZIONI PER L’USO .................................................................................................... 1 GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3 MODE D’EMPLOI ................................................................................................................ 5 INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7 INSTRUÇÕES PARA O USO.............................................................................................. 9 GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................. 11 BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13 BRUKSANVISNING .......................................................................................................... 15 BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19 PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21 INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23 TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25 TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26 INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28 WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................28 VENT DEVICE INSTALLATION...................................................................................................30 VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................30 GAS PURGE VALVE INSTALLATION.........................................................................................31 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................31 TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................32 Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .........................................................................32 Connection B - FORE-VACUUM PUMP ............................................................................33 Connection C - ELECTRICAL............................................................................................33 MOVING THE GAS PURGE VALVE AND FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS .................34 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ...............................................................34 ACCESSORIES ...........................................................................................................................34 ISTRUZIONI PER L’USO INFORMAZIONI GENERALI ! Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. Le pompe della serie Turbo-V2000HT sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (33000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V2000HT sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: ! ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. PERICOLO! I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. ! ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-chiatura. NOTA NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. IMMAGAZZINAMENTO Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: • durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: • temperatura: da –20 °C a 70 °C • umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante) • il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta • il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione. INSTALLAZIONE ! PERICOLO! La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento. All’uopo utilizzare gli appositi golfari da avvitare nei fori filettati M8 praticati sull’involucro della pompa. ! ATTENZIONE! Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema. ! ATTENZIONE! Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian. PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. 1 87-900-969-01 ISTRUZIONI PER L’USO Assicurarsi che la pompa sia adatta per la propria applicazione. La pompa è stata progettata per uso in sistemi di pompaggio per PVD o generalmente per applicazioni in cui si richieda un vuoto "pulito". Contattare Varian Vacuum Technologies o il vostro fornitore per altre applicazioni. Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. USO Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, le temperature della flangia di ingresso e del rotore non devono essere superiori a 120 °C. Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento. ! PERICOLO! Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. NO! ! ATTENZIONE! ! Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. PERICOLO! ! ATTENZIONE! Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione (opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base. Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica − temperatura: da + 5 °C a +35 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. ! In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V2000HT devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian (serie 969-9462, 969-9562) e devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione. ! PERICOLO! MANUTENZIONE Le pompe della serie Turbo-V2000HT non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. ! PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C. PERICOLO! Il livello di potenza fornito alla pompa va adattato al tipo di gas pompato. Agendo attraverso il controller (vedere il manuale del controller) è possibile selezionare ARIA o ARGON (default: ARGON). Per utilizzare la pompa con gas diversi si prega di contattare la Varian. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta. Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 30000 Nm attorno al proprio asse. La turbopompa con flangia di ingresso ISOF deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di 12 viti M10 di acciaio di classe non inferiore a 8.8 (sr = 800 N/mm2). Si suggerisce una coppia di chiusura di 22 Nm. La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione. Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. 2 87-900-969-01 GEBRAUCHSANLEITUNG Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz. ALLGEMEINES Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Bei den Pumpen der Serie Turbo-V2000HT handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hochund Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung von jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsdrehturbine (max. 33000 U/Min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-V2000HT -Pumpen enthalten keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: ! ! ACHTUNG! Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten Schutz tragen. GEFAHR! Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können. ! ACHTUNG! Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können. ANMERKUNG ANMERKUNG Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubverschmutzungen zu vermeiden. Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. LAGERUNG INSTALLATION Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: • Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: • Temperatur: von –20 °C bis 70 °C • Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend) • Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen. • Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum. ! GEFAHR! Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe nur mit entsprechend geeigneten Geräten angehoben und transportiert werden. Zu diesem Zweck sind die dafür vorgesehenen Ringschrauben zu verwenden, die in die Gewindebohrungen M8 am Pumpengehäuse einzuschrauben sind. ! ACHTUNG! Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim Anschluß der Turbopumpe an die Anlage. !ACHTUNG! Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Varian Vertreter. VOR DER INSTALLATION Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden. Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. 3 87-900-969-01 GEBRAUCHSANLEITUNG Überprüfen, dass die Pumpe für die betreffende Anwendung geeignet ist. Die Pumpe wurde für den Gebrauch in PVDPumpsystemen und im Allgemeinen für Anwendungen, bei denen ein “sauberes” Vakuum erforderlich ist, konzipiert. Für anderweitige Anwendungen ist mit Varian Vacuum Technologies oder mit Ihrem Lieferanten Rücksprache zu halten. Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht. ANWENDUNG Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten. Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen werden. Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden. Während der eventuellen Erwärmung der Vakuumkammer darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors 120°C nicht überschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten. ! GEFAHR! Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht Verbrennungsgefahr. NEIN! ! ACHTUNG! Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphärischen Druck sein. ! ! GEFAHR! Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert. ! ACHTUNG! Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt werden darf (siehe Anhang "Technical Information"). Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: - Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck - Temperatur: von +5°C bis +35°C - Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend) Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information”. Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000HT dürfen nur mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9462, 9699562) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden. ! ACHTUNG! Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. ! GEFAHR! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen befolgt werden. Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven Gasen. WARTUNG Die Pumpen der Serie Turbo-V2000HT sind wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. GEFAHR! Die von der Pumpe gelieferte Leistungsstärke ist an den zu pumpenden Gastyp anzupassen. Über den Controller (siehe Betriebsanleitung des Controllers) kann LUFT oder ARGON (Default: ARGON) ausgewählt werden. Für die Verwendung der Pumpe mit anderweitigen Gasen ist mit Varian Rücksprache zu halten. ! GEFAHR! Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften, warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist. Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch anschließen, der ein Drehmoment von 30000 Nm um seine eigene Achse aushält. Die Turbopumpe mit ISOF Eintrittsflansch ist an der Vakuumkammer mit 12 Schrauben M10 aus Stahl mind. Klasse 8.8 2 (sr = 800 N/mm ) zu befestigen. Es wird ein Schließmoment von 22 Nm empfohlen. Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information". Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information“. Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian advanced exchange service" in Anspruch genommen werden. ANMERKUNG Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden. Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen. 4 87-900-969-01 MODE D’EMPLOI Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement. INDICATIONS GENERALES Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Les pompes de la série Turbo-V2000HT sont des pompes turbomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (33000 tr/min maxi), actionnée par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Les pompes TurboV2000HT sont totalement exemptes d'agents polluants et sont par conséquent indiquées pour des applications exigeant un vide "propre". Les paragraphes suivants donnent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information". Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: ! ! ATTENTION ! En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. DANGER! Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. ! ATTENTION ! Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage. NOTE La pompe ne peut être endommagée en restant simplement exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute pollution due à la poussière. NOTA Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du texte. INSTALLATION STOCKAGE Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : • Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: • température : de –20 °C à +70 °C • humidité relative : de 0 à 95% (non condensante) • A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start. • Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d'expédition. ! DANGER! ! ATTENTION! Compte tenu de son poids, la pompe doit toujours être maniée à l'aide d'appareils de levage et de manutention spéciaux. Si nécessaire, utiliser les anneaux de levage après les avoir préalablement vissés dans les orifices filetés M8 pratiqués sur le corps de la pompe. Ne retirer le ruban adhesiv et le couvercle de protection qu’au moment du branchement de la turbopompe au systéme. ! ATTENTION! En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Varian de zone. PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration. 5 87-900-969-01 MODE D’EMPLOI Assurez-vous que la pompe est adaptée à l'application à laquelle vous la destinez. La pompe a été conçue pour être utilisée dans des systèmes de pompage pour PVD ou d'une façon plus générale pour des applications impliquant un vide "propre". Pour toute autre application, veuillez contacter Varian Vacuum Technologies ou votre fournisseur habituel. Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux explosifs ou à risque élevé d'incendie. UTILISATION Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre du vide, la température de la bride d'entrée et celle du rotor ne doivent pas dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage. ! DANGER! Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut causer des lésions aux personnes. NON! ! ATTENTION ! Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique. ! ATTENTION ! ! Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer. DANGER! Pour éviter tout risque de lésion aux personnes, ne jamais introduire, sous aucun prétexte, ni les doigts ni aucun objet dans la bouche de la turbopompe. Il est conseillé d’utiliser le filet de protection fourni en option. En cas d’utilisation d’un amortisseur de vibrations ou d’un soufflet métallique flexible sur la bouche d’entrée, toujours bien fixer la turbopompe à sa base. ! ATTENTION ! Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical Information"). Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: - pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique - température: de +5°C° à +35°C - humidité relative: 0 - 95% (non condensante) En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information". Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V2000HT ne doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux Varian (série 969-9462, 969-9562) et elles doivent être connectées à une pompe primaire (voir schéma dans "Technical Information"). La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position. ! ! DANGER! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. ENTRETIEN Les pompes de la série Turbo-V2000HT n'exigent aucun autre entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel agréé. ! DANGER! Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C. DANGER! Le niveau de puissance fourni à la pompe doit être adapté au type de gaz pompé. Le contrôleur (voir manuel correspondant) permet de sélectionner AIR ou ARGON (par défaut : ARGON). Pour l'utilisation de la pompe avec des gaz différents, veuillez contacter Varian. En cas de panne, il est possible de s'adresser au service réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la pompe endommagée. Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de 30000 Nm autour de son axe. La turbo pompe avec collerette d’entrée ISOF doit être fixée à la chambre à vide à l’aide de 12 vis M10 en acier d’une classe 2 de résistance minimum de 8.8 (sr = 800 N/mm ). Il est conseillé de serrer à un couple de 22 Nm. La turbopompe à bride d'entrée Conflat doit être fixée à la chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet effet. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information". Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical Information". NOTE Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales en la matière. 6 87-900-969-01 INSTRUCCIONES DE USO INFORMACIÓN GENERAL ! Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las normas nacionales específicas. Las bombas de la serie Turbo-V2000HT son bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto y pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene a través de una turbina que gira a gran velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de grandes prestaciones. En las bombas Turbo-V2000HT no hay agentes contaminantes y, por lo tanto, son apropiadas incluso para las aplicaciones que necesitan un vacío "limpio". En los párrafos siguientes se indica toda la información necesaria para garantizar la seguridad del operador durante el uso del equipo. Una información más detallada se facilita en el Suplemento "Technical Information". Este manual utiliza los símbolos convencionales siguientes: ! ¡ATENCIÓN! Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada. ¡PELIGRO! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. ! ¡ATENCIÓN! Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo. NOTA NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto. La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar una posible contaminación debida al polvo. ALMACENAMIENTO Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: • durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: • temperatura: entre –20 °C y 70 °C; • humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante); • el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; • el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. ! INSTALACIÓN ! ¡PELIGRO! La bomba, a causa de su peso, ha de manejarse mediante herramientas de levantamiento y desplazamiento específicas. Para este fin se utilizan las respectivas armellas, que deben ser atornilladas en los agujeros roscados M8 presentes en la cubierta de la bomba. ! ¡ATENCIÓN! Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento en que se conecte la turbobomba al sistema. ¡ATENCIÓN! En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Varian. PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN La bomba se suministra en un embalaje de protección dimensional; si se observan señales de daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta más cercana. Durante la operación de desembalaje, prestar una atención especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes. No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente. 7 87-900-969-01 INSTRUCCIONES DE USO Verificar que la bomba sea adecuada para el uso que de ella se desea hacer. La bomba ha sido proyectada para empleo en sistemas de bombeo para PVD o para aplicaciones en las que generalmente se requiere un vacío “limpio”. Respecto de otras aplicaciones sírvase contactar con Varian Vacuum Technologies o con su proveedor. No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio. UTILIZACIÓN Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla. Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional. Durante el eventual calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada y del rotor no debe superar nunca 120 ºC. Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento. ! ¡PELIGRO! No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. NO! ! ¡ATENCIÓN! Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión atmosférica. ! ! ¡ATENCIÓN! ¡PELIGRO! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre la turbobomba a la base. ! ¡ATENCIÓN! Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice “Technical Information”). Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las condiciones ambientales siguientes: - presión máxima: 2 bar por encima de la presión atmosférica - temperatura: de +5°C a + 35°C - humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora). Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice “Technical Information” para más detalles. Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V2000HT se deberán utilizar sólo con uno de los controladores apropiados Varian (serie 969-9462, 969-9562) y se deberán acoplar a una bomba primaria (véase esquema en "Technical Information". La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. ! ! ¡PELIGRO! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo-V2000HT no necesitan ningún mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada por personal autorizado. ¡PELIGRO! ! El nivel de potencia suministrado a la bomba debe ser predispuesto en función del tipo de gas bombeado. Operando mediante el controller (véase el manual del controller) es posible seleccionar AIRE o ARGON (por defecto: ARGON). Para utilizar la bomba con otros tipos de gases sírvase contactar previamente con Varian. ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba, desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50 ºC. Fijar la turbobomba en posición estable acoplando la brida de entrada de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda soportar un par de 30000 Nm alrededor de su eje La turbobomba con brida de entrada ISOF debe ser fijada a la cámara de vacío mediante 12 tornillos M10 de acero de clase no inferior a 8.8 (sr = 800 N/mm2). Se sugiere aplicar un par de apriete de 22 Nm. La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la cámara de vacío mediante accesorios mecánicos Varian. Para más detalles véase el apéndice “Technical Information”. Para la instalación de los opcionales, véase “Technical Information”. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada. NOTA Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o "advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de "Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje de la bomba antes de enviarla. En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su eliminación respetando las normas nacionales específicas. 8 87-900-969-01 INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS ! ATENÇÃO! Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela eventual inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. As bombas da série Turbo-V2000HT são bombas turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, e são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (33000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico de três fases de alto rendimento. As bombas TurboV2000HT são totalmente sem agentes contaminadores e, portanto, são adequadas para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do técnico durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções: ! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. PERIGO! As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões pessoais. ! ATENÇÃO! NOTA As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não observados, poderiam causar danos à aparelhagem. A bomba não pode ser danificada permanecendo simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para evitar que se suje com poeiras. NOTA As notas contêm informações importantes destacadas do texto. INSTALAÇÃO ARMAZENAGEM ! Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas as seguintes prescrições: • durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: • temperatura: de –20 °C a 70 °C • umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante) • ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start • o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição. PERIGO! A bomba, devido ao seu peso, deve ser manejada utilizando ferramentas específicas de levantamento e deslocamento. Se for preciso, utilizar os pinos de olhal a aparafusar nos furos com rosca M8 posicionados na embalagem da bomba. ! ATENÇÃO! Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no momento da ligação da turbobomba ao sistema. !ATENÇÃO! Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Varian. PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. 9 87-900-969-01 INSTRUÇÕES PARA O USO Assegure-se de que a bomba é idónea para o tipo de aplicação desejado. A bomba foi concebida para o uso em sistema de bombeamento para PVD ou, em geral, para aplicações que necessitam de vácuo “limpo”. Para quaisquer outros tipos de aplicação, contacte a Varian Vacuum Technologies ou o seu fornecedor de confiança. Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. UTILIZAÇÃO Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler atentamente este manual antes da utilização. Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante a fase de aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura da flange de entrada e do rotor não deve ultrapassar 120 °C. Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações de aquecimento. ! PERIGO! Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. NÃO! ! ATENÇÃO! Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão atmosférica). ! ! Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. PERIGO! Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção (opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar sempre a turbobomba à base. ! ATENÇÃO! Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical Information"). Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: - pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica - temperatura: de + 5ºC a + 35ºC - humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical Information" para maiores detalhes. As bombas turbomoleculares da série Turbo-V2000HT devem ser utilizadas somente com um dos controladores Varian específicos (série 969-9462, 969-9562) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver esquema em "Technical Information"). A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. ! ATENÇÃO! ! PERIGO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. MANUTENÇÃO As bombas da série Turbo-V2000HT não requerem qualquer manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por pessoal autorizado. ! PERIGO! PERIGO! Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC. O nível de potência fornecido à bomba deve ser o indicado para o tipo de gás aspirado. Operando com o controller (consultar o manual do controller) é possível seleccionar AR ou ARGON (pré-definido: ARGON). Para utilizar a bomba com outros tipos de gases, consultar a Varian. Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito. Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque de 30000 Nm ao redor do próprio eixo. A turbobomba com flange de entrada ISOF deve ser fixada à câmara de vácuo através de 12 parafusos M10 de aço, classe não inferior a 8,8 (sr = 800 N/mm2). Aconselhamos um torque de aperto de 22 Nm. A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice "Technical Information". Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical Information”. NOTA Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou advanced exchange service, é indispensável preencher e enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da expedição. Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. 10 87-900-969-01 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399. ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De pompen van de serie Turbo-V2000HT zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 33000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-V2000HT pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information". Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen: ! ! ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. GEVAAR! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. ! ATTENTIE! Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. OPMERKING OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. OPSLAG Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: • tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: • temperatuur: van –20 °C tot 70 °C • relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend) • de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld • de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum. INSTALLATIE ! GEVAAR! De pomp moet, in verband met haar gewicht, met speciale hefen vervoerswerktuigen verplaatst worden. Gebruik voor dit doel de specifieke hijsogen die in de M8 schroefdraadopeningen in het pompomhulsel geschroefd moeten worden. ! ATTENTIE! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. !ATTENTIE! Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Varian. UITPAKKEN De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of stoten te verduren krijgt. 11 87-900-969-01 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Controleer of de pomp geschikt voor de eigen toepassing is. De pomp is ontworpen voor gebruik binnen PVD pompsystemen of in het algemeen voor toepassingen waarvoor een “schoon” vacuüm is vereist. Neem contact op met Varian Vacuum Technologies of uw leverancier voor andere toepassingen. De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. GEBRUIK Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door. Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis verwarmd worden met behulp van een optionele verwarmingsunit. Tijdens het eventuele verwarmen van de vacuümkamer, mag de temperatuur van de ingangsflens en de rotor niet meer dan 120 °C bedragen. Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe. ! GEVAAR! Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. NEE! ! ATTENTIE! Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmsoferische druk) bedragen. ! ! GEVAAR! Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening van de turbopomp worden gestoken. Men raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen. ! ATTENTIE! Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information"). Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: - max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk - temperatuur: van +5°C tot +35°C - relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De turbomoleculaire pompen van de serie V2000HT mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale Varian controllers (serie 969-9462, 969-9562) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in "Technical information"). De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd. ! ATTENTIE! Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. ! GEVAAR! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. ONDERHOUD De pompen van de serie Turbo-V2000HT zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. ! GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt . GEVAAR! Het aan de pomp geleverde krachtniveau moet aangepast worden aan het gepompte gastype. Het is mogelijk om met behulp van de controller (zie de handleiding van de controller) LUCHT of ARGON te kiezen (default: ARGON). Neemt u a.u.b. contact op met Varian als u andere gastypes wilt gebruiken. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 30000 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De turbopomp met ISOF ingangsflens moet bevestigd worden aan de vacuümkamer met behulp van 12 M10 stalen bouten met een sterkteklassse van niet minder dan 8.8 (sr = 800 N/mm2). Men adviseert een aanhaalkoppel van 22 Nm. De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical information". Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 12 87-900-969-01 BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION ! VIGTIGT ! Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige normer. Turbo-V2000HT serien omfatter turbomolekulære pumper til højvakuum og til ultra-højvakuum. Pumperne er i stand til at pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til at pumpe væsker eller faste partikler. Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved høj hastighed (max. 33000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000HT pumperne er fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum. I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information ". I denne håndbog findes følgende regler: ! For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid handsker eller anden passende beskyttelse. ADVARSEL! Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt. ! VIGTIGT ! Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret. BEMÆRK BEMÆRK Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger. Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i anlægget. OPBEVARING Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Varian: • Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: • temperatur: fra –20 °C til +70 °C, • relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende). • Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang. • De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. MONTERING ! ADVARSEL! Grundet dens vægt må pumpen kun håndteres ved hjælp af dertil bestemt løfte- og flytningsudstyr. I forbindelse med løft anvendes øjeboltene, der fastspændes i de gevindskårne huller M8 på pumpens beklædning. ! VIGTIGT ! Tapen og beskyttelsesproppen turbopumpen sluttes til systemet. !VIGTIGT! må først fjernes, når Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian repræsentant. FORBEREDELSE TIL MONTERING Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse, der kan være sket under transporten. Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til den under udpakningen. Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er genbrugsmateriale i overensstemmelse med direktivet 85/399/EØF vedrørende miljøbeskyttelse. 13 87-900-969-01 BRUGSANVISNING ANVENDELSE Kontrollér, at pumpen er egnet til den konkrete brug. Pumpen er projekteret til brug i pumpesystemer til PVD eller generelt til anvendelse, der kræver et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vacuum Technologies eller forhandleren, hvis pumpen skal benyttes til andre former for brug. Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller stor brandfare. Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er beskrevet i håndbogen til kontrolenheden. Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen. For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen opvarmes. I forbindelse med eventuel opvarmning af vakuumkammeret må temperaturen for indgangsflangen og rotoren ikke overskride 120° C. Brug altid vandafkøling under opvarmningen. ! ADVARSEL! Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage kvæstelser på personer. NEJ! ! VIGTIGT! Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar. ! VIGTIGT! ! Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. ADVARSEL! ! VIGTIGT! For at undgå personskader må fingre eller andre genstande aldrig indsættes i turbopumpens indløbsdysen. Det anbefales at anvende beskyttelsesnettet (optional). Såfremt der anvendes en befugter eller en blæsebælg af metal på indløbsdysen, skal turbopumpen altid fastgøres til basen. Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”). ! Følgende betingelser skal overholdes under driften: - maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk) - temperatur: fra +5°C til +35°C - relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende). Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag “Technical Information” for yderligere detaljer. Turbomolekulærpumperne i Turbo-V2000HT serien må kun anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9462, 969-9562) og skal forbindes med en primær pumpe (se skemaet i "Technical Information"). Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. ! ADVARSEL! Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte gastype strengt overholdes. Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer. VEDLIGEHOLDELSE Pumperne af Turbo-V2000HT typen behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! ! Pumpens effektniveau skal tilpasses i forhold til den pumpede gastype. Ved at benytte styreenheden (se brugsanvisningen for styreenheden) er det muligt at vælge LUFT eller ARGON (standardindstilling: ARGON). Kontakt venligst Varian, hvis pumpen skal benyttes til andre gastyper. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen, skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end 50°C. Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et drejningsmoment på 30000 Nm omkring aksen. Turbopumpen med ISOF indgangsflange skal monteres på vakuumkammeret ved hjælp af 12 M10 stålskruer (min. styrkeklasse 8,8 (σr = 800 N/mm2)). Anbefalet tilspændingsmoment: 22 Nm. Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele fra Varian. For detaljer henvises til ”Technical Information”. Se "Technical Information" for montering af optionals. Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. BEMÆRK Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen "Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen. Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. 14 87-900-969-01 i BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Pumparna i Turbo-V2000HT-serien är turbomolekylära pumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga tillsatsämnen används i Turbo-V2000HT -seriens pumpar, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information". I bruksanvisningen används följande standardrubriker: ! VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. OBSERVERA ! VIKTIGT ! Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen. Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå. OBSERVERA INSTALLATION Detta visar på viktig information i texten. ! FÖRVARING VARNING! Med tanke på pumpens vikt får den endast hanteras med hjälp av därtill avsedda lyft- och flyttningsanordningar Skruva om det behövs i öglebultarna i de gängade hålen M6 på pumpens hölje. Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar: • Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: • Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. • Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). • Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången. • De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. ! VIKTIGT ! Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till systemet. ! VIKTIGT ! Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala Varian-återförsäljaren för ytterligare information. FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd. Kontrollera att pumpen är lämplig för dess användningsområde. Pumpen är konstruerad för användning i pumpsystem för PVD eller vanliga användningsområden som kräver ett "rent" vakuum. Kontakta Varian Vacuum Technologies eller din leverantör om pumpen ska användas för andra ändamål. ! VIKTIGT ! Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. 15 87-900-969-01 BRUKSANVISNING ANVÄNDNING Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i styrenhetens bruksanvisning. Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen. För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under eventuell uppvärmning av tryckkammaren ska temperaturen för ingångsflänsen och rotorn inte överstiga 120 °C. Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas. NEJ! ! VARNING! Vidrör inte turbopumpen eller några uppvärmningen för att undvika brännskador. tillbehör under ! VIKTIGT! Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över atmosfäriskt tryck). ! ! VIKTIGT! VARNING! För att undvika personskador får du aldrig sticka in fingrarna eller andra föremål i turbopumpens intagsöppningar. Vi rekommenderar användning av skyddsnätet (tillval). Om en vibrationsdämpare eller en flexibel metallbälg används för intagsöppningen, måste turbopumpen alltid fästas till fundamentet. Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. ! VIKTIGT! För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan “Technical information”). Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: - maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) - temperatur: från +5°C till +35°C - relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens). ! I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Turbomolekylärpumparna i serien V2000HT måste användas med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9462, 9699562), och anslutas till en förpump (se schemat " Technical information "). Turbopumpen kan installeras i valfri position. ! VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. UNDERHÅLL Pumparna i Turbo-V2000HT-serien är underhållsfria. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Pumpens effektnivå ska anpassas till pumpad gastyp. Använd styrenheten (se styrenhetens bruksanvisning) för att välja LUFT eller ARGON (standardinställning: ARGON). Kontakta Varian om pumpen ska användas till andra gastyper. ! VARNING! Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 30000 Nm runt den genomgående axeln. Turbopumpen med inloppsfläns ISOF ska fästas vid vakuumkammaren med hjälp av 12 stålskruvar M10 med min. hållfasthetsklass 8.8 (sr = 800 N/mm2). Rekommenderat åtdragningsmoment 22 Nm. Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga ”Technical Information” Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical Information”. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad pump. OBSERVERA Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning. 16 87-900-969-01 BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON MERK Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. Turbo-V2000HT serien med pumper er turbo-molekulære pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 33000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000HT pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ! Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. ! FORSIKTIG ! Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. INSTALLASJON LAGRING ! For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: • Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: • Temperatur: fra –20 °C til 70 °C. • Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering). • Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang. • Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. ADVARSEL! Med tanke på pumpens vekt skal den bare håndteres ved bruk av dertil egnede løfte- og flyttingsanordninger. Ved behov må man bruke øyeboltene som skal skrues fast i de gjengete hullene M8 på pumpehuset. ! FORSIKTIG ! Fjern tapen og ta ut beskyttelsesproppen først når turbopumpen skal sluttes til systemet. !FORSIKTIG! Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Varian-forhandleren for informasjon. KLARGJØRE TIL INSTALLASJON Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. Forsikre deg om at pumpen er egnet for bruken. Pumpen er produsert for å brukes i pumpesystemer for PVD, eller generelt hvor det kreves et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vacuum Technologies eller din forhandler for annet bruk. Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. ! FORSIKTIG ! For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. 17 87-900-969-01 BRUKERVEILEDNING Under bruk må følgende forhold respekteres: - maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) - temperatur: fra +5°C til +35°C - relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens). BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i kontrollenhetens manual. Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk. For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en varmer som kan fås som ekstrautstyr. I tilfelle trykkammeret varmes opp, må ikke temperaturen til inngangsflensen og rotoren overskride 120°C. Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen.. NEI! ! ADVARSEL! Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. ! FORSIKTIG! Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). ! ! FORSIKTIG! ADVARSEL! For å unngå personskader må du aldri stikke inn fingrene eller annet i turbopumpens inngangsåpning. Vi anbefaler bruk av beskyttelsesnettet (tilbehør). Dersom en vibrasjonsdemper eller en fleksibel metallbelge brukes på inngangsåpningen må turbopumpen alltid festes til fundamentet. Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades. ! FORSIKTIG! Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Teknisk informasjon”). Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. Turbo-V2000HT serien turbo-molekulære pumper må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 9699462, 969-9562), og må koples til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon "). Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. ! av ! ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. ADVARSEL! Effektnivået til pumpen må stilles inn i forhold til gassen som pumpes. Det er mulig å velge LUFT eller ARGON ved hjelp av styreenheten (se styreenhetens veiledning) (standardinnstilling: ARGON). Ta kontakt med Varian dersom pumpen skal brukes til andre gasstyper. VEDLIKEHOLD Turbo-V2000HT serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på pumpen må kun utføres av autorisert personell. Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en koplingsflens med et dreiemoment på 30000 Nm rundt aksen. Turbopumpen med ISOF inngangsflens må festes til vakuumkammeret med 12 M10 stålskruer med en styrkeklasse på minst 8.8 (sr = 800 N/mm2). Det anbefales et strammemoment på 22 Nm. Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Varian. For detaljer henvises det til “Technical Information”. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk informasjon. ! ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50°C. Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte pumpen. MERK Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen som sendes tilbake. Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. 18 87-900-969-01 KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA ! HUOMIO ! Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. Turbo-V2000HT sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja, jotka on tarkoitettu korkean ja ultrakorkean tyhjiön muodostamiseen. Ne soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai kaasuseosten pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaukseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (33000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori käynnistää. Turbo-V2000HT sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical Information ". Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: ! Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen. VAARA! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. ! HUOMIO! HUOMAUTUS Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen pölyltä. HUOMAUTUKSET Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot. ASENNUS VARASTOINTI ! Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: • Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: • lämpötila: -20 °C - 70 °C. • suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä). • Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. • Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. VAARA! Ajatellen pumpun painoa, tätä tulee käsitellä ainoastaan siihen tarkoitetulla nosto- ja siirtolaitteiston avulla. Käytä tarvittaessa tarkoitukseen olevia nostosilmukoita, jotka tulee kiertää pumpun rungossa oleviin kierteisiin M8 reikiin. ! HUOMIO ! Poista tarra ja irrota suojakorkki vasta silloin, kun yhdistät turbopumpun järjestelmään. !HUOMIO! Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varianedustajalta. VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä ympäristön suojelusta. 19 87-900-969-01 KÄYTTÖOHJEET Varmista, että pumppu soveltuu tarkoitettuun käyttöön. Pumppu on suunniteltu käytettäväksi PVDpumppausjärjestelmissä tai yleensä tarkoituksiin, joissa vaaditaan "puhdasta" tyhjiötä. Ota yhteys Varian Vacuum Technologies -yritykseen tai jälleenmyyjään, jos pumppua halutaan käyttää muihin tarkoituksiin. Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. KÄYTTÖ Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet löytyvät valvojan käsikirjasta. Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa. Parempien rajapaineiden saavuttamiseksi pumpun kotelo voidaan kuumentaa käyttämällä lisätilauksesta saatavaa kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan ja roottorin lämpötila ei saa olla yli 120°C. Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen. ! VAARA! Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan henkilöiden loukkaantumisia. EI! ! HUOMIO! Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine). ! HUOMIO! ! Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. VAARA! ! HUOMIO! Älä koskaan aseta sormiasi tai muita esineitä turbopumpun syöttöaukon sisään, sillä ne saattavat ruhjoutua pahasti. Suosittelemme pikkuisen suojaverkon käyttöä (valinnainen), mikäli syöttöaukossa käytetään tärinänvaimenninta tai taipuisia metallipalkeita. Kiinnitä turbopumppu aina jalustaan kiinni. Aggressiivisten kaasujen pumppausta varten nämä pumput on varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kuljettaa pumppuun ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan (katso liite “Technical information”). ! Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: - maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine - lämpötila: + 5°C - +35°C - suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä). Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information“-liitteestä. Sarjan V2000HT turbomolekyylipumppuja tulee käyttää ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 9699462, 969-9562) ja niiden täytyy olla yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information"). Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. ! VAARA! Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka kaasuun sopivaa menettelytapaa. Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. HUOLTO Sarjan Turbo-V2000HT pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa. Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu henkilö. ! VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50°. VAARA! Pumpun antama tehotaso tulee sovittaa pumpattuun kaasutyyppiin. Valitse valvojan (ks. valvojan käsikirja) avulla ILMA tai ARGON (oletus: ARGON). Jos haluat käyttää pumppua muilla kaasuilla, ota yhteys Varian-yritykseen. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen tilalle. Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kannattaa 30000 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen kiinnittämiseen. ISOF-imulaipalla varustettu turbopumppu tulee kiinnittää tyhjökammioon 12 teräsruuvilla M10, joiden luokka ei ole alle 8.8 (sr = 800 N/mm2). Suosittelemme 22 Nm kiristysmomenttia. Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”. – liittestä. Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical Information" osassa. HUOMAUTUS Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, lainsäädännön määräämällä tavalla. 20 toimikaa kansallisen 87-900-969-01 ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES ! PROSOCH Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj egceir∂diou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den f◊rei kam∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh pou den sumfwne∂ me touj eidikoÚj eqnikoÚjkanonismoÚj. Oi antl∂ej thj seir£j Turbo-V2000HT e∂nai strobilomoriak◊j antl∂ej gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio ÿ aerioÚco sustatikÒ. E∂nai akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn. H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 33000 s.a.l.), h opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r uyhlÿj apÒdoshj.. Oi antl∂ej Turbo-V2000HT den peri◊coun rupantikoÚj par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ. Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø. AutÒ sumb£ £seij¿ AutÒ to egceir∂ egceir∂dio crhsimopoie∂ crhsimopoie∂ tij tij akÒ akÒlouqej louqej sumb seij¿ ! Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a. KINDUNOS! KINDUNOS Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂ swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej. ! PROSOCH Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi opo∂ej an den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ. SHMEIWSH H antl∂a den katastr◊fetai an aplèj ekteqe∂ ston atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn kratÿsete kleistÿ m◊cri th stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ th skÒnh. EGKATASTASH SHMEIWSH Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun apospaste∂ apÒ to ke∂meno. APOQHKEUSH APOQHKEUSH ! Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai axiopist∂aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na throÚntai oi exÿj prodiagraf◊j¿ • kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqÿkeush twn antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exÿj periballontik◊j sunqÿkej¿ • qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C • scetikÿ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh) • o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se leitourg∂a gia prèth for£ • o crÒnoj apoqÿkeushj m∂aj strobilomoriakÿj antl∂aj e∂nai 10 mÿnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolÿj. KINDUNOS! KINDUNOS H antl∂a, lÒgw tou b£rouj thj, pr◊pei na metakinhqe∂ diam◊sou eidikèn ergale∂wn anÚywshj kai metak∂nhshj. En an£gkh crhsimopoie∂te touj eidikoÚj kr∂kouj pou pr◊pei na bidwqoÚn stij elikoeide∂j op◊j M8 ftiagm◊nej sto per∂blhma thj antl∂aj. ! PROSOCH Xekollÿste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ kap£ki mÒno th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma. ! PROSOCH E£n, gia opoiodÿpote lÒgo, o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnÿsete me thn topikÿ antiproswpe∂a thj Varian. PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH H antl∂a promhqeÚetai m◊sa se m∂a eidikÿ prostateutikÿ suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te to topikÒ tmÿma pwlÿsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h antl∂a. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.O.K. 85/399 gia thn diafÚlaxh tou perib£llontoj. Bebaiwqe∂te Òti h antl∂a e∂nai kat£llhlh gia thn efarmogÿ thj. H antl∂a ◊cei scediaste∂ gia th crÿsh se sustÿmata £ntlhshj gia PVD ÿ genik£ gia efarmog◊j stij opo∂ej apaite∂tai ◊na "kaqarÒ" kenÒ. Epikoinwnÿste me thn Varian Vacuum Technologies ÿ me ton promhqeutÿ saj gia £llej efarmog◊j. 21 87-900-969-01 ODHGIES CRHSHS H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ, p£go, ciÒni), skÒnej, polemik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j. CRHSH /Olej oi odhg∂ej gia gia th swstÿ leitourg∂a thj tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio thj mon£daj el◊gcou. Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh. Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton proairetikÒ qermantÿra. Kat£ thn endecÒmenh q◊rmansh tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a thJ fl£ntzaJ eisÒdou kai tou rÒtora den pr◊pei na e∂nai anèterh apÒ 120°C. Kat£ th q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh. ! OCIç KINDUNOS! KINDUNOS Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£ thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. ! PROSOCH ! Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar (p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh). KINDUNOS! KINDUNOS ! PROSOCH Gia thn apofugÿ proswpikoÚ traumatismoÚ mh q◊tete pot◊ gia kan◊na lÒgo, ta d£ktula ÿ £lla antike∂mena sto stÒmio thj eisÒdou thj tourmpoantl∂aj. SumbouleÚetai h crÿsh prostateutikoÚ ductioÚ (proairetikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj sigastÿraj kat£ twn donÿsewn ÿ ◊na mikrÒ elastikÒ fuserÒ sto stÒmio thj eisÒdou, stereènete p£nta thn tourmpoantl∂a sth b£sh. Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta. Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj: - m◊g. p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh - qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C - scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth). Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai efodiasm◊nej me m∂a eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (£zwto ÿ argÒn) gia thn prostas∂a twn roulem£n (bl◊pe par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). ! PROSOCH Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej leptom◊reiej. Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V2000HT pr◊pei na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj elegkt◊j Varian (seir◊j 969-9462, 969-9562) kai pr◊pei na e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). H tourmpoantl∂a mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote q◊sh. ! ! KINDUNOS! KINDUNOS Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂ste tij kat£llhlej diadikas∂ej eidik£ gia to k£qe a◊rio. Mhn crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂aj ekrhktikèn aer∂wn. SUNTHRHSH Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V2000HT de crei£zontai kam∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ exousiodothm◊no proswpikÒ. KINDUNOS! INDUNOS ! Η στάθµη ισχύος που χορηγείται από την αντλία πρέπει να προσαρµοστεί στον τύπο αντλούµενου αερίου. Ενεργώντας µέσω του controller (βλέπε το εγχειρίδιο του controller) είναι δυνατό να επιλέξετε ΑΕΡΑ ή ΑΡΓΟΝ (προεπιλογή: ΑΡΓΟΝ). Για τη χρησιµοποίηση της αντλίας µε διαφορετικά αέρια παρακαλούµε να επικοινωνήσετε µε την Varian. KINDUNOS! KINDUNOS Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a, aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da anam◊nete m◊cri thn plÿrh akinhtopo∂hsh tou rÒtora kai perim◊nete m◊cri h qermokras∂a thj epif£neiaj thj antl∂aj na e∂nai katèterh apÒ 50° C. Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na na antistaqe∂ se ◊na zeÚgoj 30000 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj. Η στροβιλαντλία µε φλάντζα εισόδου ISOF πρέπει να στερεωθεί στο θάλαµο κενού δια µέσου 12 χαλύβδινων βιδών M10 όχι κατώτερης κατηγορίας από 8.8 (σr = 800 N/mm2). Συνιστάται µια ροπή κλεισίµατος 22 Nm. Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto s◊rbij episkeuèn Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh. SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ gia advanced exchange service, e∂nai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai uge∂aø sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂ ston q£lamo kenoÚ m◊sw thj eidikÿj mikrotecn∂aj Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Gia thn egkat£stash twn proairetikèn exarthm£twn, bl◊pe "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj. 22 87-900-969-01 INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION ! This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The Turbo-V 2000HT series pumps are turbo-molecular pumps for high and ultra-high vacuum applications and can pump any type of gas or gas compound. They are not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 33000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 2000HT pumps are free of contaminating agents and, therefore, are suitable for applications requiring a "clean" vacuum. The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". This manual uses the following standard protocol: ! CAUTION In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the pump. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. ! CAUTION The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. NOTE The notes contain important information taken from the text. STORAGE In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: • when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: • temperature range: -20 °C to 70 °C • relative humidity range: 0 to 95% (non condensing) • the turbomolecular pumps must be always soft-started when received and operated for the first time by the customer • the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date. INSTALLATION ! WARNING! Cause its weight, the pump must be handled by means of suitable moving and handling tools. Use the suitable handling kit eyebolts screwing them into the M8 holes of the pump envelope. ! CAUTION Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system. ! CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to the factory. Please contact the local Varian Vacuum Sales and Service representative for informations. PREPARATION FOR INSTALLATION The pump is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399. 23 87-900-969-01 INSTRUCTIONS FOR USE Ensure that the pump is suitable for your application. The pump is designed for PVD system pumping applications or clean general vacuum applications. Contact Varian Vacuum Technologies or your supplier if you want to use the pump on any other application. Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. USE All the instructions for the correct use of the turbopump are contained in the control unit manual. Read the manual carefully before using the pump. In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump casing may be heated using the optional heater. While heating the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed 120 °C. Always use the water cooling system during the heating operations. ! WARNING! Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. NO! ! CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged. ! ! WARNING! To avoid injury, never put fingers or any objects whatsoever in the inlet port of the turbopump. The use of the protective screen is strongly advised (optional extra). If a vibration damper or flexible metallic bellows are used on the inlet port, make sure that the pump is fixed to the base. ! WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. During operation, the following environmental conditions must be respected: − maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure − temperature: from +5 °C to +35 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) MAINTENANCE The Turbo-V 2000HT series pump does not require any maintenance. Any work performed on the pump must be carried out by authorized personnel. In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information.The Turbo - V 2000HT series pumps must only be used with one of the special Varian controllers (series 969-9462, 969-9562) and must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The turbopump can be installed in any position. ! CAUTION For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). ! WARNING! Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it from the supply, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C. WARNING! The power level to the pump must be set according to the pumped gas. It is possible to select AIR or ARGON by means of the controller (see the relevant instruction manual). Please contact Varian if you want to use the pump with other gas types. In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned pump to replace that broken down. NOTE Before returning the pump to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the pump package before shipping. Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 30000 Nm around its axis. The turbopump with ISOF inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of 12 M10 bolts with a strength class at least of 8.8 (σr = 800 N/mm2). A fixing torque of 22 Nm is suggested. The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Varian hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. For installation of optional accessories, see "Technical Information". If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. 24 87-900-969-01 TECHNICAL INFORMATION The Turbo-V2000HT pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 4 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of aluminium. The turbine stages have seven different angles, from 44° to 16°, while the Macrotorr stages are in form of discs. The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump. The static blades of the stator are made of stainless steel with five different blade angles from 44° to 16°. These are supported and accurately positioned by spacer rings. The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs. These are made of aluminium alloy. During normal operation, the motor is fed with a voltage of 120 Vac three-phase at 550 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. A water cooling kit is available to cool down the pump in the case where it is used under heavy load or when the ambient temperature is insufficient for cooling purposes. Two thermistor sensors are mounted near the bearings to prevent the pump from overheating. The thermistor sensors, the motor stator windings and the earth are connected to a Turbo-V controller through a 8 pin socket on the side of the pump. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm. The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange or on its base. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 40 flange. DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The Turbo-V2000HT pump is available in two versions which differ only in their inlet flange. They are: − Model 969-9084 with ConFlat 12” external diameter high vacuum flange − Model 969-9059 with ISO F high vacuum flange Model 969-9084 Model 969-9059 25 87-900-969-01 TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION The following figure shows the Turbo-V2000HT pump outline drawing. Dimensions are in inches [mm]. Pumping speed N2: 1950 l/s He: 2000 l/s H2: 1500 l/s Coolant water minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM) temperature: + 10° C to + 20° C pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi) Compression ratio N2: >1 x 109 He: 2 x 106 H2: 2 x 105 Bakeout temperature 120° C max. at CF inlet flange 80° C max. at ISO inlet flange Minimum with recommended mechanical forepump: 1 x 10-10 mbar (7.5 x 10-11 Torr) Max permissible rotor temperature 120 °C Base pressure* Vibration level (displacement) < 0.01 µm at inlet flange Inlet flange CFF 12" O.D. ISO 250 Input 120 Vac, three phase, 550 Hz Foreline flange KF 40 NW Lubricant permanent lubrication Rotational speed 33000 RPM Installation category II Start-up time 10 minutes Pollution degree 2 Recommended forepump DS 602 TriScroll 600 Storage temperature - 20° C to + 70° C Weight kg (lbs) Operating position Any ISO 250: 44 (96.8) CFF 12”: 55 (121) Cooling requirements Water Max rotor temperature 120 °C Operating ambient temperature + 5° C to + 35° C * According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bakeout, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump. 26 87-900-969-01 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 27 87-900-969-01 TECHNICAL INFORMATION INLET SCREEN INSTALLATION WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9338 (metallic model), and 969-9348 (plastic model). The inlet screens prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 3 mm diameter. The inlet screen, however, will reduce the pumping speed by about 20%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure and can be mounted on each pump model. Model 969-9338 The screen can be mounted on each pump model. The inlet screen can be removed as shown in the following figure. Model 969-9348 ! CAUTION The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following figure The following figure shows the pump flange sections with the protection screen fitted on them. As you can see, the overall dimensions do not change as the inlet screen remains inside the pump profile. The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. 28 87-900-969-01 TECHNICAL INFORMATION Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. NOTE These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid that the tube(s) gets loose or disconnected during operation. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system. The water temperature must be between +10°C and +20°C, with an inlet pressure between 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. NOTE The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance is higher, in closed water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole is suggested. The overall dimensions of the pump when equipped with the water cooling kit mounted are shown in the following figure (dimensions are in inches [mm]). 29 87-900-969-01 TECHNICAL INFORMATION VENT VALVE INSTALLATION VENT DEVICE INSTALLATION The vent valve mod. 969-9843 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (5 sec maximum), and enables an automatic vent operation. The vent device mod. 969-9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (adjustable time up to 36 min.), and enables an automatic vent operation. Unscrew the threaded plug (see figure below). Unscrew and remove the threaded plug (see figure below). Screw the vent valve into the pump without inserting the supplied adapter between the valve and the pump. Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, taking care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. Tighten the valve using a 16 mm. hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. ! CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. 30 87-900-969-01 TECHNICAL INFORMATION and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. GAS PURGE VALVE INSTALLATION A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, PUMP USED WITH CORROSIVE GASES To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump (see the following figure). Adjust the pressure regulator in order to obtain the necessary gas purge flow rate according to the application. ! CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests the following purge gas flow rates: 10 sccm (0.17 mbar l/s) for a mild purge process, or 20 sccm (0.34 mbar l/s) for an heavy process. Please contact Varian for specific applications. The purge gas throughput with the recommended 3 forepump of 15 m /h (11 CFM) allows to achieve a -9 high vacuum pressure in the 10 mbar range. The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure. 31 87-900-969-01 TECHNICAL INFORMATION The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points: 1. Close the corrosive gas flow into the system. 2. Leaving the Turbo-V pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system. 3. Turn off the Turbopump. 4. Open the Turbo-V vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system. 5. Turn off the Turbopump. 6. When the Turbo-V pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. TYPICAL LAYOUT DIAGRAM 1. Turbo-V controller 2. Vent valve 3. Vacuum pump shut-off valve (optional) 4. System vent valve (optional) 5. Vacuum chamber 6. Ionisation gauge 7. Fore-vacuum pump connecting flange 8. Oil mist eliminator 9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10. Fore-vacuum pump control relay 11. Connection for water cooling 12. Roughing line with valve (optional) 13. Turbopump 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve 14. Flexible connection Connection A - HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Then fix the two flanges by means of 12 M10 steel screws. 32 87-900-969-01 TECHNICAL INFORMATION For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware. Other hardware can be used if it satisfies to this specifications: Connection C - ELECTRICAL − stainless steel screws 2 − minimum strength point of 500 N/mm − length: 63.5 mm (2.5 inches). To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. ! CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock. Connection B - FORE-VACUUM PUMP A flange KF 40 NW is available to connect the Turbopump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. The turbopump is connected to the controller through an 8-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the upper bearing temperature sensor, pins A and G are connected to the lower bearing temperature sensor and pin E is connected to the pump ground; pin H is not connected. NOTE The Turbo pump is characterized by its high compression ratio also for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. If one temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensor automatically cuts out the power supply. 33 87-900-969-01 TECHNICAL INFORMATION MOVING THE GAS PURGE VALVE AND FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS All the pneumatic connections to the TurboV2000HT pump can be moved to its bottom (see the following figure). PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool. This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. In general, therefore, an increase in pump current can be expected. If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. To move the gas purge valve to the bottom of the pump make the following steps: 1. Unscrew the gas purge valve from the side of the pump 2. Unscrew the purge port cover on the bottom of the pump and screw it on the side 3. Screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) in the bottom of the pump. ACCESSORIES DESCRIPTION PART NUMBER To move the forevacuum pump flange to the bottom of the pump make the following steps: Inlet screen 969-9350 Water cooling kit 969-9338 1. Unscrew the three screws that fix the forevacuum blank flange to the bottom of the pump Plastic water cooling kit 969-9348 Vent flange NW 10 KF (M8) 969-9108 2. Unscrew the three screws that fix the forevacuum flange to the side of the pump Vent valve with fixed delay time 969-9843 Vent device with adjustable delay time 969-9831 Heavy duty vent valve 969-9842 Purge valve KF16-M12 10 SCCM 969-9239 Purge valve 7/16-M12 10 SCCM 969-9240 Purge valve KF16-M12 20 SCCM 969-9241 3. Fix the forevacuum flange to the bottom of the pump using the relevant three screws 4. Fix the forevacuum blank flange to the side of the pump using the relevant three screws. Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 969-9242 Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 600 single phase, universal motor PTS06001UNIV Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 600 3 phase, universal motor PTS06003UNIV Dual stage rotary vane pump DS 602 with single phase motor 949-9335 Dual stage rotary vane pump DS 602 with 3 phase motor 949-9336 For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 34 87-900-969-01 Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices Argentina Varian Argentina Ltd. Germany and Austria Varian Deutschland GmbH UK and Ireland Varian Ltd. Sucursal Argentina Av. Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel: (54) 1 783 5306 Fax: (54) 1 786 5172 Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 28 Manor Road Walton-On-Thames Surrey KT 12 2QF England Tel: (44) 1932 89 8000 Fax: (44) 1932 22 8769 Australia Varian Australia Pty Ltd. India Varian India PVT LTD United States Varian Vacuum Technologies 679-701 Springvale Road Mulgrave, Victoria ZZ 3170 Australia Tel: (61) 395607133 Fax: (61) 395607950 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 5548444 Fax: (91) 11 5548445 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H, 3956 CP Leersum The Netherlands Tel: (31) 343 469910 Fax: (31) 343 469961 Brazil Varian Industria e Comercio Ltda. Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel: (55) 11 3845 0444 Fax: (55) 11 3845 9350 Canada Central coordination through: Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 China Varian Technologies - Beijing Room 1201, Jinyu Mansion No. 129A, Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 P.R. China Tel: (86) 10 6608 1530 Fax: (86) 10 6608 1534 France and Wallonie Varian s.a. 7 avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 13 Fax: (33) 1 69 28 23 08 11/01 Italy Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Other Countries Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Japan Varian Vacuum Technologies Internet Users: Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 Customer Service & Technical Support: Korea Varian Technologies Korea, Ltd. Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 Mexico Varian S.A. Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road Sec. 1, Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 [email protected] Worldwide Web Site: www.varianinc.com/vacuum Order On-line: www.evarian.com Representatives in most countries