Varian TV 301 Navigator Manual de usuario
- Tipo
- Manual de usuario
TV 301
Navigator
Pump models:
969-8918 969-8919
969-8920 969-8921
Kit models:
969-8824 969-8825
969-8826 969-8827
969-8828 969-8829
969-8830 969-8831
Controller model:
969-8972 969-8973
87-900-946-01(F)
JULY 2006
(I) MANUALE DI ISTRUZIONI
(D) BEDIENUNGSHANDBUCH
(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI
(E) MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P) MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S) BRUKSANVISNING
(N) INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H) FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
TV 301 Navigator
ISTRUZIONI PER L’USO...................................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG................................................................................................................................5
MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................9
INSTRUCCIONES DE USO.............................................................................................................................13
INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................17
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................21
BRUGSANVISNING.........................................................................................................................................25
BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................29
BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................33
KÄYTTÖOHJEET.............................................................................................................................................37
PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................41
HASZNÁLATI UTASÍTÁS.................................................................................................................................45
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................49
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................53
NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................57
NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................61
INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................65
TECHNICAL INFORMATION...........................................................................................................................69
DESCRIPTION OF THE TV 301 NAVIGATOR ...........................................................................69
Pump Description ..............................................................................................................69
Controller Description........................................................................................................70
TECHNICAL SPECIFICATION....................................................................................................70
TV 301 NAVIGATOR OUTLINE...................................................................................................71
INTERCONNECTIONS................................................................................................................74
P3 - Vent............................................................................................................................74
P5 – External fan ...............................................................................................................74
J5 - IN-OUT........................................................................................................................74
J6 - Serial...........................................................................................................................77
INPUT POWER CONNECTION ON THE MODEL 969-8972 .....................................................77
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................77
Communication Format .....................................................................................................77
Communication Protocol....................................................................................................77
Window Meanings .............................................................................................................79
INLET SCREEN INSTALLATION................................................................................................81
HEATER BAND INSTALLATION.................................................................................................82
AIR COOLING KIT INSTALLATION............................................................................................82
TV 301 with Navigator Controller.......................................................................................82
WATER COOLING KIT INSTALLATION.....................................................................................83
VENT ACCESSORIES.................................................................................................................84
TV 301 Navigator Controller Compatible...........................................................................84
Standard Rack Controller Compatible...............................................................................85
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................86
PURGE VALVE INSTALLATION.................................................................................................86
SERIAL CABLE INSTALLATION.................................................................................................86
TV 301 CONTROLLER INSTALLATION.....................................................................................87
Connection A - HIGH VACUUM FLANGE.........................................................................88
Connection configurations.................................................................................................88
Connection B - FORE-VACUUM PUMP............................................................................89
Connection C - ELECTRICAL............................................................................................89
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................89
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................90
ACCESSORIES AND SPARE PARTS........................................................................................90
ISTRUZIONI PER L'USO
1 87-900-946-01(F)
Indicazioni di Sicurezza
per
Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata
quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa
specifica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per
una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
,
PERICOLO!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte
nel presente manuale!
ISTRUZIONI PER L'USO
2 87-900-946-01(F)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritie-
ne sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza
totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di
personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso
contrario alle normative nazionali specifiche.
Il TV 301 Navigator è un sistema integrato costituito da una
pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuo-
to e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare
qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto
per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (56000 giri/min. max) mossa da un motore elet-
trico trifase ad alto rendimento. Il TV 301 Navigator è totalmen-
te privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per
applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Ha inoltre dei
connettori ausiliari tramite i quali è possibile alimentare un ven-
tilatore aggiuntivo, comandare la valvola di vent, pilotarlo da
remoto tramite un computer host collegato con linea seriale
(RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne-
cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel-
l'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
,
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal te-
sto.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità del-
le pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le
seguenti prescrizioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti con-
dizioni ambientali:
• temperatura: da –20 °C a 70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco-
lare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è su-
periore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni infor-
mazione, si prega di contattare il locale rappresentante della
Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
Il TV 301 Navigator viene fornito in un imballo protettivo specia-
le; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi veri-
ficati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare at-
tenzione a non lasciar cadere il TV 301 Navigator e a non sot-
toporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo
nell'ambiente.
Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva
CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le ma-
ni nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Uti-
lizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
Il TV 301 Navigator non può essere danneggiato rimanendo
semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione
sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo-
mento del collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
ISTRUZIONI PER L'USO
3 87-900-946-01(F)
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico
nell’appendice “Technical Information”)
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Techni-
cal Information" per ulteriori dettagli.
Il TV 301 Navigator deve essere collegato ad una pompa pri-
maria (vedere schema in "Technical Information").
Il TV 301 Navigator può essere installato in qualsiasi posizione.
Fissare il TV 301 Navigator in posizione stabile collegando la
flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa
capace di resistere ad una coppia di 1000 Nm attorno al proprio
asse.
Per esempio la flangia ISO 100 K può essere fissata con mor-
setti in acciaio ad alta resistenza (tipo modello Varian IC 63250
DCMZ).
La seguente tabella descrive, per ogni dimensione flangia, il
numero di morsetti IC 63250 DCMZ necessari e con quale cop-
pia di serraggio stringerli.
FLANGIA TIPO DI
MORSETTO
N. COPPIA DI SER-
RAGGIO
ISO 100 K Morsetto doppio
con filettatura M10
4 22 Nm
ISO 160 K Morsetto doppio
con filettatura M10
4 22 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Te-
chnical Information".
NOTA
Il TV 301 Navigator non può essere fissato tramite la sua base.
ATTENZIONE!
Il TV 301 Navigator appartiene alla seconda categoria di
installazione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN
61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di
alimentazione che soddisfi tale categoria.
Il TV 301 Navigator ha dei connettori per gli ingressi/uscite e
per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai
circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia
accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo con-
nesso al TV 301 Navigator abbia un isolamento adeguato an-
che in condizione di guasto singolo come previsto dalla
normativa EN 61010-1.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure
operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 120 °C.
,
PERICOLO!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di
chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-
sare lesioni alle persone.
ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa
quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-
verso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-
gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").
,
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-
sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
Accensione ed Uso del TV 301 Navigator
Per accendere il TV 301 Navigator è sufficiente fornire la ten-
sione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce au-
tomaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed
avvia la pompa.
La prima partenza della pompa avviene nel modo “Soft Start”
che, al termine del ciclo di avvio, si disabilita automaticamente,
per cui tutti i successivi avvii della pompa avvengono senza il
modo “Soft Start”. Per riavere una partenza con “Soft Start” at-
tivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite software (vedere
il paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION”
nell’appendice “Technical Information”).
Il LED verde posto sul pannello della base del TV 301 Naviga-
tor indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni
operative del sistema:
− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il si-
stema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Wai-
ting for interlock”;
− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): con-
dizione di errore.
Arresto del TV 301 Navigator
Per arrestare il TV 301 Navigator è sufficiente togliere la ten-
sione di alimentazione. Il controller incorporato arresta imme-
diatamente la pompa.
,
PERICOLO!
Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere
alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabel-
la delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello
internazionale). Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una
presa adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elet-
triche e soddisfare i requisiti delle norme CE. Le alte tensioni
che si sviluppano nel controller possono provocare gravi lesioni
o la morte. Prima di eseguire delle operazioni di manutenzione
all'interno dell'unità scollegare il cavo di alimentazione.
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il TV 301 Navigator
occorre staccare il cavo di alimentazione dal controller.
ISTRUZIONI PER L'USO
4 87-900-946-01(F)
MANUTENZIONE
Il TV 301 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qual-
siasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
,
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposi-
ta valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed at-
tendere che la temperatura superficiale della pompa sia
inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-
ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-
mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello
guasto.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salu-
te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stes-
sa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della
spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi-
che.
SMALTIMENTO
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla di-
rettiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Eu-
ropea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve
essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del di-
spositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei
termini e condizioni contrattuali di vendita.
GEBRAUCHSANLEITUNG
5 87-900-946-01(F)
Sicherheitshinweise
für
Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen
verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder
durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
,
GEFAHR!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
GEBRAUCHSANLEITUNG
6 87-900-946-01(F)
ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie
alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu
lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen
Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes
Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der
nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian
keinerlei Haftung.
Modell TV 301 Navigator ist ein integriertes System, das aus
einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-
anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller,
besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten
von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die
Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Die Pumpwir-
kung wird durch eine hochtourige Turbine (max. 56000 1/min)
erreicht, die von einem Hochleistungs-drehstrommotor ange-
trieben wird. Modell TV 301 Navigator enthält keinerlei umwelt-
schädliche Substanzen und eignet sich deshalb auch für An-
wendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern. Modell TV
301 Navigator verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse,
über die ein zusätzlicher Ventilator versorgt, das Entlüftungs-
ventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer
über eine serielle Leitung gesteuert werden kann (RS232,
RS485).
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-
onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
,
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-
se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-
vorrufen könnten.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-
gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-
rend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-
gangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-
nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an
den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell TV 301 Navigator wird in einer speziellen Schutzverpa-
ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zustän-
digen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 301 Navi-
gator ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfal-
len und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Ver-
packungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG
für Umweltschutz.
ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
HINWEIS
Modell TV 301 Navigator kann durch die Umgebung an sich
keine Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an
der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch
Staub zu vermeiden.
INSTALLATION
ACHTUNG!
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei
Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand-
gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
GEBRAUCHSANLEITUNG
7 87-900-946-01(F)
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im An-
hang "Technical Information")
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die
Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa-
tionen siehe im Anhang "Technical Information".
Modell TV 301 Navigator ist an eine Primärpumpe anzuschlie-
ßen (siehe Schema in "Technical Information").
Modell TV 301 Navigator kann in jeder beliebigen Position
installiert werden. Modell TV 301 Navigator ist stabil zu befesti-
gen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen
festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Dreh-
moment von 1000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Der ISO 100 K-Flansch kann z.B. mit hochfesten Stahlklam-
mern befestigt werden (wie das Varian-Modell IC 63250
DCMZ).
Die Tabelle im Anschluss zeigt die erforderliche Anzahl von IC
63250 DCMZ-Klammern und das jeweilige Anzugsmoment für
jede Flanschgröße.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE
ANZ. ANZUGSMOMENT
ISO 100 K Doppelschelle mit
Gewinde M10
4 22 Nm
ISO 160 K Doppelschelle mit
Gewinde M10
4 22 Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-
ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-
hang "Technical Information".
HINWEIS
Modell TV 301 Navigator kann nicht mittels seines Sockels
befestigt werden.
ACHTUNG!
Der TV 301 Navigator gehört zur zweiten Installationsklasse
(Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist.
Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung ange-
schlossen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Der TV 301 Navigator hat Verbinder für den Ein-und Ausgang
und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise
angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Span-
nung zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolierung der an
den TV 301 Navigator angeschlossenen Vorrichtung auch bei
einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtli-
nie EN 61010-1 vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-
tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
,
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-
nungsgefahr.
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten. Für die Belüftung der
Pumpe trockene staub- und partikelfreie Luft oder Inertgase
verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll
unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe
Anhang "Technical Information").
,
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu
befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-
higen Gasen verwendet werden.
Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 301
Navigator
Zur Einschaltung von Modell TV 301 ist es mit der erforderli-
chen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute
Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock-
und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft
Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.
Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den
Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"
zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder frei-
zugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 301 gibt
mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des
System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell TV 301 Navigator
Zum Stoppen von Modell TV 301 Navigator ist die Versor-
gungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt
für den sofortigen Pumpenstopp.
,
GEFAHR!
Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V
mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestell-
teile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene
genehmigten) Stecker ausgestattet ist. Verwenden Sie dieses
Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend
geerdeten Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den
Anforderungen der EG-Richtlinien zu entsprechen.
Die Hochspannungen, die sich im Controller entwickeln, kön-
nen zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den War-
tungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen.
Not-Aus
Zur Stillsetzung von Mod. TV 301 Navigator in Notsituationen
ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen.
GEBRAUCHSANLEITUNG
8 87-900-946-01(F)
WARTUNG
Modell TV 301 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle
Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt
werden.
,
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-
ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System
zur Verfügung stellt.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-
tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und
Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-
ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
ENTSORGUNG
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-
Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts -
d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak-
tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.
MODE D’EMPLOI
9 87-900-946-01(F)
Normes de sécurité
pour
Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une
énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique
de leurs rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou
d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
,
DANGER!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation
décrites dans ce manuel !
MODE D’EMPLOI
10 87-900-946-01(F)
INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes-
sionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à
l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi
que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui
décline par conséquent toute responsabilité en cas de non
respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation
impropre par un personnel non formé, d'opérations non autori-
sées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales
spécifiques. Le TV 301 Navigator est un système intégré, cons-
titué d'une pompe turbomoléculaire conçue pour des applica-
tions de vide poussé et ultrapoussé et doté d'un contrôleur. Le
système est à même de pomper tous les types de gaz et de
composés gazeux mais il n'est pas adapté au pompage de
liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est obtenu
grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (56000 tr/min
maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rende-
ment. Le TV 301 Navigator est totalement exempt d'agents
polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les appli-
cations exigeant un vide "propre". Le TV 301 Navigator est en
outre doté de connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un
ventilateur supplémentaire, de commander la soupape de venti-
lation, de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host
connecté par ligne sérielle.Les paragraphes suivants fournis-
sent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de
l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des rensei-
gnements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Techni-
cal Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
,
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de
façon impropre, risque de provoquer de graves lésions
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procé-
dures dont le non respect pourrait endommager sérieusement
l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, extrapo-
lés du texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de res-
pecter les instructions suivantes :
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am-
biantes suivantes:
• température : de –20 °C à +70 °C
• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit
être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.
PREPARATION POUR L'INSTALLATION
Le TV 301 Navigator est livré dans un emballage de protection
spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant
s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente
local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par-
ticulièrement à ne pas laisser tomber le TV 301 Navigator et à
ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399
en matière de protection de l'environnement.
ATTENTION!
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
Le TV 301 ne peut s'endommager en restant simplement expo-
sé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à
la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage
clos jusqu'au moment de l'installation.
INSTALLATION
ATTENTION!
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection
qu'au moment de brancher la turbopompe au système.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-
sés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la pous-
sière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou
à fort risque d'incendie.
MODE D’EMPLOI
11 87-900-946-01(F)
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C (Cf. graphique dans "Tech-
nical Information")
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-
tégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseigne-
ment, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV
301 Navigator doit être connecté à une pompe primaire (Cf.
schéma dans "Technical Information").
Le TV 301 Navigator peut être installée dans n'importe quelle
position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride
d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant sup-
porter un couple de serrage de 1000 Nm autour de son axe Par
exemple le flasque ISO 100 K peut être fixé à l'aide de brides
en acier à haute résistance (comme le modèle Varian IC 63250
DCMZ). Le tableau suivant indique, pour chaque dimension de
flasque, le nombre de brides IC 63250 DCMZ nécessaires et le
couple de fixation correspondant.
BRIDE TYPE DE
COLLIER
N. COUPLE DE
SERRAGE
ISO 100 K Collier double
à filet M10
4 22 Nm
ISO 160 K Collier double
à filet M10
4 22 Nm
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian pré-
vus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice
"Technical Information".
NOTE
Le TV 301 Navigator ne peut être fixé par sa base.
ATTENTION!
Le TV 301 Navigator appartient à la deuxième catégorie d'ins-
tallations (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De
ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compa-
tible avec cette catégorie.
Le TV 301 Navigator dispose de connecteurs pour les en-
trées/sorties et pour la communication en série qui doivent être
branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous
tension ne soit accessible.
S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 301 Navi-
gator a une isolation appropriée même en condition de panne
individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à
"Technical Information".
UTILIZATION
Ce paragraphe présente les principales procédures opération-
nelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de
la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit
pas dépasser 120°C.
,
DANGER!
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est
pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec
la bride de fermeture.
Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut être à l'origine de lésions graves.
ATTENTION!
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério-
rer.
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique).
Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de four-
nir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour pro-
téger les paliers (voir l'appendice "Technical Information").
,
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-
ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-
ques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
Mise en marche et utilisation du TV 301 Navigator
Pour allumer le TV 301 Navigator il suffit de fournir la tension
d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatique-
ment la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il
actionne la pompe.
La première mise en marche de la pompe se fait en mode "Soft
Start". Au terme du cycle de démarrage, ce mode se désactive
automatiquement et les mises en marche suivantes se font
sans le passage "Soft Start". Pour obtenir à nouveau une mise
en marche "Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à
l'aide du logiciel (Cf. paragraphe "RS232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" dans l'appendice "Technical Information").
La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 301
indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opé-
rationnelles du système:
- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;
- clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système
est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente in-
terlock.
- clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition
d'erreur.
Arrêt du TV 301 Navigator
Pour arrêter le TV 301 Navigator, il suffit de retirer la tension
d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la
pompe.
,
DANGER!
Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être
alimenté par un câble d’alimentation à 3 fils (voir le tableau des
parties qui peuvent être ordonnées) doté d’une fiche (approu-
vée à niveau international).Utiliser ce câble et cette fiche avec
une prise connectée d’une manière adéquate à terre pour éviter
des décharges électriques et satisfaire les requis des normes
CE.
Les tensions élevées qui se développent dans le contrôleur
peuvent provoquer de graves endommagements ou la mort.
Avant d’effectuer les opérations d’entretien à l’intérieur de
l’unité débrancher le câble d’alimentation.
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le TV 301 Navigator en conditions d'urgence, il faut
débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.
MODE D’EMPLOI
12 87-900-946-01(F)
ENTRETIEN
Le TV 301 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute
intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
,
DANGER!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,
attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la
température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service répa-
rations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui
permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du
système endommagé.
NOTE
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation
ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au
bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe
au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche de-
vra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimina-
tion conformément aux réglementations nationales concernant
la gestion des déchets.
MISE AU REBUT
Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes
Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la direc-
tive CE nommée "WEEE".
Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Com-
munauté européenne) indique que le produit sur lequel il est
appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures mé-
nagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par
un système de collecte sélective.
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente,
l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du
dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le
processus de collecte et mise au rebut.
INSTRUCCIONES DE USO
13 87-900-946-01(F)
Indicaciones de Seguridad
para
Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen
una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en
combinación a la masa específica de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o
por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
,
¡PELIGRO!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!
INSTRUCCIONES DE USO
14 87-900-946-01(F)
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier
otra información suplementaria facilitada por Varian antes de
usar el aparato. Varian se considera libre de posibles
responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de
las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no
preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a
las normas nacionales específicas.
El TV 301 Navigator es un sistema integrado compuesto por
una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto
vacío integrada por el controler correspondiente. El sistema
puede bombear cualquier tipo de gas o de composición
gaseosa, pero no es adecuado para bombear líquidos o
partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene mediante
una turbina rotativa de alta velocidad (56000 r.p.m. máx.)
movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El
TV 301 Navigator no posee ningún agente contaminante y por
lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’
“limpio”.
Asimismo, el TV 301 Navigator posee conectores auxiliares con
los que se puede alimentar un ventilador adicional, accionar la
válvula de ventilación, pilotarla a distancia con un ordenador
host conectado mediante línea serial (RS 232/RS 485).
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el
anexo “Technical Information” se facilita información más
detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
,
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los
procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños
al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de
las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la
bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,
se ruega contactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El TV 301 Navigator se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse
producido durante el transporte, ponerse en contacto con la
oficina local de ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no
se caiga el TV 301 Navigator y de no someterlo a golpes o
vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399
para la preservación del medio ambiente.
¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
NOTA
El TV 301 Navigator no puede dañarse permaneciendo
simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se
aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el
sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
INSTALACIÓN
¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al
conectar la bomba al sistema.
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
INSTRUCCIONES DE USO
15 87-900-946-01(F)
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo
“Technical Information”)
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo
“Technical Information” para más detalles.
El TV 301 Navigator ha de conectarse a una bomba primaria
(véase diagrama en “Technical Information”).
El TV 301 Navigator puede instalarse en cualquier posición.
Fijar el TV 301 Navigator en posición estable conectando la
brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que
puede resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje. Por
ejemplo la brida ISO 100 K puede ser fijada con mordazas en
acero de alta resistencia (tipo modelo tipo Varian IC 63250
DCMZ). La tabla siguiente describe, para cada dimensión de
brida, el número de mordazas IC 63250 DCMZ necesarios y
con cual par de apriete apretarlos.
BRIDA TIPO DE
MORDAZA
N. PAR DE
APRIETE
ISO 100 K Mordaza doble con
rosca M10
4 22 Nm
ISO 160 K Mordaza doble con
rosca M10
4 22 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos
específicos Varian. Para más detalles véase el anexo
“Technical Information”.
NOTA
El TV 301 Navigator no puede fijarse utilizando su base.
¡ATENCIÓN!
El TV 301 Navigator pertenece a la segunda categoría de
instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN
61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a
una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
El TV 301 Navigator tiene conectores para las entradas/salidas
y para la comunicación serial que deben ser conectados a los
circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión
quede accesible. Controlar que el aislamiento del dispositivo
conectado al TV 301 Navigator mantenga una acción aisladora
incluso en caso de verificarse una avería, de conformidad con
lo establecido por la normativa EN 61010-1.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
USO
En este apartado se citan los procedimientos operativos
principales. Antes de usar el sistema realizar todas las
conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible
calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la
brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.
,
¡PELIGRO!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no
está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de
cierre.
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión
atmosférica).
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el anexo
“Technical Information”).
,
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya
gases explosivos.
Encendido y Uso del TV 301 Navigator
Para encender el TV 301 Navigator basta con suministrar la
tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce
automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y
de arranque y activa la bomba.
La primera salida de la bomba se realiza en el modo “Soft
Start” que, al final del ciclo de puesta en marcha, se deshabilita
automáticamente, por lo tanto cuando la bomba se ponga en
marcha posteriormente se hará sin “Soft Start”. Para volver a
utilizar una puesta en marcha “Soft Start” activa es necesario
rehabilitar la forma anteriormente indicada mediante software
(véase el apartado “RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”).
El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 301
indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones
operativas del sistema:
- encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
- parpadea lentamente (periodo de 400 ms
aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o
de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;
- parpadea rápidamente (periodo de 200 ms
aproximadamente): condición de error.
Parada del TV 301 Navigator
Para parar el TV 301 Navigator nte con desenchufarlo de la
corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la
bomba.
,
¡PELIGRO!
Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser
alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla
de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe
(aprobado internacionalmente). Utilizar el cable y el enchufe
junto con un tomacorriente adecuadamente conectado a tierra
para evitar descargas eléctricas y cumplir con los
requerimientos de las normas CE.
Las altas tensiones que se desarrollan en el controlador
pueden provocar graves daños o incluso resultar fatales.
Desconectar el cable de alimentación antes de ejecutar las
operaciones de mantenimiento en el interior de la unidad.
Parada de Emergencia
Para detener en condiciones de emergencia el TV 301
Navigator es necesario desconectar del controlador el cable de
alimentación.
INSTRUCCIONES DE USO
16 87-900-946-01(F)
MANTENIMIENTO
El TV 301 Navigator no necesita ningún mantenimiento.
Cualquier operación deberá ser realizada por personal
autorizado.
,
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema
desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo
la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare
completamente y esperar a que la temperatura superficial de la
bomba sea inferior a 50ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite
obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado.
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o
“advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y
Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia
de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema
antes de enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
ELIMINACIÓN
Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas.
El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en
observancia de la directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la
Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha
sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos
comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el
contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida
diferenciada.
Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto
con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa
fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y
eliminación del producto, después de haber efectuado una
verificación de los términos y condiciones contractuales de
venta.
INSTRUÇÕES PARA O USO
17 87-900-946-01(F)
Indicações de Segurança
para
Bombas Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta
quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa
específica de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o
estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
,
PERIGO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas
neste manual!
INSTRUÇÕES PARA O USO
18 87-900-946-01(F)
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas
as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de
utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela
inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido
por parte de pessoas não treinadas, por operações não
autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais
específicas.
O TV 301 Navigator é um sistema integrado, constituído por
uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto
vácuo, integrada no relativo controller. O sistema é capaz de
bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso, mas
não é adequado para bombear líquidos ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (56000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. O TV 301 Navigator é
totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é
adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Além disso, o TV 301 Navigator tem conectores auxiliares
através dos quais é possível alimentar um ventilador adicional,
comandar a válvula de vent, accioná-lo por um controlo remoto
através de um computer host conectado por meio de linhas
seriais (RS 232/RS 485). Nos seguintes parágrafos estão
descritas todas as informações necessárias para garantir a
segurança do operador durante o uso da aparelhagem.
Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical
Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
,
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, pode provocar graves lesões
pessoais.
ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem
causar danos à aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade
das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas
as seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem
das bombas as condições ambientais devem ser as
seguintes:
• temperatura: de –20 °C a 70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,
o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da
expedição.
ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for
superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o
fabricante. Para mais informações, contatar o representante
local da Varian.
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
O TV 301 Navigator é fornecido numa embalagem protectora
especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter
ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o
escritório de vendas local.
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques
ou vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a norma
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
NOTA
O TV 301 Navigator não pode ser danificado permanecendo
simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
manter a bomba fechada até o momento da instalação no
sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
INSTALAÇÃO
ATENÇÃO!
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção
somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
INSTRUÇÕES PARA O USO
19 87-900-946-01(F)
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC (consultar a planilha no
apêndice “Technical Information”)
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores
detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".
O TV 301 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária
(consultar esquema em "Technical Information").
O TV 301 Navigator pode ser instalado em qualquer posição.
Fixar o TV 301 Navigator em posição estável ligando o flange
de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de
resistir a um torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo.
Por exemplo, a flange ISO 100 K pode ser fixada com grampos
de aço de alta resistência (como o modelo Varian IC 63250
DCMZ). A tabela seguinte descreve, para cada dimensão de
flange, o número de grampos IC 63250 DCMZ necessários e o
torque de aperto a utilizar.
FLANGE TIPO DE BORNE N TORQUE DE
APERTO
ISO 100 K Borne duplo com
rosca M10
4 22 Nm
ISO 160 K Borne duplo com
rosca M10
4 22 Nm
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada
na câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o
apêndice "Technical Information".
NOTA
O TV 301 não pode ser fixado através da sua base.
ATENÇÃO!
O TV 301 Navigator pertence à segunda categoria de
instalação (ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1.
Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação
apropriada para esta categoria.
O TV 301 Navigator tem dois conectores para as
entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser
ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso
às partes sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do
dispositivo ligado ao TV 301 Navigator esteja isolado
correctamente mesmo em caso de avaria, conforme previsto
pela norma NE 61010-1.
Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar
"Technical Information".
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as
ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual
aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de
entrada não deve ser superior a 120 ºC.
,
PERIGO!
Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver
ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange
de fecho.
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
ATENÇÃO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão
atmosférica).
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice
"Technical Information”).
,
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
Acendimento e Utilização do TV 301 Navigator
Para ligar o TV 301 é suficiente fornecer a tensão de
alimentação. O controller incorporado reconhece
automaticamente os sinais de interlock e de activação, e
acciona a bomba.
O primeiro accionamento da bomba faz-se em “Soft Star” que,
no fim do ciclo de arranque, se desactiva automaticamente,
portanto, todos os sucessivos arranques da bomba não serão
em “Soft Start”. Para poder arrancar a bomba em “Soft Start”,
será preciso reactivar o modo acima referido utilizando o
software (consultar o parágrafo “RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION” no apêndice “Technical Information”).
A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do TV
301, indica, através da frequência de intermitência, as
condições operacionais do sistema:
- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;
- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema
está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop,
ou de “waiting for interlock”.
- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição
de erro.
Paragem do TV 301 Navigator
Para parar o TV 301 Navigator é suficiente desligar a tensão de
alimentação. O controller incorporado para imediatamente a
bomba.
,
PERIGO!
Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser
alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a
tabela das partes que podem ser encomendadas) equipado de
uma tomada (aprovada a nível internacional). Utilize este cabo
e tomada juntos com uma tomada adequadamente conectada
a terra para evitar choques eléctricos e satisfazer os requisitos
das normas CE.
As altas tensões que se desenvolvem no controller podem
provocar graves danos ou até morte. Antes de realizar
operações de manutenção no interno da unidade, desligar o
cabo de alimentação.
Paragem de Emergência
Para parar o TV 301 Navigator em condições de emergência é
necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação.
INSTRUÇÕES PARA O USO
20 87-900-946-01(F)
MANUTENÇÃO
O TV 301 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas
as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
,
PERIGO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula
específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até
que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de
assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service",
que permite obter um sistema regenerado que substitua a
bomba com defeito.
NOTA
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações
ou o “advanced exchange service”, é indispensável preencher
e enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.
ELIMINAÇÃO
Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos.
O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a
directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade
Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO
deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou
industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de
recolha diferenciada.
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor
do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para
encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a
oportuna verificação dos termos e condições do contrato de
venda.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
21 87-900-946-01(F)
Veiligheidsinstructies
voor
Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote
hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke
massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en
de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
,
GEVAAR!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
22 87-900-946-01(F)
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in
acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving
De TV 301 Navigator is een geïntegreerd systeem dat uit een
turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge
vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat. Het
systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te
pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van
vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen
door een zeer snel draaiende turbine (max. 56000 toeren/min.)
die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor
met hoog rendement. De TV 301 Navigator is volledig vrij van
verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die
een "schoon" vacuüm verlangen.
De TV 301 Navigator is bovendien van hulpconnectors voorzien
waarmee een extra ventilator kan worden gevoed, de
luchtuitlaatkleppen kunnen worden aangestuurd, en waarmee
het systeem d.m.v. een serieel aangesloten host computer op
afstand kan worden bediend (RS 232/RS 485).
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur
te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de
bijlage "Technical information
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen
gebruik:
,
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten
de volgende voorschriften in acht worden genomen:
• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen
moet aan de volgende omgevingscondities worden
voldaan:
• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet
condenserend)
• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de
Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld
• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer
informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De TV 301 Navigator wordt in een speciale beschermende
verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die
tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen
contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 301 Navigator niet kan
vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De TV 301 Navigator kan niet beschadigd worden door
eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch
wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze
niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling
door stof wordt voorkomen.
INSTALLATIE
ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
23 87-900-946-01(F)
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage
“Technical Information”)
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie
De TV 301 Navigator moet op een primaire pomp aangesloten
zijn (zie schema in "Technical information").
De TV 301 Navigator kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de TV 301 Navigator in een stabiele positie en verbind
de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die
een koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De flens ISO 100 K kan bijvoorbeeld worden bevestigd met
stalen klemmetjes met grote weerstand (zoals model Varian IC
63250 DCMZ).
De volgende tabel geeft per flensafmeting het benodigde aantal
klemmetjes IC 63250 DCMZ en het bijbehorende
aandraaimoment.
FLENS KLEMTYPE
NR.
AANHAAL KOPPEL
ISO 100 K Dubbele klem met
M10 schroefdraad
4 22 Nm
ISO 160 K Dubbele klem met
M10 schroefdraad
4 22 Nm
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
OPMERKING
De TV 301 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis
worden bevestigd.
ATTENTIE!
De TV 301 Navigator behoort tot de tweede installatiecategorie
(of overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is
voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die
aan deze categorie voldoet.
De TV 301 Navigator bezit connectoren voor de
ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die
aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen
enkel deel onder spanning toegankelijk is. Controleer of de
inrichting verbonden met de TV 301 Navigator goed geïsoleerd
is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de
norm EN 61010-1.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen
tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de
eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de
temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.
,
GEVAAR!
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de
vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten
is.
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
ATTENTIE!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen an-
ders beschadigd raken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage “Technical Information”).
,
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van
explosieve gassen.
Inschakeling en gebruik van de TV 301 Navigator
Om de TV 301 Navigator in te schakelen is het voldoende om
deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent
automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en
start de pomp.
De eerste start van de pomp geschiedt op de wijze “Soft Start”
die, aan het einde van de startcyclus, automatisch ontmachtigd
wordt. Vandaar dat alle volgende starts niet op de wijze “Soft
Start” geschieden. Om opnieuw met “Soft Start” te starten,
moet bovengenoemde wijze met behulp van de software
gemachtigd worden (zie paragraaf “RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION” in de bijlage “Technical Information”).
De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV 301
geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities
van het systeem aan:
- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem
is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Afzetten van de TV 301 Navigator
Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden
onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de
pomp.
,
GEVAAR!
Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V
gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de
tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van
een stekker (met internationale goedkeuring). Gebruik de kabel
en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om
elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de
vereisten van de EG-normen.
De in de controller ontwikkelde hoge voltage kan ernstige
letsels of de dood veroorzaken. Maak de voedingskabel los
alvorens onderhoudswerkzaamheden aan het systeem uit te
voeren.
Noodstop
Om de TV 301 Navigator in noodomstandigheden te stoppen,
moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt
worden.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
24 87-900-946-01(F)
ONDERHOUD
De TV 301 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele
werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden
uitgevoerd.
,
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
AFVALVERWERKING
Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten.
Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeen-
stemming met de EG-richtlijn "WEEE".
Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese
Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is
aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mor-
maal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet
worden ingezameld.
De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met
de leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een
wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en
verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde ter-
men en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben ge-
controleerd.
BRUGSANVISNING
25 87-900-946-01(F)
Sikkerhedsanvisninger
for
Molekylære turbopumper
De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor
kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers
specifikke vægt.
Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator,
eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
,
ADVARSEL!
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er
det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i
denne brugsanvisning!
BRUGSANVISNING
26 87-900-946-01(F)
GENEREL INFORMATION
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere
information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke
ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af
disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt
kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der
strider imod gældende lokale regler.
TV 301 Navigator-systemet omfatter en turbomolekylær pumpe
til høje eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel
styreenhed. Systemet er i stand til at pumpe en hvilken som
helst form for gas eller gaslignende luftarter, men systemet kan
ikke anvendes til pumpning af væske eller af faste partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine
(56000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor
med høj effekt. TV 301 Navigator er ikke fremstillet af skadelige
stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent”
vakuum.
TV 301 Navigator har endvidere hjælpestik, der gør det muligt
at forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og fjernstyre den
ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse (RS
232/RS 485).
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige
for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med
anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk Information”
indeholder detaljerede oplysninger.
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:
,
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en
speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist
efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære
personskader.
VIGTIGT!
Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal
følges nøje for ikke at risikere maskinskader.
BEMÆRK
Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
OPBEVARING
Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære
pumper fra Varian:
• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:
• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,
• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved
hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.
• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder
fra forsendelsesdatoen.
VIGTIGT!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,
er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken.
Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale
Varian repræsentant.
FORBEREDELSE FØR INSTALLATION
TV 301 Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage.
Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på
skader, der kan være opstået under transporten.
Sørg for, at TV 301 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød
ved udpakningen.
Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og
opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
VIGTIGT!
Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres
med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid
handsker eller anden lignende beskyttelse.
BEMÆRK
Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 301
Navigator. Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket
kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der
kommer støv i pumpen.
INSTALLATION
VIGTIGT!
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen
tilsluttes systemet.
Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for
påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive
gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
BRUGSANVISNING
27 87-900-946-01(F)
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
- temperatur: fra +5°C til + 35°C (se illustrationen i bilaget
“Teknisk Information”)
- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske
felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for
yderligere oplysninger.
TV 301 Navigator skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet
“Teknisk Information”).
TV 301 Navigator kan installeres i en hvilken som helst
position. Fastgør TV 301 Navigator i en stabil position ved at
slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der
tåler et moment på 1000 Nm omkring akselen.
Flangen ISO 100 K kan for eksempel fastgøres med klemmer
af højstyrkestål (type Varian-model IC 63250 DCMZ).
Nedenstående tabel viser, hvor mange klemmer af typen IC
63250 DCMZ der kræves alt efter flangens størrelse, samt med
hvilket spændingsmoment de skal strammes.
LANGE KLEMMETYPE ANT. DREJNINGS-
MOMENT
ISO 100 K Dobbelt klemme med
M10 gevind
4 22 Nm
ISO 160 K Dobbelt klemme med
M10 gevind
4 22 Nm
Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I
bilaget “Teknisk Information” findes yderligere detaljer.
BEMÆRK
Navigator TV 301 kan ikke fastgøres i fundamentet.
VIGTIGT!
TV 301 Navigator hører til den anden installationsklasse (eller
overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor
anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne
klasse.
TV 301 Navigator er forsynet med konnektorer til ind-/udgange
og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de
eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang
til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er
tilsluttet TV 301 Navigator, har en passende isolering. Dette
gælder også i tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN
61010-1.
Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
ANVENDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden
anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og
pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med
opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens
temperatur ikke overstige 120° C.
,
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen.
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.
VIGTIGT!
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke
indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den
specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk
tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse
pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er
nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller
argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”).
,
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
Start og anvendelse af TV 301 Navigator
For at starte TV 301 er det tilstrækkeligt at tilslutte et
forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender
blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen.
Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START
metoden. Når startprocessen er afsluttet, frakobles denne
funktion automatisk med hensyn til alle efterfølgende
aktiveringer af pumpen, der vil ske uden SOFT START
metoden.
For at aktivere SOFT START metoden på ny skal ovennævnte
måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit “RS 232
“COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilaget “Teknisk
Information”).
Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 301’s
fundament, angiver systemets funktion ved blink:
- konstant tændt: pumpen er i normal rotation
- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i
stilling for acceleration, bremsing, stop eller “Waiting for
interlock”
- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
Stop af TV 301 Navigator
For at afbryde TV 301 Navigator er det tilstrækkeligt at afbryde
strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks
pumpen.
,
ADVARSEL!
For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en
strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de
bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik
(som skal være godkendt på international plan). Benyt dette
kabel og stik sammen med en stikkontakt, som på passende
måde er forbundet til jorden for at undgå elektriske stød og
opfylde kravene ifølge CE(EF) normerne.
De høje spændinger, som udvikles i controller'en, kan
forårsage alvorlige skader eller døden. Før der foretages
vedligeholdelses-operationer inde i enheden, skal man koble
fødekablet fra.
Nødstop
Afbrydelse af TV 301 Navigator i nødsituationer sker ved at
koble ledningen fra styreenheden.
BRUGSANVISNING
28 87-900-946-01(F)
VEDLIGEHOLDELSE
TV 301 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert
indgreb skal foretages af autoriseret personale.
,
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal
strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at
åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er
standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under
50°C.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian
reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”,
der udskifter systemet med et repareret system.
BEMÆRK
Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian
advanced axchange service” skal “Sikkerheds- og
tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne instruktionsmanual,
udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets
emballage inden afsendelse.
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
BORTSKAFFELSE
Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne.
Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det
såkaldte EU-direktiv "WEEE".
Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet,
som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra
private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres
på en godkendt affaldsstation.
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af
anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for
igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter
nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten.
BRUKSANVISNING
29 87-900-946-01(F)
Säkerhetsanvisningar
för
Molekylära turbopumpar
De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi
beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa.
I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller
om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
,
VARNING!
För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas
på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.
BRUKSANVISNING
30 87-900-946-01(F)
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Systemet TV 301 Navigator bestär av en turbomolekylär pump
för höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en
styrenhet. Systemet kan användas för pumpning av alla typer
av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte systemet för
pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
56000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i TV 301 Navigator, som därför passar
för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
TV 301 Navigator har dessutom en hjälpkontakt som gör det
möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera
avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-
dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS
485).
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
,
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
VIKTIGT !
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal pre-
standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från
leveransdatumet.
VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-återförsäljaren för ytterligare information.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
TV 301 Navigator levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar
tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till
att TV 301 Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
VIKTIGT !
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 301
Navigator. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad
tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det
kommer in damm eller annat i den.
INSTALLATION
VIKTIGT !
Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen
ska anslutas till systemet.
Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för
påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva
gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
BRUKSANVISNING
31 87-900-946-01(F)
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical
Information”)
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar. TV 301 Navigator måste anslutas till en
huvudpump (se schemat i "Technical information").
TV 301 Navigator kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i
ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en
fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 1000 Nm kring sin
axel.
Flänsen ISO 100 K kan till exempel fixeras med höghållfasta
stålbyglar (modell Varian IC 63250 DCMZ).
I tabellen nedan beskrivs det antal byglar IC 63250 DCMZ
som erfordras för varje flänsdimension och med vilket
moment de ska dras åt.
FLÄNS TYP AV
KLAMMER
ANT. ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
ISO 100 K Dubbel klammer,
gänga M10
4 22 Nm
ISO 160 K Dubbel klammer,
gänga M10
4 22 Nm
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga ”Technical Information”
OBSERVERA
TV 301 Navigator-systemet kan inte fastspännas med sin egen
bas.
VIKTIGT !
TV 301 Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller
överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut där-
för anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna
klass.
TV 301 Navigator är utrustad med kontaktdon för
ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen
som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går att
komma åt någon spänningsförande del. Kontrollera att
anordningen som är ansluten till TV 301 Navigator har en
lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN
61010-1.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information”.
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens
bruksanvisning.
Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och
pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får
temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C.
,
VARNING!
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad
till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.
VIKTIGT!
Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från
damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr
måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket).
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
“Technical information”).
,
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda
anvisningarna för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
Start och användning av TV 301 Navigator
För att starta TV 301 behöver du bara ansluta till ett eluttag.
Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings-
och startsignaler, och startar pumpen.
Pumpens första start sker i "Mjukstart"-läget som i slutet av
inledningscykeln slås av automatiskt. Därefter sker pumpens
inledningar utan funktionen "Mjukstart". För att återaktivera
"Mjukstart" måste man återställa ovannämnda läge genom
mjukvaran (se stycket "RS 232 COMMUNICATlON
DESCRIPTION" i bilagan "Technical information").
Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TV 301 anger,
genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar:
• fast sken: pumpen roterar normalt;
• långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i
lage för acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for
interlock";
• hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd.
Att stänga av TV 301 Navigator
Om du vill stänga av TV 301 Navigator behöver du bara dra ut
elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter
omedelbart pumpens funktion.
,
VARNING!
För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet
med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över
ordinerbara delar) tillsammans med kontakt (godkänd på
internationell nivå). Använd sladden och kontakten tillsammans
med en jordad anslutning för att undvika stötar och enligt
krävande EU normer.
Den höga spänningen som framkallas av controller enheten
kan orsaka personskador eller till och med döda. Dra därför
alltid ur strömkabeln innan eventuella underhållsarbeten utförs
inuti enheten.
Nödstopp
Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av
TV 301 Navigator.
BRUKSANVISNING
32 87-900-946-01(F)
UNDERHÅLL
TV 301 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste
utföras av auktoriserad personal.
,
VARNING!
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens
strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett
renoverat system.
OBSERVERA
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.
BORTSKAFFNING
Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna.
Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-
direktivet som har betecknats som "WEEE".
Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den
Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken
symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans
med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett
differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med
leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om
moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta
uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig
kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor.
BRUKERVEILEDNING
33 87-900-946-01(F)
Sikkerhetsanvisninger
for
Turbomolekylær Pumper
Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt
kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke
massen til pumpenes rotor.
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller
brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt.
,
ADVARSEL!
For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må
installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye!
BRUKERVEILEDNING
34 87-900-946-01(F)
GENERELL INFORMASJON
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
TV 301 Navigator systemet består av en turbo-molekulær
pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en
styreenhet. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller
gassforening. Det er ikke beregnet for å pumpe væsker eller
faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 56000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. TV 301 Navigator har
ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med
behov for "rene" vakuum.
TV 301 Navigator har dessuten hjelpekontakter som gir
muligheter for forsyning av en ekstra vifte, styring av
utluftingsventilen, og fjernstyring av systemet med en
serietilkoplet vertsmaskin.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll :
,
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
FORSIKTIG!
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de
ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian
turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges:
• Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke
følgende miljøforhold overstiges:
• Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.
• Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).
• Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene
når de mottas og startes opp første gang.
• Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder
fra sendedato.
FORSIKTIG!
Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må
pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale
Varian-forhandleren for informasjon.
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
TV 301 Navigator leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje.
Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under
transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når TV 301 Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke slippes
ned eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
FORSIKTIG!
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
MERK
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 301
Navigator. Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.
INSTALLASJON
FORSIKTIG!
Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når
turbopumpen koples til systemet.
Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
BRUKERVEILEDNING
35 87-900-946-01(F)
Under bruk må følgende forhold respekteres:
- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C (se diagram i tillegget
“Teknisk informasjon”)
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
TV 301 Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i
"Teknisk informasjon").
TV 301 Navigator kan monteres i en valgfri stilling. Fest TV
301 Navigator i en stabil stilling med inngangsflensen festet
mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm
rundt aksen.
For eksempel ISO 100 K flensen kan festes ved å bruke ekstra
resistente stål klemmer (som Varian modell IC 63250 DCMZ).
Følgende tabell viser det nødvendige antall klemmer IC 63250
DCMZ og den tilsvarende festeanordning for hver enkelt flens
dimensjon.
FLENS TYPE KLEMME ANT. STRAMME-
MOMENT
ISO 100 K Dobbel klemme,
gjenge M10
4 22 Nm
ISO 160 K Dobbel klemme,
gjenge M10
4 22 Nm
Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.
MERK
TV 301 Navigator må ikke festes gjennom fundamentet.
FORSIKTIG!
TV 301 Navigator hører til installasjonsklasse (eller
overspenningsklasse) nummer 2 i følge EN 61010-1
standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som
tilfredsstiller kravene for denne klassen.
TV 301 Navigator er utstyrt med koplingsstykker for inn-
/utgangene og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre
strømkretsene slik at ingen deler under spenning er
tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av anordningen
koplet til TV 301 Navigator har en egnet isolering, også under
forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120°C.
,
ADVARSEL!
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
FORSIKTIG!
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar (over atmosfærisk trykk).
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se
“Teknisk informasjon).
,
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Starte og bruke TV 301 Navigator
TV 301 startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den
innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings-
og startsignaler, og starter pumpen.
Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som
etter denne første igangsettingssyklusen desaktiveres, slik at
etterfølgende igangsettinger skjer uten MYK START. For å
oppnå en MYK START igjen er det nødvendig å tilbakestille
modusen via software (se avsnittet “RS 232
COMMUNICATION DESCRIPTION” i tillegget “Teknisk
Informasjon”).
Den grønne lysdioden LD1 på TV 301 basepanel angir
systemets funksjon ved hjelp av blink:
- den lyser fast: pumpen roterer normalt
- den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i
stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for
interlock”
- den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
Stoppe TV 301 Navigator
TV 301 Navigator stoppes ved å kople det fra
strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser
pumpen umiddelbart.
,
ADVARSEL!
Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel
(se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et
støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet.
Bruk denne kabelen og støpselet sammen med en egnet jordet
kontakt for å unngå elektrisk støt og for å overholde EU
forskriftene.
Høyspenningene som utvikler seg inne i styreenheten kan føre
til alvorlige skader eller dødsulykker. Før man utfører
vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å
kople fra strømkabelen.
Nødstopp
Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 301
Navigator i en nødsituasjon.
BRUKERVEILEDNING
36 87-900-946-01(F)
VEDLIKEHOLD
TV 301 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må
kun utføres av autorisert personell.
,
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter
vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er
lavere enn 50°C.
Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte system til erstatning for det ødelagte
systemet.
MERK
Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for et overhalt system, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet
som sendes tilbake.
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
ELIMINERING
Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene.
Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-
direktiv kalt "WEEE".
Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske
fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må
behandles som vanlig hus-industriavfall, men må legges i kilde-
sortering.
Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan
være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling
og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpe-
kontrakten.
KÄYTTÖOHJEET
37 87-900-946-01(F)
Turbomolekyylipumppujen
Turvaohjeet
Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä
energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien
massaan.
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin
rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.
,
VAARA!
Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!
KÄYTTÖOHJEET
38 87-900-946-01(F)
YLEISIÄ TIETOJA
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota
vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden
täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä,
ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,
valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
TV 301 Navigator on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu
valvojalla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja
ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee
pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai
kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden
hiukkasten pumppaamiseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (56000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. TV 301
Navigator -järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten
se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
TV 301 Navigator -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä,
joiden avulla on mahdollista käyttää lisätuuletinta, ohjata
tuuletusventtiiliä ja käyttää järjestelmää kauko-ohjauksella
sarjakytketyn isäntätietokoneen avulla (RS 232/RS 485).
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”.
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
,
VAARA!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen
käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi
johtaa vakaviin henkilövaurioihin.
HUOMIO!
Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi
johtaa laitteen vahingoittumiseen.
HUOM
Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.
VARASTOINTI
Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen
pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:
• Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan,
seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:
• lämpötila: -20 °C - 70 °C.
• suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä).
• Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen
pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja
käyttäessään sitä ensimmäisen kerran.
• Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta
toimituspäivästä.
HUOMIO!
Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee
palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varian-
edustajalta.
VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN
TV 301 Navigator toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa;
mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita
vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 301
Navigatorin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai
tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön.
Pakkausmateriaali voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se
vastaa EY-direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta.
HUOMIO!
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin
osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai
muuta sopivaa suojausta.
HUOM
TV 301 Navigator ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman
kanssa (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna,
kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen
mahdollinen pölysaastuminen.
ASENNUS
HUOMIO!
Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun
turbopumppu kytketään järjestelmään.
Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen),
pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on
olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
KÄYTTÖOHJEET
39 87-900-946-01(F)
Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia
ehtoja:
- maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen
- lämpötila: + 5°C - +35°C (ks. “Tekniset tiedot” -liitteen
kaaviota).
- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot”
-liitteestä.
TV 301 Navigator tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset
tiedot” -liitteen kaaviota).
TV 301 Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Kiinnittäkää TV 301 Navigator vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kestää 1000 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Esimerkiksi
laippa ISO 100 K voidaan kiinnittää suurta rasitusta kestävillä
teräspuristimilla (tyyppiä Varian IC 63250 DCMZ).
Seuraavassa taulukossa on lueteltu tarvittavat puristimet IC
63250 DCMZ jokaista laippakokoa kohti sekä vaadittava ki-
ristysmomentti.
LAIPPA KIINNIKE MÄÄ-RÄ KIRISTYS-
MOMENTTI
ISO 100 K Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
4 22 Nm
ISO 160 K Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
4 22 Nm
Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä.
HUOM
TV 301 Navigatoria ei voida kiinnittää perustansa kautta.
HUOMIO!
TV 301 Navigator kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten
mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite
tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan
vaatimukset.
TV 301 Navigator laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille
sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin
siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä
käsiksi. Varmista, että TV 301 Navigator laitteeseen kytketyn
laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön
yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.
Ks. “Tekniset tiedot” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten.
KÄYTTÖ
Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet.
Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja
paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen
aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120°C:tta.
,
VAARA!
Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty
tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen
aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden
loukkaantumisia.
HUOMIO!
Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan
aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.
Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole
pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen
tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen).
Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta
varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja
(typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Tekniset
tiedot” -liite).
,
VAARA!
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa
jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.
Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
TV 301 Navigatorin käynnistys ja käyttö
TV 301 Navigatorin käynnistykseen riittää, että se kytketään
sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa
automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää
pumpun.
Pumpun ensimmäinen käynnistys tapahtuu “Soft Start” -
menetelmällä, joka inaktivoituu automaattisesti
käynnistysjakson jälkeen. Siten pumpun seuraavat
käynnistykset tapahtuvat ilman “Soft Start” -toimintoa. Jotta
käynnistys voitaisiin suorittaa uudelleen “Soft Start” -
menetelmällä, tulee yllämainittu tapa aktivoida uudelleen
ohjelmiston kautta (ks. kappale “RS 232 VIESTINNÄN
KUVAUS” “Tekniset tiedot” -liitteessä).
Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 301:n perustan paneelissa,
osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet:
- palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;
- vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on
kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”-
tilassa;
- vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
TV 301 Navigatorin pysäyttäminen
TV 301 Navigatorin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti
sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun
välittömästi.
,
VAARA!
Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran
syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti
hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua
sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa).
Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein maadoitetun
pistorasian kanssa, jotta sähköiskuilta vältytään ja CE- normien
vaatimukset täyttyvät.
Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia
onnettomuuksia tai jopa kuoleman. Irrota sähkökaapeli ennen
yksikön sisälle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista.
Hätäpysäytys
TV 301 Navigator on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla
sähkökaapeli ohjausyksiköstä.
KÄYTTÖOHJEET
40 87-900-946-01(F)
HUOLTO
TV 301 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset
toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.
,
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä
kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa
avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin
täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun
pintalämmön laskea alle 50ºC:en.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service" -
vaihtopalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun
vahingoittuneen tilalle.
HUOM
Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai
vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava
paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” -
kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen
kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen
lähettämistä.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.
HÄVITTÄMINEN
Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys
Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-
direktiivin mukaisesti.
Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita)
tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai
teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen
keräyspisteeseen.
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja
hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa
se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan
ensin kaupan sopimusehdot.
ODHGIES CRHSHS
41 87-900-946-01(F)
Οδηγίες για Ασφάλεια
για
Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας
περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής
σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν.
Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήματος, για παράδειγμα επαφής ρότορα /
επαγωγέα ή ακόμη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα, η ενέργεια περιστροφής
μπορεί να ελευθερωθεί.
,
KINDUNOS!
Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισμού και για την
πρόληψη τραυματισμών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης,
όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς!
ODHGIES CRHSHS
42 87-900-946-01(F)
GENIKES PLHROFORIES
Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj
qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj
egceir∂diou odhgièn kai opoiadˇpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a
pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H
Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ
aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj
anekpa∂deutou proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ˇ
crˇsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. To TV
301 Navigator e∂nai ◊na oloklhrwm◊no sÚsthma apoteloÚmeno
apÒ m∂a strobilomoriakˇ antl∂a gia efarmog◊j uyhloÚ kai uper -
uyhloÚ kenoÚ, oloklhrwm◊no apÒ to scetikÒ elegktˇ (controller).
To sÚsthma e∂nai ikanÒ na antlˇsei opoiodˇpote e∂doj aer∂ou ˇ
aerioÚco proi>Òn, all£ den e∂nai
kat£llhlo gia thn £ntlhsh
ugrèn ˇ stereèn swmat∂diwn.
H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai se uyhlˇ tacÚthta (56000 str.§lept. max.)
kinoÚmenh apÒ ◊nan trifasikÒ hlektrikÒ kinhtˇra uyhlèn
epidÒsewn. To TV 301 Navigator stere∂tai pantelèj rupantikèn
paragÒntwn, opÒte e∂nai kat£llhlo gia efarmog◊j oi opo∂ej
apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ.
To TV 301 Navigator ◊cei ep∂shj bohqhtikoÚj sundetˇrej
diam◊sou twn opo∂wn e∂nai dunatˇ h trofodÒthsh enÒj prÒsqetou
anemistˇra, o ◊legcoj thj balb∂daj aerismoÚ (vent), h
kaqodˇghsh apÒ apÒstash diam◊sou enÒj computer host
sundem◊nou m◊sw diatetagm◊nhj (serial) grammˇj (RS232/RS485).
Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou
ceiristˇ kat£ th
di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuˇj. Leptomere∂j
plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø.
("Technical Information")
AutÒ to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akÒlouqouj sumbatikoÚj
Òrouj¿
,
KINDUNOS!
Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocˇ tou ceiristˇ se m∂a
diadikas∂a ˇ se m∂a eidikˇ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.
PROSOCH
Oi ende∂xeij prosocˇj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi
opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth
suskeuˇ.
SHMEIWSH
Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apÒ to ke∂meno.
APOQHKEUSH
Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai
axiopist∂aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na
throÚntai oi exˇj prodiagraf◊j¿
• kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqˇkeush twn
antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exˇj periballontik◊j
sunqˇkej¿
• qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C
• scetikˇ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh)
• o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me
ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se
leitourg∂a gia prèth for£
• o crÒnoj apoqˇkeushj m∂aj strobilomoriakˇj antl∂aj e∂nai 10
mˇnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolˇj.
PROSOCH
E£n, gia opoiodˇpote lÒgo, o crÒnoj apoqˇkeushj e∂nai
megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto
ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnˇsete
me thn topikˇ antiproswpe∂a thj Varian.
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
To TV 301 Navigator promhqeÚetai se m∂a eidikˇ prostateutikˇ
suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na
◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se
epafˇ me to topikÒ tmˇma pwlˇsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste
idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TV 301
Navigator kai na mhn uposte∂ ctupˇmata ˇ donˇseij.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ
anakuklèènetai plˇrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj
E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.
PROSOCH
Gia na apofÚgete problˇmata apagwgˇj aer∂ou, mhn agg∂zete me
gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto
kenÒ.
Crhsimopoie∂te ta g£ntia ˇ £llh kat£llhlh prostas∂a.
SHMEIWSH
To
TV 301 Navigator
den bl£ptetai apl£ param◊nontaj ekteqeim◊no
sto perib£llon. EntoÚtoij sumbouleÚetai na diathre∂te kleistˇ thn
antl∂a m◊cri th stigmˇ thj egkat£stashj sto sÚsthma èste na
apofeugcqe∂ m∂a endecÒmenh rÚpansh apÒ skÒnh.
EGKATASTASH
PROSOCH
Xekollˇste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ kap£ki
mÒno th stigmˇ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.
H antl∂a de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ˇ na crhsimopoihqe∂
se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocˇ,
p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei
k∂ndunoj ◊krhxhj ˇ k∂ndunoj purkagi£j.
ODHGIES CRHSHS
43 87-900-946-01(F)
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akÒlouqej sunqˇkej perib£llontoj:
- m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikˇ p∂esh
- qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C (bl◊pe di£gramma sto
par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).
- scetikˇ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).
Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na
prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma
øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej leptom◊reiej.
To TV 301 pr◊pei na e∂nai sundedem◊no se m∂a prwteÚousa antl∂a
(bl◊pe scˇma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).
To TV 301 Navigator mpore∂ na
egkatastaqe∂ se opoiadˇpote
q◊sh. Stereèste to TV 301 Navigator se staqerˇ q◊sh enènontaj
th fl£ntza eisÒdou thj tourmpoantl∂aj me m∂a staqerˇ
kÒntrofl£ntza ikanˇ na ant◊xei se ◊na zeÚgoj 1000 Nm gÚrw apÒ
ton £xon£ thj. Για παράδειγμα, η φλάντζα ISO 100 K μπορεί να
στερεωθεί με τη χρήση χαλύβδινων σφιγκτήρων υψηλής αντοχής
(όπως το μοντέλο Varian IC 63250 DCMZ).
Ο ακόλουθος πίνακας δείχνει, για κάθε διάσταση φλάντζας, τον
απαραίτητο αριθμό σφιγκτήρων IC 63250 DCMZ και την αντίστοιχη
ρο
πή στερέωσης.
FLANTZA EIDOS DAGKANHS
N.
ZEUGOS
BIDWMATOS
ISO 100 K
Diplˇ dagk£nh me
el∂kwsh M10
4 22 Nm
ISO 160 K
Diplˇ dagk£nh me
el∂kwsh M10
4 22 Nm
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂
sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn
Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
SHMEIWSH
To
TV 301 Navigator
den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj
tou.
PROSOCH
O TV 301 Navigator anhvkei sth deuvterh kathgoriva
egkatavstashÇ (hv upevrtashÇ) pou problevpetai apov ton
kanonismov EN 61010-1. Katav sunevpeia sundevete th
diavtaxh se mia grammhv trofodovthshÇ h opoiva ikanopoieiv
authvn thn kathgoriva.
O TV 301 Navigator evcei buvsmata gia tiÇ
eisovdouÇ/////exovdouÇ kai gia th seiriakhv epikoinwniva pou
prevpei na sundeqouvn sta exwterikav kuklwvmata evtsi wvste
na mhn eivnai prositov kanevna mevroÇ upov tavsh.
Bebaiwqeivte ovti h movnwsh thÇ sundemevnhÇ diavtaxhÇ ston
TV 301 Navigator evcei mia katavllhlh movnwsh akovma kai se
katavstash monhvÇ blavbhÇ ovpwÇ problevpetai apov ton
kanonismov EN 61010-1.
Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej".
CRHSH
Se autˇn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j
diadikas∂ej.
Prin na crhsimopoiˇsete to sÚsthma pragmatopoie∂te Òlej tij
hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj
endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth
fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C.
,
KINDUNOS!
Mhn afˇnete pot◊ na leitourge∂ h antl∂a an h fl£ntza eisÒdou
den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ˇ den e∂nai kleistˇ me th
fl£ntza kleis∂matoj.
Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecÒmena exartˇmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlˇ qermokras∂a mpore∂ na
prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.
PROSOCH
Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ
metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se
leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta.
Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂te a◊ra ˇ
adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ˇ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou
diam◊sou thj eidikˇj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar
(p£nw apÒ thn atmosfairikˇ p∂esh)
Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai
efodiasm◊nej me mia eidikˇ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a
h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Azwto ˇ ArgÒ) gia na
prostateutoÚn ta ◊drana (bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej")
,
KINDUNOS!
Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ˇ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej
carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.
Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn.
/Enaush kai Crˇsh tou TV 301 Navigator
Gia na an£yete to TV 301 arke∂ na promhqeÚsete thn t£sh
trofodÒthshj. O enswmatwmevnoÇ controller anagnwrivzei
automavtwÇ thn parousiva twn shmavtwn interlock kai
ekkivnhshÇ ki anavbei thn antliva.
H prèth ekk∂nhsh thj antl∂aj g∂netai me ton trÒpo "Soft Start",
pou sto t◊loj tou kÚklou ◊naushj, apenergopoie∂tai autom£twj,
opÒte Òlej oi epÒmenej enaÚseij g∂nontai cwr∂j ton trÒpo "Soft
Start". Gia na ◊cete xan£ m∂a ekk∂nhsh me energÒ "Soft Start"
crei£zetai na apokatastˇsete ton anaferq◊nta trÒpo diam◊sou
software (bl◊pe thn par£grafo "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).
To pr£sino LED LD1 to opo∂o br∂sketai sto pla∂sio thj b£shj
tou TV 301 Navigator endeiknÚei, me th sucnÒthta pou
anabosbˇnei, tij epiceirhsiak◊j sunqˇkej tou sustˇmatoj:
- staqer£ anam◊no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikˇ peristrofˇ:
- anabosbˇnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma
e∂nai
se kat£stash an£bashj, ˇ epibr£dunshj, ˇ stop, ˇ
"Waiting for interlock".
- anabosbˇnei grˇgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh
sunqˇkh.
Stam£thma tou TV 301 Navigator
Gia na stamatˇsete to TV 301 Navigator e∂nai arketÒ na
afair◊sete thn t£sh trofodÒthshj. O enswmatwm◊noj elegktˇj
stamat£ am◊swj thn antl∂a.
,
KINDUNOS!
Για την ασφάλεια του χειριστή το controller Turbo-V πρέπει να
τροφοδοτήται διαμέσου ενός καλωδίου τροφοδότησης με τρία
σύρματα (βλέπε τον πίνακα κατατάξης των μερών ) εφοδιασμένο με
ρευματολήπτη ( στανταρ διεθνός εγκεκριμένο). Αυτό το καλώδιο
τροφοδότησης με τον ρευματολήπτη να χρησιμοποιήται μαζί με έναν
ρευματοδότη κατάλληλα συνδεδεμένο με το έδαφος για να
αποφεύγεται η ηλεκτροπληξία και να ικανοποιούντ
αι οι
προδιαγραφές των οδηγίων ΕΚ.
Οι υψηλές τάσεις που αναπτύσσονται στο controller μπορούν να
προκαλέσουν σοβαρές βλάβες ή τον θάνατο. Προτού
πραγματοποιήσετε εργασείες συντήρησης στη μονάδα βγάλετε το
καλώδιο τροφοδότησης.
Stam£thma /Ektakthj An£gkhj
Gia na stamathvsete se sunqhvkeς evktakthς anavgkhς to TV
301 Navigator prevpei na bgavlete to kalwvdio trofodovthshς
apov ton controller.
ODHGIES CRHSHS
44 87-900-946-01(F)
SUNTHRHSH
To TV 301 Navigator de crei£zetai kamm∂a suntˇrhsh.
Opoiadˇpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no
proswpikÒ.
,
KINDUNOS!
Prin epiceirˇsete opoiadˇpote ep◊mbash sto sÚsthma,
aposund◊ste to apÒ thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a
ano∂gontaj thn eidikˇ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatˇsei
tele∂wj o rÒtor kai anam◊nete h epifaneiakˇ qermokras∂a thj
antl∂aj na e∂nai katèterh apÒ 50°C.
Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj
Varian ˇ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei
th dunatÒthta na antikatastˇsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a
£llh anazwogonhm◊nh.
SHMEIWSH
Prin epistr◊yete ston kataskeuastˇ thn antl∂a gia episkeuˇ ˇ
gia
advanced exchange service,
enai apara∂thto na
sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o
Pwlˇsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø sunhmm◊no sto parÒn
egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei
m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolˇ.
Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn
exoudet◊rwsˇ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.
Χώνευση
Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες.
Το παρακάτω σύμβολο εφαρμόζεται σύμφωνα με την
ντιρεκτίβα Ε.Κ. που ονομάζεται "WEEE".
Αυτό το σύμβολο (που ισχύει μόνο για τις χώρες της
Ευρωπαϊκής Κοινότητας) δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι
εφαρμοσμένο, ΔΕΝ πρέπει να πεταχτεί μαζί με κοινά οικιακά ή
βιομηχανικά σκουπίδια, αλλά με διαφοροποιημένο τρόπο.
Γι
΄αυτό, παρακαλούμε τον τελικό χρήστη να έρθει σε επαφή με
τον πωλητή της συσκευής ή με το εργοστάσιο σχετικά με την
εκκίνηση της διαδικασίας διαφοροποιημένης συλλογής,
κατόπιν επαλήθευσης του συμβολαίου πώλησης.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
45 87-900-946-01(F)
Biztonsági útmutató
Turbómolekuláris szivattyúkhoz
A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy
mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege
miatt.
A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a
forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat.
,
VIGYÁZAT!
A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének
megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat
szigorúan be kell tartani!
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
46 87-900-946-01(F)
ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A TV 301 Navigator egy integrált rendszer turbo-molekuláris
szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a
megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy
gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok
vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási
műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebességű turbina (max. 56000 fordulat/perc)
biztosítja. A TV 301 Navigator szennyezőanyagoktól mentes,
és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra.
Fel van szerelve külső csatlakozókkal, hogy további ventillátort
tápláljon, vezérelje a ventillátor szelepet, amit távoli helyről
irányít egy soros vonalon (RS 232 vagy RS 485) keresztül
csatlakoztatott gazdagép segítségével.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt talál a „Műszaki
információ” függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:
,
VIGYÁZAT!
A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
FIGYELEM
A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések a szövegből vett fontos információt
tartalmaznak.
TÁROLÁS
A Varian Turbomolecular szivattyúk maximális
teljesítményszintjének garantálására a következő
útmutatásokat kell követni:
• szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
• hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
• relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
• A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.
• Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap
a szállítás dátumától.
FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút
vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi
Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez.
ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A TV 301 Navigatort különleges védőcsomagolásban szállítják.
Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet,
forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
FIGYELEM
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV
301 Navigatort. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való
telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés
bármely formáját.
TELEPÍTÉS
FIGYELEM
Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban,
agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes
környezetben.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
47 87-900-946-01(F)
Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell
biztosítani:
− maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
− hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás-
hőmérséklet diagramot a „Műszaki információ”
függelékben)
− relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Műszaki információ”.
A TV 301 Navigatort elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni
(lásd „Műszaki információ”).
A TV 301 Navigator bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a
TV 301 Navigatort stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti
karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely
képes ellenállni 1000 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Például az ISO 100 K karima rögzíthető nagy teherbírású
acélkapcsokkal (mint az IC 63250 DCMZ) Varian típus).
A következő táblázat mindegyik karimamérethez megmutatja
az IC 63250 DCMZ kapcsok szükséges számát és a
hozzátartozó rögzítő nyomatékot.
KARIMA RÖGZÍTŐ
ESZKÖZ
N. RÖGZÍTŐ
NYOMATÉK
ISO 100 K M10 kapcsok 4 22 Nm
ISO 160 K M10 kapcsok 4 22 Nm
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért
lásd „Műszaki információ”.
MEGJEGYZÉS
A TV 301 Navigator nem rögzíthető az alapján keresztül.
FIGYELEM
A TV 301 Navigator a második telepítési (vagy túlfeszültség)
kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint.
Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő
hálózathoz.
A TV 301 Navigatornak olyan bemeneti/kimeneti és soros
kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső
áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne
legyenek hozzáférhetők.
Győződjön meg róla, hogy a TV 301 Navigatorhoz
csatlakoztatott eszköz megfelelő egyes hiba esetén is az RN
61010-1 direktíva szerint.
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Műszaki
információt”.
HASZNÁLAT
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus
csatlakoztatást a rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep
hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot.
VIGYÁZAT!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima
nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
FIGYELEM
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását
üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek.
Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy
közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton
lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri
nyomás fölött).
Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak
szerelve egy különleges porttal, hogy lehetővé tegyék
közömbös gáz (pl. N
2
, Ar) stabil áramlását védelmet viselő
szivattyú számára (lásd „Műszaki információ” függelék).
,
VIGYÁZAT!
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében.
A TV 301 Navigator bekapcsolása és
használata
A TV 301 Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a
tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a
kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Az első szivattyúindítás „lágy indítás” módban történik. Amikor
az indítási ciklus befejeződik, a „lágy indítás” mód
automatikusan tiltva van, és a következő indítások „lágy
indítás” mód nélkül történnek. A „lágy indítás” mód újbóli
engedélyezéséhez azt aktiválni kell a megfelelő szoftver
paranccsal (lásd „RS 232/485 KOMMUNIKÁCIÓ LEÍRÁSA”) a
„Műszaki információ” függelékben.
A TV 301 Navigatoron elhelyezett zöld LED a villogásának
gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit.
• nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;
• lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer
emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár”
állapotban van;
• gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel.
A TV 301 Navigator kikapcsolása
A TV 301 Navigator kikapcsolásához le kell kapcsolni a
tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a
szivattyút.
,
VIGYÁZAT!
A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő
egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a
megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén
(nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó dugóval van ellátva.
Ezt a kábelt és csatlakozó dugót megfelelően földelt csatlakozó
aljazattal használja, hogy elkerülje az áramütés veszélyét, és
eleget tegyen az EK normatíváiban lefektetett biztonsági
követelményeknek.
A magasfeszültség, ami az ellenőrző egységben keletkezik,
súlyos sérüléseket, sőt halált okozhat. Mielőtt az egység
belsejében karbantartási munkát végezne, kapcsolja le az
egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt.
Vészleállítás
A TV 301 Navigator vészhelyzetben való azonnali leállításához
el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
48 87-900-946-01(F)
KARBANTARTÁS
A TV 301 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren
végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell
elvégeznie.
,
VIGYÁZAT!
A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a
tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a
szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Varian
szervizközponttal, ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert
a hibás helyett.
MEGJEGYZÉS
Mielőtt javításra vagy cserére visszaküldi a rendszert a
gyártóhoz, az ehhez a gépkönyvhöz csatolt „Egészség és
biztonság” lapot ki kell tölteni és el kell küldeni a helyi
kereskedelmi irodához. A lap egy másolatát szállítás előtt be
kell illeszteni a rendszercsomagba.
Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a
konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően.
MEGSEMMISÍTÉS
A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése.
Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű
irányelvével összhangban kerül alkalmazásra.
Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség
országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen
megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari
hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív
hulladékgyűjtő rendszerbe kell továbbítani.
A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás
beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és
feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a
kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy
egy viszonteladó.
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
49 87-900-946-01(F)
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa
dla
Pomp Turbomolekularnych
Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię
kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą
wirników.
W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a
stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona.
,
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała
operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące
instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi!
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
50 87-900-946-01(F)
OGÓLNE INFORMACJE
Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego.
Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą
instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę
Varian przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się
od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego
lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku
niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w
przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku
braku zastosowania odpowiednich norm krajowych.
System TV 301 Navigator jest zintegrowanym systemem
składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowań
wysokich i ultra wysokich próżni jak i przez odpowiedni system
sterowania tzw. kontroler. System jest w stanie pompować
jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej, ale nie jest
przystosowany do pompowania płynów lub stałych cząstek.
Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę
o wysokiej prędkości (max. 56000 obr./min) napędzaną przez
elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System TV
301 Navigator jest całkowicie bez czynników
zanieczyszczających, i dlatego też jest to system odpowiedni
do zastosowań gdzie jest wymagana tzw.”czysta” próżnia. Poza
ty
m posiada konektory pomocnicze poprzez które istnieje
możliwość zasilania dodatkowego wentylatora, sterowania
zaworem wentylatora, zdalnego pilotowania go poprzez główny
komputer host podłączonego z szeregowym portem (RS232 lub
RS485).
W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie
potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa
operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe
informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym
informacji technicznych „Informacje Techniczne”.
W tej instrukcji zastosowano następujące umowne
znaczenia:
,
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora
co do danej procedury lub danego postępowania którego
nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne
uszkodzenia ciała.
UWAGA !
Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed
procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może
dojść do uszkodzenia aparatury.
INFORMACJA
Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.
MAGAZYNOWANIE
W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego
i niezawodności pomp turbomolekularnych Varian, muszą być
przestrzegane następujące zalecenia:
• podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp,
nie mogą być przekroczone następujące warunki
środowiskowe:
• temperatura: od -20 °C do 70 °C
• względna wilgoć od 0 do 95% ( bez opar)
• klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp
turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób
Soft-Start
• czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej
wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki.
UWAGA !
Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest
dłuższy, należy odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek
informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym
przedstawicielem firmy Varian.
PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI
System TV 301 Navigator jest dostarczany w specjanym
ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do
których mogłoby dojść podczas transportu, należy
skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży.
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną
uwagę aby nie spowodować upadku systemu TV 301 Navigator
ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać
opakowania w środowisku.
Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny jest z
dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony środowiska.
UWAGA !
Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać
gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy
zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub
odpowiednie zabezpieczenie.
INFORMACJA
System TV 301 Navigator, nie może być uszkodzony poprzez
wystawienie go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby
pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała
zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
INSTALACJA
UWAGA !
Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w
momencie połączenia pompy do systemu.
Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach
wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg),
pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z
wysokim zagrożeniem pożaru.
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
51 87-900-946-01(F)
Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać
następujące warunki otoczenia:
− maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem
atmosferycznym
− temperatura: od + 5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w
dodatku “Informacje Techniczne”)
− względna wilgoć 0 -95% (bez opar).
W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być
odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie.
W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz
dodatek “Informacje Techniczne”
TV 301 Navigator musi być podłączony do głównej pompy
(patrz schemat w dodatku “Informacje Techniczne”)
TV 301 Navigator może być zainstalowany w jakiejkolwiek
pozycji. Zamocować TV 301 Navigator w stabilnej pozycji,
łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego
wytrzymałego na obciążenie 1000 Nm wokół własnej osi.
Na przykład kołnierz ISO 100 K może być zamocowany z
zaciskami stalowymi o wysokiej wytrzymalności (typ modelu
Varian IC 63250 DCMZ). Niniejsza tabela przedstawia dla
każdego wymiaru kołnierza, ilość potrzebnych zacisków IC
63250 DCMZ i moment na jaki trzeba je dokrę
cić.
KOŁNIERZ TYP
ZA
CISKU
Nr. MOMENT
DOKRĘCENIA
ISO 100 K Podwójny zacisk
z gwintem M10
4 22 Nm
ISO 160 K Podwójny zacisk
z gwintem M10
4 22 Nm
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie
drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych
informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje
Techniczne”
INFORMACJA
System TV 301 Navigator nie może być mocowany poprzez
własną podstawę.
UWAGA !
TV 301 Navigator należy do drugiej kategorii instalacji (lub
nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego
też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te
wymogi.
TV 301 Navigator posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla
komunikacji szeregowej które muszą być podłączone do
obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część znajdująca
się pod napięciem nie mogła być dostępna. Należy upewnić się
że izolacja podłączonego urządzenia do TV 301 Navigator,
posiada odpowiednie odizolowanie nawet w stanie pojedynczej
usterki zgodnie z wymaganiami normy EN 61010-1.
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
„Informacje Techniczne”.
UŻYTKOWANIE
W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury
operacyjne.
Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie
połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas
ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na
kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C.
,
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz
wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty
z kołnierzem zamknięcia.
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas
operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować
uszkodzenia ciała na osobach.
UWAGA !
Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć
turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska.
Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub
obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe
poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar ( ponad
ciśnienie atmosferyczne).
Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone
w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie
przepływ obojętnego gazu (Azot Argon) dla zabezpieczenia
łożysk (Patrz dodatek „Informacje Techniczne”).
,
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów
toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy
wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych.
Włączenie i Użytkowanie systemu TV 301
Navigator
Aby włączyć TV 301 Navigator wystarczy dostarczyć napięcie
zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie
obecność sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia
pompę.
Pierwsze uruchomienie pompy odbywa się w sposób Soft-Start
który na zakończenie cyklu uruchomienia, wyłącza się
automatycznie, i dlatego też wszystkie następne uruchomienia
odbywają się bez sposobu „Soft-Start” Aby móc ponownie
uruchomić z “Soft-Start” należy włączyć w/w tryb poprzez
oprogramowanie (patrz paragraf “RS 232/485 OPIS
KOMUNIKACJI” w dodatku “Informacje Techniczne”).
Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy TV 301
Navigator wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan
operacyjny systemu:
− zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie
normalnych obrotów;
− miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub
hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for
interlock”;
− miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu.
Zatrzymanie systemu TV 301 Navigator
Aby zatrzymać TV 301 Navigator wystarczy odłączyć napięcie
zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę.
,
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler
Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3
przewodach (zobacz tabelę części dających się zamówić) i
zamontowaną wtyczką (zgodna z międzynarodowymi
normami). Kabel ten podłączyć wraz z wtyczką do kontaktu
uziemionego celem uniknięcia porażeń prądem elektrycznym
oraz spełnienia wymogów norm CE. Duże siły wewnętrzne
wytwarzające się w kontrolerze mogą spowodować poważne
uszkodzenia ciała lub śmierć. Przed przeprowadzeniem
czynności konserwacyjnych wewnątrz tego urządzenia
odłączyć kabel zasilający.
Zatrzymanie Alarmowe
Aby zatrzymać w stanie awaryjno-alarmowym TV 301 Navigator
należy wyciągnąć kabel zasilania ze sterownika.
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
52 87-900-946-01(F)
KONSERWACJA
System TV 301 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji.
Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez
upoważniony personel.
,
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie,
należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór
dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania
wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie
wynosiła poniżej 50°C.
W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego Varian lub "Varian advanced exchange
service",który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu
w zastępstwie uszkodzonego systemu.
INFORMACJA
Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy lub
advanced exchange service, należy obowiązkowo wypełnić i
przekazać do miejscowego biura sprzedaży kartę
„Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji.
Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być włożony do
opakowania systemu przed jego wysyłką.
Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić
do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi
normami w meritum sprawy.
PRZETWORSTWO ODPADOW
Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo
“WEEE”.
Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia
“WEEE” Unii Europejskiej.
Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii
Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony
NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi
domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany
w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki
zroznicowanej .
Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej
weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie
sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca
urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
53 87-900-946-01(F)
Bezpečnostní návod
pro
Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké
množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem
jejich rotorů.
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení
rotoru může dojít k uvolnění rotační energie.
,
VÝSTRAHA!
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány
za účelem prevence zranění obsluhy!
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
54 87-900-946-01(F)
VŠEOBECNÉ INFORMACE
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace
dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli
nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení
těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami,
neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli činností,
která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních
normách.
Vývěva TV 301 Navigator je integrovaný systém
s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro
takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké
vakuum. Zařízení může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou
směs. Není vhodné na čerpání tekutin nebo pevných částic.
Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 56000 ot/min.)
poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem.
Vývěva TV 301 Navigator neobsahuje žádné kontaminující
látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum.
Je vybaveno přídavnými konektory pro připojení přídavného
ventilátoru, ovládání odvzdušňovacího ventilu, který je ovládán
na dálku pomocí hostitelského počítače připojeného sériovou
linkou (RS232 nebo RS485).
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technické informace".
Tento manuál použ
ívá následující standardní protokol:
,
VÝSTRAHA!
Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý
postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly
způsobit vážný úraz.
VAROVÁNÍ
Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě
nedodržení mohly poškodit zařízení.
POZNÁMKA
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
USKLADNĚNÍ
Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost
turbomolekulárních vývěv firmy Varian, musíte dodržovat
následující pokyny:
• Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste
neměli překračovat následující technické podmínky
prostředí:
• Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C
• Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení)
• turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a
poprvé vždycky spouštět pozvolně
• skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode
dne doručení.
VAROVÁNÍ
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty,
vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního
zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian.
PŘÍPRAVA K INSTALACI
Vývěva TV 301 Navigator se dodává ve speciálním ochranném
obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž
mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní
pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte
jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento
materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice
EEC 85/399.
VAROVÁNÍ
Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé
ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny
vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
POZNÁMKA
V normálním prostředí se vývěva TV 301 Navigator nemůže
poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou,
dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila
před jakýmkoli znečištěním a prachem.
INSTALACE
VAROVÁNÍ!
Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému
nesundávejte adhezní a ochranné víko.
Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
55 87-900-946-01(F)
Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané
prostředím:
− maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
− teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v
příloze “Technické informace”)
− relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technické informace".
Vývěva TV 301 Navigator se musí připojit k primárnímu
čerpadlu (viz "Technické informace").
Vývěvu TV 301 Navigator lze instalovat v libovolné poloze.
Vývěvu TV 301 Navigator upevněte v nějaké stabilní poloze a
přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která
snese torzní moment 1000 Nm kolem své osy.
Např. přírubu ISO-K lze připevnit příchytkami z vysoce pevné
oceli (jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Varian). Následující
tabulka uvádí nezbytný počet příchytek IC 63250 DCMZ pro
každou přírubu a příslušný utahovací moment.
PŘÍRUBA PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ
POČET UTAHOVACÍ
MOMENT
ISO 100 K Spony M10 4 22 Nm
ISO 160 K Spony M10 4 22 Nm
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
POZNÁMKA
Vývěvu TV 301 Navigator nelze připevnit pomocí její podstavy.
VAROVÁNÍ
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 301 Navigator do
druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte
do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Vývěva TV 301 Navigator je vybavena vstupními a výstupními
konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí
připojit k externím obvodům tak, aby žádná elektrická součást
nebyla přístupná.
Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 301
Navigator byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle
směrnice EN 61010-1.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 120 °C.
,
VÝSTRAHA!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
VAROVÁNÍ
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (např. N
2
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
"Technické informace").
,
VÝSTRAHA!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
Zapnutí a používání vývěvy TV 301 Navigator
Pro uvedení vývěvy TV 301 Navigator do provozu je nutné
přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje
blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do
provozu.
První spuštění vývěvy je v režimu “pozvolného rozběhu”.
Jakmile bude rozběhový cyklus dokončen, režim “pozvolného
rozběhu” se automaticky vypne a další starty již budou probíhat
bez “pozvolného rozběhu”. Chcete-li opět zapnout režim
“pozvolného rozběhu”, musíte jej aktivovat patřičným
programovým příkazem (viz odstavec “POPIS KOMUNIKACE
RS 232/485” v příloze “Technické informace”).
Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy
TV 301 Navigator indikuje provozní stavy systému blikáním:
• bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
• pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na
blokování”;
• rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Vypnutí vývěvy TV 301 Navigator
Pro vypnutí vývěvy TV 301 Navigator je nutné přerušit síťové
napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví.
,
VÝSTRAHA!
Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla
Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka
dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně
schválenou). Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně
uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu elektrickým
proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES.
Vysoké napětí, které vzniká v controlleru může způsobit vážné
zranění, i smrtelné. Před prováděním zásahů údržby uvnitř
jednotky přívodní kabel odpojte.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy TV 301 Navigator v nouzové
situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
56 87-900-946-01(F)
ÚDRŽBA
Vývěìva TV 301 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré
práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
,
VÝSTRAHA!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy
Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení
výměnou za porouchané.
POZNÁMKA
Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za
repasovaný kus, musíte list "Health and Safety" (Zdraví a
bezpečnost)
přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře
místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
LIKVIDACE
Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku.
Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným
"WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie)
určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován
společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale
je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí
být tříděn a likvidován odděleně od městského odpadu.
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se
nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po
patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o
kompletní likvidaci uvedeného výrobku.
NÁVOD K POUŽITIU
57 87-900-946-01(F)
Bezpečnostný návod
pre
Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo
kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich
rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa
može uvolniť rotačná energia.
,
VAROVANIE!
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne
dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy!
NÁVOD K POUŽITIU
58 87-900-946-01(F)
VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE
Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov.
Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na
použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť
Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti,
zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani
v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené
nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami,
neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej
krajiny.
Zariadenie TV 301 Navigator predstavuje integrovaný systém
s turbomolekulárnou vývevou pre vysoké a ultravysoké
vákuové aplikácie s relevantným kontrolným modulom. Systém
dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je
vhodný na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí.
Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi rýchla turbína (max. 56000
otáčok/minútu), poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým
elektrickým motorom. Zariadenie TV 301 Navigator neobsahuje
žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie,
vyžadujúce „čisté“ vákuum.
Zariadenie je vybavené pomocnými konektormi na pripojenie
ďalšieho ventilátora, na ovládanie vetracieho ventilu a kvôli
možnosti ovládania zo vzdialeného miesta pomocou
hostiteľského počítača, pripojeného cez sériovú komunikačnú
linku (RS232 alebo RS485).
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečnosť
pracovníka v priebehu práce so
zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú
v dodatku
„Technické informácie“.
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
,
VAROVANIE!
Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý
postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže
spôsobiť vážne zranenie.
UPOZORNENIE
Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže
spôsobiť poškodenie zariadenia.
POZNÁMKA
Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.
UCHOVÁVANIE
Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Varian
podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujú-
ce pokyny:
• neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas
prevozu, prenášania a uchovávania vývev:
• rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C
• rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez
kondenzácie)
• zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy
použiť režim soft štartu
• skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov
odo dňa dodania.
UPOZORNENIE
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti
zariadenia, vráťte vývevu do závodu, v ktorom bola vyrobená.
Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian
pre predaj a servis.
PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU
Zariadenie TV 301 Navigator sa dodáva v špeciálnom
ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať
napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie
spoločnosti Varian.
Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie
nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu,
alebo vibráciám.
Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál
je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC
85/399.
UPOZORNENIE
Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte
komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy
používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu.
POZNÁMKA
Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 301
Navigator poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie
zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie
prachom.
INŠTALÁCIA
UPOZORNENIE
Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.
Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom
vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny,
ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké
riziko požiaru.
NÁVOD K POUŽITIU
59 87-900-946-01(F)
Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto
vlastnosti prostredia:
− maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického
tlaku
− teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty
v dodatku “Technické Informácie”)
− relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú
v dodatku „Technické informácie“.
Zariadenie TV 301 Navigator sa musí pripojiť k primárnej
výveve (pozri „Technické informácie“).
Zariadenie TV 301 Navigator môže byť nainštalované
v ľubovoľnej polohe.. Upevnite TV 301 Navigator do stabilnej
polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej
prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim
momentom 1000 Nm okolo svojej osi.
Napríklad príruba typu ISO 100 K môže byť pripevnená
oceľovými svorkami s vysokou pevnosťou (napr. model Varian
IC 63250 DCMZ). Nasledujúca tabuľka ukazuje, pre každý typ
príruby potrebný počet svoriek IC 63250 DCMZ a príslušný
upevňovací krútiaci moment.
PRÍRUBA UPEVŇOVACÍ
MECHANIZMUS
POČET UŤAHOVACÍ
KRÚTIACI
MOMENT
ISO 100 K svorky M10 4 22 Nm
ISO 160 K svorky M10 4 22 Nm
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky
Varian. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.
POZNÁMKA
Zariadenie TV 301 Navigator sa nemôže upevniť pomocou
vlastnej základne.
UPOZORNENIE
Zariadenie TV 301 Navigator patrí do druhej inštalačnej
(prepäťovej) kategórie podľa smernice EN 61010-1. Zariadenie
je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje
uvedenej kategórii.
Zariadenie TV 301 Navigator má konektory pre vstup/výstup
a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť
k vonkajšiemu okruhu tak, aby nebola dostupná žiadna
elektrická súčasť.
Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 301 Navigator má
adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa
smernice EN 61010-1.
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technické
Informácie”.
POUŽITIE
Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia.
Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické
a pneumatické pripojenia.
Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory
nesmie prekročiť 120 °C.
,
VAROVANIE!
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je
pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť
popáleniny
UPOZORNENIE
Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená
nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa
poškodiť ložiská.
Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu,
zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe
musí byť nižší než 2 bar (pretlakový).
Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie
agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného
plynu (napríklad N
2
, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri
dodatok „Technické informácie“).
,
VAROVANIE!
Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých
alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované
postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov.
Zapnutie a použitie zariadenia TV 301
Navigator
Ak chcete zapnúť zariadenie TV 301 Navigator, musíte ho
pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul
automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia
a zapne vývevu.
Prvé spustenie vývevy prebehne v režime „Soft Start (Jemný
štart)“. Po dokončení spúšťacieho cyklu sa režim „Soft Start“
automaticky zablokuje a všetky nasledujúce spustenia
zariadenia prebehnú bez režimu „Soft Start“. Ak chcete režim
„Soft Start“ odblokovať, musíte ho aktivovať vhodným
softwarovým príkazom (pozri časť RS 232/485
„COMMUNICATION DESCRIPTION – Popis komunikácie“
v dodatku „Technické informácie“).
Zelená dióda LED na základnom čelnom paneli zariadenia TV
301 Navigator indikuje frekvenciou blikania spôsob činnosti
systému:
• žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;
• pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom
z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v
režime „Čakanie na spojenie“;
• rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav
Vypnutie zariadenia TV 301 Navigator
Ak chcete vypnúť zariadenie TV 301 Navigator, musíte ho
odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul
vývevu okamžite zastaví.
,
VAROVANIE!
Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť
kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď
tabuľku dielov, ktoré možno objednať) so zástrčkou
(medzinárodne schválenou).
Túto šnúru so zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemnenou
zásuvkou, aby nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli
splnené požiadavky noriem ES.
Vysoké napätie v kontrolnom zariadení môže spôsobiť vážne
škody alebo smrť. Prv než začnete prevádzať údržbárske práce
v tejto jednotke, odpojte napájaciu šnúru.
Núdzové zastavenie
Ak chcete zariadenie TV 301 Navigator okamžite vypnúť
v stave núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky
zdroja napájania.
NÁVOD K POUŽITIU
60 87-900-946-01(F)
ÚDRŽBA
Zariadenie TV 301 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu.
Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný
personál.
,
VAROVANIE!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od
zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný
ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota
povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko
spoločnosti Varian, kde vám pokazený systém vymenia.
POZNÁMKA
Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte
vyplniť dotazník “Zdravie a bezpečnosť”,
Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a
odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka
so systémom a odošlite spolu s ním.
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
LIKVIDÁCIA
Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch.
Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s
názvom "WEEE".
Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená,
že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s
bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí
odstrániť ako delený odpad.
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s
dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za
účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja.
NAVODILA ZA UPORABO
61 87-900-946-01(F)
Varnostna navodila
za
Turbomolekularne črpalke
Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične
energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev.
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe
rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
,
OPOZORILO!
Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja
morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
NAVODILA ZA UPORABO
62 87-900-946-01(F)
SPLOŠNE INFORMACIJE
Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo
mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne
informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren
za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil,
nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo
ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
TV 301 Navigator je integriran sistem s turbomolekularno
črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s
primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali
plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih
delcev. Črpanje se izvaja preko hitre turbine (maks. 56000
rpm), ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. TV 301
Navigator ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za
»čisto« vakuumiranje.
Opremljen je s pomožnimi priljučki za dodaten ventilator, ki
skrbi za nazor šobe za zrak, ki je nadzorovana z računalnikom
preko serijske povezave (RS232 ali RS485).
Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za
varnost tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije
lahko najdete v prilogi »Tehnične informacije«.
Navodila so napisana po naslednjem standardnem
protokolu:
,
OPOZORILO!
Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na
določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb,
če se jih ne drži.
POZOR
Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do
poškodbe opreme.
OPOMBA
Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
SHRANJEVANJE
Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Varian
Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil:
• Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete
preseči naslednjih specifikacij:
• temperaturno območje: -20 °C do 70 °C
• območje relativne vlažnosti: 0 do 95% (brez
kondenza)
• Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo
zmerja zagnati mehko.
• Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev
od datum pošiljanja.
POZOR
Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je
treba črpalko vrniti v tovarno. Za dodatne informacije
kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za
Varian Vacuum.
PRIPRAVA ZA MONTAŽO
TV 301 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če
je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno
pisarno.
Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne
stresajte.
Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti
reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
POZOR
Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z
golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
OPOMBA
Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati
naprave TV 301 Navigator. Kljub temu je priporočljivo, da je
enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste
preprečili onesnaženje s prahom.
MONTAŽA
POZOR!
Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete
turbo črpalko na sistem.
Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je
ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske
agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer
obstaja nevarnost požara.
NAVODILA ZA UPORABO
63 87-900-946-01(F)
Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje:
− Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere
− temperatura: from +5 °C to +35 °C (glejte diagram pritisk-
temperatura v prilogi “Tehnične informacije”)
− Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza)
V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s
feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo
"Tehnične informacije" .
TV 301 Navigator morate priključiti na primarno črpalko (glej
"Tehnične informacije").
TV 301 Navigator lahko montirate v številne pozicije. TV 301
Navigator namestite v stabilem položaj tako, da povežete
vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki
lahko prenese navor 1000 Nm okoli svoje osi.
ISO 100 K prirobnico lahko na primer pritrdite s pomočjo
jeklenih držal (kot pri Varian modelu IC 63250 DCMZ).
Naslednja tabela, za vsako prirobnico,prikazuje število
potrebnih IC 63250 DMZ pritrjeval ter potreben navor za
pritrjevanje.
PRIROBNICA NAPRAVA ZA
PRITRJEVANJE
N. NAVOR
ISO 100 K M10 držala 4 22 Nm
ISO 160 K M10 držala 4 22 Nm
Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije".
OPOMBA
Naprave TV 301 Navigator ne morete fiksirati z njegovo lastno
spodnjo ploskvijo.
POZOR
Po direktivi EN 61010-1 spada TV 301 Navigator v skupino za
drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na
napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Naprava TV 301 Navigator ima vhodne/izhodne in serijske
priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da
noben električni del ni dosegljiv.
Prepričajte se, da je izolacija naprave, priključene na TV 301
Navigator, primerna tudi v primerno ene napake, kar je opisano
v direktivi EN 61010-1.
Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Tehnične informacije«.
UPORABA
Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo.
Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske
povezave.
Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne
prirobnice ne sme preseči 120 °C.
,
OPOZORILO!
Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni
priključena na vakuumsko ležišče.
Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte.
Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
POZOR
Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom
črpalke tekom delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo.
Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez
prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2
bara (nad pritiskom atmosfere).
Za črpanje agresivnih plinov so te črpalke opremljene s
priključkom, ki omogoča stalen pretok inertnih plinov (kot N2,
Ar) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Tehnične informacije”).
,
OPOZORILO!
Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite
zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov.
Vklop in uporaba naprave TV 301 Navigator
Za vključitev TV 301 Navigator morate priključiti napetost.
Vgrajeni kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost
signalov za vklop ter zažene črpalko.
Prvi zagon črpalke je v načinu »mehkega zaganjanja« (»Soft
Start«). Ko se začetni cikel zaključi, se način »Soft Start«
samodejno onemogoči in na voljo so naslednji zagoni brez
načina »Soft Start«. Za ponovno aktiviranje »Soft Start« načina
je potreben ustrezen programski ukaz (glej odstavek »Opis
komunikacije RS 232/485« v prilogi »Tehnične informacije«.
Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 301
Navigator, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje
sistema:
• Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;
• Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v
stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for
interloc«;
• Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka.
Izklop naprave TV 301 Navigator
Za izklop naprave TV 301 Navigator morate prekiniti dovod
napetosti. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko.
,
OPOZORILO!
Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko
triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko
naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).
Uporabljajte ta kabel in vtikač skupaj s primerno ozemljeno
vtičnico, tako, da vas tok ne strese in da zadovoljite EU
predpisom.
Visoka napetost, ki je prisotna v krmilniku, lahko povzroči hude
poškodbe ali smrt. Preden začnete z vzdrževalnimi postopki v
notranjosti, izvlecite napajalni kabel.
Zaustavitev v sili
Za takojšenj izklop naprave TV 301 Navigator je treba izključiti
napetostni kabel iz napetosti.
NAVODILA ZA UPORABO
64 87-900-946-01(F)
VZDRŽEVANJE
Naprave TV 301 Navigator ni potrebno vzdrževati.
Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.
,
OPOZORILO!
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti,
prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte,
da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura
črpalke pade pod 50 °C.
V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki
vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim.
OPOMBA
Preden odnesete sistem na popravilo ali zamenjavo z drugo
enoto, morate izpolniti »Health and Safety« obrazec, ki je
priložen navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni. Pred
pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema.
Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi
standardi.
ODLAGANJE OPADKOV
Pomen znamke "WEEE" na etiketah.
Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod
imenom "WEEE".
Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti)
pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi
komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč morate
poskrbeti za njihovo primerno ločevanje.
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali
pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve
odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili
kupopordajne pogodbe.
INSTRUCTIONS FOR USE
65 87-900-946-01(F)
Safety Guideline
for
Turbomolecular Pumps
Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large
amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific
mass of their rotors.
In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash
the rotational energy may be released.
,
WARNING!
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating
personnel the installation instructions as given in this manual should be
strictly followed!
INSTRUCTIONS FOR USE
66 87-900-946-01(F)
GENERAL INFORMATION
This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions, im-
proper use by untrained persons, non-authorized interference
with the equipment or any action contrary to that provided for by
specific national standards.
The TV 301 Navigator is an integrated system with a turbo-
molecular pump for high and ultra-high vacuum applications
with its relevant controller. The system can pumps any type of
gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or
solid particles. The pumping action is obtained through a high
speed turbine (max. 56000 rpm) driven by a high-performance
3-phase electric motor. The TV 301 Navigator is free of con-
taminating agents and, therefore, is suitable for applications
requiring a "clean" vacuum.
It is equipped with auxiliary connectors to supply an additional
fan, to control the vent valve, to be controlled from a remote site
by means of an host computer connected through a serial line
(RS232 or RS485).
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the equip-
ment. Detailed information is supplied in the appendix "Techni-
cal Information".
This manual uses the following standard protocol:
,
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not fol-
lowed correctly, could lead to serious injury.
CAUTION
The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.
NOTE
The notes contain important information taken from the text.
STORAGE
In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following guide-
lines must be followed:
• when shipping, moving and storing pumps, the following
environmental specifications should not be exceeded:
• temperature range: -20 °C to 70 °C
• relative humidity range: 0 to 95% (non condensing)
• the turbomolecular pumps must be always soft-started
when received and operated for the first time by the cus-
tomer
• the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from
the shipping date.
CAUTION
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has
to be returned to the factory. Please contact the local Varian
Vacuum Sales and Service representative for informations.
PREPARATION FOR INSTALLATION
The TV 301 Navigator is supplied in a special protective pack-
ing. If this shows signs of damage which may have occurred
during transport, contact your local sales office.
When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.
CAUTION
In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands
to handle components which will be exposed to vacuum. Al-
ways use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the TV
301 Navigator. Nevertheless, it is advisable to keep it closed
until it is installed in the system, thus preventing any form of
pollution by dust.
INSTALLATION
CAUTION!
Do not remove the adhesive and protective cap before connect-
ing the turbopump to the system.
Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk.
INSTRUCTIONS FOR USE
67 87-900-946-01(F)
During operation, the following environmental conditions must
be respected:
− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
− temperature: from +5 °C to +35 °C (see the diagram pres-
sure-temperature in the appendix “Technical Information”)
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical In-
formation" for detailed information.
The TV 301 Navigator must be connected to a primary pump
(see "Technical Information").
The TV 301 Navigator can be installed in any position. Fix the
TV 301 Navigator in a stable position connecting the inlet
flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of
withstanding a torque of 1000 Nm around its axis.
For example the ISO 100 K flange can be fixed using high
strength steel clamps (as Varian model IC 63250 DCMZ).
The following table shows, for each flange dimension, the nec-
essary number of clamps IC 63250 DCMZ and the relevant fix-
ing torque.
FLANGE FIXING
DEVICE
N. FIXING
TORQUE
ISO 100 K M10 clamps 4 22 Nm
ISO 160 K M10 clamps 4 22 Nm
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian hard-
ware. See the appendix "Technical Information" for a detailed
description.
NOTE
The TV 301 Navigator cannot be fixed by means of its base.
CAUTION
The TV 301 Navigator belongs to the second installation (or
overvoltage) category as per directive EN 61010-1. Connect the
device to a mains line that satisfy the above category.
The TV 301 Navigator has Input/Output and serial communica-
tion connectors that must be connected to external circuits in
such a way that no electrical part is accessible.
Be sure that the insulation of the device connected to the TV
301 Navigator is adequate even in the case of single fault as
per directive EN 61010-1.
For installation of optional accessories, see "Technical Informa-
tion".
USE
This paragraph details the fundamental operating procedures.
Make all electrical an pneumatic connections before the use of
the system.
While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet
flange must not exceed 120 °C.
,
WARNING!
Never use the turbopump when the inlet flange is not con-
nected to the vacuum chamber or is not blanked.
Do not touch the turbopump or any of its accessories during the
heating process. The high temperatures may cause burns.
CAUTION
Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump
when in operation. The bearings may become damaged.
Use air or inert gas free from dust or particles for venting the
pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar
(above atmospheric pressure).
For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a
special port to allow a steady flow of inert gas (like N
2
, Ar) for
pump bearing protection (see the appendix "Technical Informa-
tion").
,
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases.
Switching on and Use of TV 301 Navigator
To switch on the TV 301 Navigator it is necessary to supply the
mains. The integrated controller automatically recognizes the
interlock and start signals presence and start up the pump.
The first pump start up is in “Soft Start” mode. When the start
up cycle is finished, the “Soft Start” mode automatically is dis-
abled, and the following start ups are without the “Soft Start”
mode. To re-enable the “Soft Start” mode it must be activated
by the suitable software command (see the paragraph “RS
232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” in the appendix
“Technical Information”).
The green LED located on the TV 301 Navigator base front
panel indicates with its flashing frequency the system operating
conditions:
• with no flashing: the pump is normally rotating;
• slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in
ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock”
status;
• fast flashing (period of about 200 ms): error condition.
TV 301 Navigator Switching off
To switch off the TV 301 Navigator it is necessary to remove
the mains. The integrated controller immediately stops the
pump.
,
WARNING!
The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord
(see orderable parts table) and plug (internationally approved)
for user's safety. Use this power cord and plug in conjunction
with a properly grounded power socket to avoid electrical shock
and to satisfy CE requirements. High voltage developed in the
controller can cause severe injury or death. Before servicing the
unit, disconnect the input power cable.
Emergency Stop
To immediately stop the TV 301 Navigator in an emergency
condition it is necessary to remove the supply cable from the
mains plug.
INSTRUCTIONS FOR USE
68 87-900-946-01(F)
MAINTENANCE
The TV 301 Navigator does not require any maintenance. Any
work performed on the system must be carried out by author-
ized personnel.
,
WARNING!
Before carrying out any work on the system, disconnect it from
the mains, vent the pump by opening the appropriate valve,
wait until the rotor has stopped turning and wait until the sur-
face temperature of the pump falls below 50 °C.
In the case of breakdown, contact your local Varian service
center who can supply a reconditioned system to replace that
broken down.
NOTE
Before returning the system to the constructor for repairs, or
replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"
sheet attached to this instruction manual must be filled-in and
sent to the local sales office. A copy of the sheet must be in-
serted in the system package before shipping.
If a system is to be scrapped, it must be disposed of in accor-
dance with the specific national standards.
DISPOSAL
Meaning of the "WEEE" logo found in labels
The following symbol is applied in accordance with the EC
WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.
This symbol (valid only in countries of the European Com-
munity) indicates that the product it applies to must NOT be
disposed of together with ordinary domestic or industrial waste
but must be sent to a differentiated waste collection system.
The end user is therefore invited to contact the supplier of the
device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the
collection and disposal process after checking the contractual
terms and conditions of sale.
TECHNICAL INFORMATION
DESCRIPTION OF THE TV 301 NAVIGATOR
The TV 301 Navigator pumping system consists of
a pump with a dedicated controller fixed to it. The
system
is available in various models that differ in
the high vacuum flange and the controller.
The TV 301 Navigator pump models are:
− Model 969-8918 with ISO 100 high vacuum
flange;
− Model 969-8919 with ConFlat 6” external di-
ameter high vacuum flange;
− Model 969-8920 with ISO 160 high vacuum
flange;
− Model 969-8921 with ConFlat 8” external di-
ameter high vacuum flange.
The TV 301 Navigator kit eight models are:
− Model 969-8824 with ISO 100 high vacuum
flange and 24 Vdc controller;
− Model 969-8825 with ConFlat 6” external di-
ameter
high vacuum flange and 24 Vdc control-
ler;
− Model 969-8826 with ISO 160 high vacuum
flange and 24 Vdc controller;
− Model 969-8827 with ConFlat 8” external di-
ameter
high vacuum flange and 24 Vdc control-
ler;
− Model 969-8828 with ISO 100 high vacuum
flange and 120/220 Vac controller;
− Model 969-8829 with ConFlat 6” external di-
ameter high vacuum flange and 120/220
Vac
controller;
− Model 969-8830 with ISO 160 high vacuum
flange and 120/220 Vac controller;
− Model 969-8831 with ConFlat 8” external di-
ameter high vacuum flange and 120/220
Vac
controller.
The controller is also available in two models:
− 24 Vdc controller: model 969-8972;
− 120/220 Vac controller: model 969-8973.
The following figures show the eight kit models.
Pump Description
The pump consists of a high frequency motor driv-
ing a turbine fitted with 8 bladed stages and
3
Macrotorr stages. The turbine rotates
in an anti-
clockwise direction when viewed from the high
vacuum flange end.
The turbine is made of high-strength aluminium
alloy, machined from a single block.
Model 969-8921 Model 969-8919
Model 969-8827 Model 969-8825
Model 969-8831 Model 969-8829
Model 969-8918 Model 969-8920
Model 969-8824 Model 969-8826
Model 969-8828 Model 969-8830
Proceeding from the high vacuum to the forevac-
uum region, the turbine stages sequence is:
• 1st stage with a blade angle of 42°,
• 2nd stage with a blade angle of 28°,
• 3rd stage with a blade angle of 24°,
• 4th and 5th stages with a blade angle of 20°,
• 6
th
, 7th and 8th stages with a blade angle of
10°.
The Macrotorr stages are in the form of four discs.
The turbine rotor is supported by permanently lu-
bricated high precision ceramic ball
bearings
in-
stalled on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are made of
stainless steel. These are supported
and accu-
rately positioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of self-
positioning machined discs with pumping channels
and an opening restricted by the corresponding
rotor discs. These are made of aluminium alloy.
During normal operation, the motor is fed
with a
voltage of
54 Vac three-phase at 933 Hz. To re-
duce losses during start-up to a minimum, the fre-
quency increases according to a ramp with a
higher initial voltage/frequency ratio.
69 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
The pump can be water cooled or air cooled: in the
first case the customer can use the dedicated
channels on the pump body, in the second case
an external optional fan is available.
A thermistor sensor is mounted near the upper
bearing to prevent the pump from overheating.
The pump is balanced after assembly with a resid-
ual vibration amplitude less than 0.01 μm.
The pump can operate in any position
and can be
supported on the high vacuum flange.
The con-
nection of the forevacuum on the side of the pump
is a KF 16 NW flange (KF25 – optional).
PUMP
CONNECTOR
CABLE
CONTROLLER
Controller Description
The dedicated controller is a solid-state frequency
converter which is driven by a single chip micro-
computer and is composed of two PCBs which
in-
clude power supply and 3-phase output, analog
and input/output section, microprocessor and digi-
tal section.
The power supply, together with the 3-phase out-
put, converts the single phase AC mains supply
into a 3-phase, low voltage, medium frequency
output which is required to power the pump.
The controller can be operated by a
remote host
computer via the serial connection. A
Windows-
based software is available (optional).
TECHNICAL SPECIFICATION
Pumping speed With CFF 8” or
ISO 160:
N
2
: 280 l/s
He: 230 l/s
H
2
: 210 l/s
With CFF 6” or
ISO 100:
N
2
: 250 l/s
He: 220 l/s
H
2
: 200 l/s
Compression ratio N
2
: >2 x 10
8
He: 1 x 10
5
H
2
: 2 x 10
4
Base pressure *
(with recommended
forepump)
mechanical:
< 2 x 10
-10
mbar (< 1.5 x 10
-10
Torr)
diaphragm:
2 x 10
-8
mbar (1.5 x 10
-8
Torr)
Inlet flange CFF 8" O.D. ISO 160
CFF 6” O.D. ISO 100
Foreline flange KF16 NW (KF25 – optional)
Rotational speed 56000 RPM
Start-up time < 3 minutes
Recommended
forepump
mechanical: Varian DS 102
dry pump: Varian SH 100
Operating position any
Cooling
requirements
Natural air convection
Forced air or water optional
Operating ambient
temperature
+ 5° C to + 35° C
Coolant water flow: 200 l/h (0.89 GPM)
temperature: + 10° C to + 30° C
pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi)
Bakeout temperature 120° C at inlet flange max. (CF flange)
80° C at inlet flange max. (ISO flange)
Vibration level
(displacement)
< 0.01 μm at inlet flange
Noise level
≤ 45 dB (A) at 1 meter
Pwr supply (mains):
Input voltage:
Input freq.:
Max input pwr:
Stand-by pwr:
Max oper. power:
100 - 240 Vac
50 - 60 Hz
300 VA
10 W
150 W wi
th water or air cooling
Protection fuse 4 A
Pwr supply (24 Vdc):
Input voltage:
Max input pwr:
Stand-by pwr:
Max oper. power:
24 Vdc
200 W
10 W
150 W wi
th water or air cooling
Protection fuse 8 A
Compliance with: UNI EN 292-1
UNI EN 292-2
EN-CENELEC 55011
IEC 1000-4-2 (ex 801-2)
IEC 1000-4-3 (ex 801-3)
IEC 1000-4-4 (ex 801-4)
EN 61010-1 (IEC 1010-1)
EN 1012-2
Power cable With European or NEMA plug
3 meters long (optional)
Serial communica-
tion (Navigator kit)
RS232 cable with a 9-pin D type
male connector and a 9-pin D type
female connector, and Navigator
software (optional)
Storage temperature -20° C to +70° C
Input 75 Vac, three phase, 963 Hz
Lubricant permanent lubrication
Installation category II
Pollution degree 2
Storage temperature - 20° C to + 70° C
Weight kg (lbs):
Kit:
Controll
er:
ISO 100 and 160: 4.5 (10)
CFF 6” and 8”: 8 (17.6)
1 (2.2)
* (According to
standard DIN 28 428, the base pressure is that
measured in a leak-free test dome, 48 hours after the comple-
tion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a Con-
Flat flange and using the recommended pre-vacuum pump)
70 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
TV 301 NAVIGATOR OUTLINE
NOTE
The following figures show the TV 301 Navigator
outlines (dimensions are in inches [mm]).
When the TV 301 Navigator has been stored at a tem-
perature less than 5°C, wait until the system
has
reached the above mentioned temperature.
TV 301 Navigator outline
71 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure
Graph of compression ratio vs foreline pressure
72 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump
Graph of nitrogen throughput test
73 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
INTERCONNECTIONS
The following figure shows the TV 301 intercon-
nections.
P3 - Vent
This is a dedicated 24 Vdc connector to control the
optional vent valve.
P5 – External fan
This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the
optional external fan.
J5 - IN-OUT
This connector carries all the input and output sig-
nals to remote control the TV 301 Navigator.
It is a 15-pins D type connector; the available sig-
nals are detailed in the table, the following para-
graphs describe the signal characteristics and use.
PIN N. SIGNAL NAME INPUT/
OUTPUT
1 START/STOP (+) IN
2 START/STOP (-) IN
3 INTERLOCK (+) IN
4 INTERLOCK (-) IN
5 SPEED SETTING (+) IN
6 SPEED SETTING (-) IN
7 SOFT START (+) IN
8 SOFT START (-) IN
9 +24 Vdc OUT
10 SPARE
11 PROGRAMMABLE SET POINT OUT
12 SPARE
13 FAULT OUTPUT OUT
14 PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (+)
OUT
15
• GROUND
• PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (-)
OUT
Signal description
START/STOP: input signal to start or stop
the
pump. With the supplied cover connector the
START/STOP (+) signal is connected to the +24
Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the
GROUND pin: in this condition the pump automati-
cally starts as soon as the controller recognises
the input supply ("Plug & Pump").
INTERLOCK: input signal to
control
the pump
rotation. With the supplied cover connector the IN-
TERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc
pin and the INTERLOCK (-)signal to the GROUND
pin.
74 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
SOFT START: this input is used to provide a "soft
start" to the pump; in this condition the ramp-up
time could be up to 45 min.
SPEED SETTING: PWM
input signal to set the
pump speed. The PWM signal characteristics must
be the following:
• frequency: 100 Hz +/-20%
• ampitude: 24 V max
• duty cycle range: from 25% to 75%
• corresponding to a pump speed from 187 Hz
to 963 Hz (see the following diagram).
PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this
out-
put signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) propor-
tional to a reference quantity (frequency or power)
set by the user. The default setting is the fre-
quency (see the following example diagram).
FAULT: this open collector output signal is ON
when a system fault condition is detected.
PROGRAMMABLE SET POINT: this open collec-
tor output signal is enabled when the reference
quantity chosen (frequency, current or
time) is
higher than the set threshold. The signal can be
"high level active" (that is the output is normally at
0 Vdc and becomes 24 Vdc when activated), or
"low level active" (that is the output is normally at
24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated).
Moreover, if the reference quantity is the frequency
or the current drawn, it is possible to set the hys-
teresis (in % of the threshold value) to avoid
bouncing.
For example:
- reference quantity: frequency
- threshold: 500 Hz
- hysteresis: 1%
- activation type: "high level"
The set point output stays at 0 Vdc until the fre-
quency becomes higher than 505 Hz (that is
500
Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes at 24
Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency be-
comes lower than 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of
500 Hz).
It is possible to delay the set point checking for a
programmable delay time.
The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the
following default settings:
- reference quantity: frequency
- thereshold: 867 Hz
- hysteresis: 2%
- activation type: high level
- delay time: 0 second
NOTE
The Navigator Software (optional) allows the op-
erator to set all the programm
able feature.
When no external input-output device is available
this connector must be closed with the supplied
mating connector that short-circuits the START
and INTERLOCK inputs with the GROUND input
(see the following figure).
75 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
How to connect the open collector input of the
controller
Here below there are the typical connections of the
open collector input of TV301 Navigator
to an ex-
ternal system. Two cases are considered:
1. the customer supplies the 24 Vdc
2. the customer does not supply the 24 Vdc.
Please note that on the connector a 24 Vdc, 60
mA voltage,
a GROUND signal and the open col-
lector pin are available.
Case 1
Case 2 with relay utilisation
Case 2 with transistor utilisation
76 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
How to connect the outputs of the controller
The following figure shows a typical logic output
connection (relay coil) but any other device may be
connected e.g. a LED, a computer, etc., and the
related simplified
circuit of the controller. The fig-
ure example refers to the programmable set point
signal on pins 11 and 9.
Typical output connection
J6 - Serial
This is a 9 pin D-type serial input/output connector
to control via an RS 232 or RS
485 connection the
TV 301.
PIN N. SIGNAL NAME
1 +5 V (OUT)
2 TX (RS232)
3 RX (RS232)
4 A+ (RS422 Optional)
5 GND
6 A + (RS485)
7 B - (RS422 Optional)
8 B - (RS485)
9 RESERVED
Note that the vent valve can also be controlled by
means of the serial connection.
A serial communication kit with a serial cable and
the Navigation software is available (optional).
INPUT POWER CONNECTION ON THE MODEL
969-8972
The following figure shows the input power con-
nection relevant to the model n. 969-8972.
RS 232/RS 485 COMMUNICATION
DESCRIPTION
Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are
available on the connector J6.
The communication protocol is the same (see the
structure
below), but only the RS 485 manages the
address field. Therefore to enable the RS 485 is
necessary to select the type of communication as
well as the device address by means of the Navi-
gator software.
Communication Format
• 8 data bit
• no parity
• 1 stop bit
• baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 p
grammable
ro-
Communication Protocol
The communication protocol is a MASTER/SLAVE
type where:
• Hos
t = MASTER
• Controller = SLAVE
The communication is performed in the
following
way:
1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to
the controller (SLAVE);
2.
the controller answer with an ANSWER + CRC
to the host.
The MESSAGE is a s
tring with the following format:
<STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>
+<CRC>
77 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
where:
NOTE
When a data is indicated between two quotes (‘...’)
it means that the indicated data is the correspond-
ing ASCII character.
− <STX>
(Start of transmission) = 0x02
− <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for
RS 232)
<ADDR> (Unit address) = 0x80 + device num-
ber (0 to 31) (for RS 485)
− <WIN>
(Window) = a string of 3 numeric char-
acter indicating the window number (from ‘000’
to ‘999’); for the meaning of each window see
the relevant paragraph.
− <COM>
(Command) = 0x30 to read the window,
0x31 to write into the window
− <DATA> = an alphanumeric ASCII string
with
the data to be written into the window. In case
of a reading command this field is not present.
The field length is variable according to the
data type as per the following table:
DATA TYPE FIELD
LENGTH
VALID
CHARACTERS
Logic (L) 1 ‘0’ = OFF
‘1’ = ON
Numeric (N) 6 ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right
justified with ‘0’
Alphanumeric (A) 10 from blank to ‘_’ (ASCII)
− <ETX>
(End of transmission) = 0x03
− <CRC>
= XOR of all characters subsequent to
<STX> and including the <ETX> terminator.
The value is hexadecimal coded and indicated
by two ASCII character.
The addressed SLAVE will respond with an AN-
SWER
whose structure depends from the MESSAGE
type.
When the MESSAGE is a reading command,
the
SLAVE
will respond transmitting a string with the
same structure of the MESSAGE.
NOTE
Using the RS 485 interface, the message structure
remains identical to the one used for the RS 232
interface, the only difference being that the value
assigned to the ADDRESS <ADDR>
The controller can answers with the following re-
sponse types:
TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION
Logic 1 byte -
After a read instruction
of a logic wi
ndow
Numeric 6 bytes -
After a read instruction
of a numeric wi
ndow
Alphanumeric 10 bytes -
After a read instruction
of an alphanumeric
wi
ndow
ACK 1 byte (0x6)
The command execu-
tion has been success-
fully completed
NACK 1 byte (0x15)
The command execu-
tion has been failed
Unknown
Window
1 byte (0x32)
The specified window
in the command is not
a valid wi
ndow
Data Type
Error
1 byte (0x33)
The data type specified
in the command (Logic,
Numeric or Alphanu-
meric) is not accorded
w
i
th the specified Win-
dow
Out of Range 1 byte
(0x34)
The value expressed
during a wr
ite com-
mand is out of the
range value of the
specified window
Win Disabled 1 byte (0x35)
The specified window
is Read Only or tempo-
rarily
disabled (for
example you can’t writ
the Soft Start when the
Pump is running)
e
Examples:
Command: START
Source: PC
Destination: Controller
02 80 30 30 30 31 31 03 42 33
STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
78 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
Command: STOP
Source: PC
Destination: Controller
02 80 30 30 30 31 30 03 42 32
STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: SOFT-START (ON)
Source: PC
Destination: Controller
02 80 31 30 30 31 31 03 42 32
STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: SOFT-START (OFF)
Source: PC
Destination: Controller
02 80 31 30 30 31 30 03 42 33
STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Window Meanings
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
000 R/W L Start/Stop
(in remote mode
the window is a
read only)
Start = 1
Stop = 0
008 R/W L Remote
(default) or Serial
configuration
Remote = 1
Serial = 0
(default = 1)
100 R/W L Soft Start
(write only in
Stop condition)
YES = 1
NO = 0
101 R/W N Set Point type 0 = Frequency
1 = Current
2 = Time
(default = 0)
102 R/W N Set Point
threshold
(expressed in Hz,
mA or s)
(default = 867)
103 R/W N Set Point delay:
time between the
pump start and
the set point
check (seconds)
0 to 99999
(default = 0)
104 R/W L Set Point signal
activation type:
the signal can be
"high level active"
or "low level ac-
tive"
0 = high level ac-
tive
1 = low level ac-
tive
(default = 0)
105 R/W N Set point
hysteresis
(in % of threshold)
0 to 100
(default = 2)
106 R/W L Water cooling 0 = NO
1 = YES
107 R/W L Active Stop
(write only in
stop)
0 = NO
1 = YES
108 R/W N Baud rate 600 = 0
1200 = 1
2400 = 2
4800 = 3
9600 = 4
(default = 4)
109 W L Pump life/ cycle
time/ cycle num-
ber reset
To reset write ‘1’
110 R/W L Interlock type
(default = 1)
Impulse = 0
Continuous = 1
111 R/W L Analog output
type: output volt-
age signal pro-
portional to
frequency or
power
0 = frequency
1 = power
(default = 0)
120 R/W N Rotational fre-
quency setting
(Hz)
150 to 963
(default = 963)
79 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
121 R/W N Maximum rota-
tional frequency
in Hz (active only
in Stop condition)
150 to 963
(default = 963)
122 R/W L Set vent valve
on/off
(on = closed)
On = 1
Off = 0
(default = 1)
123
124
Reserved to Varian service
125 R/W L Set the vent valve
operation
Automatic = 0
(see note 1.)
On command = 1
(see note 2.)
126 R/W N Vent valve open-
ing
delay
(expressed in 0.2
sec)
0 to 65535
(corresponding to
0 to 13107 sec)
130 Reserved to Varian service
200 R N Pump
current in mA dc
201 R N Pump voltage in
Vdc
202 R N Pump power in
W (pump current
x pump voltage
duty cycle)
203 R N Driving frequency
in Hz
204 R N Pump tempera-
ture in °C
0 to 70
205 R N Pump status Stop = 0
Waiting intlk = 1
Starting = 2
Auto-tuning = 3
Braking = 4
Normal = 5
Fail = 6
206 R N Error code Bit description:
see the following
figure
210 R
(see
note 3.)
N Actual rotation
speed in Hz
100 to 963
300 R N Cycle time in
minutes (zeroed
by the reset com-
mand)
0 to 999999
301 R N Cycle number
(zeroed by the
reset command)
0 to 9999
302 R N Pump life in
hours (zeroed by
the reset com-
mand)
0 to 999999
320
to
399
Reserved to Varian service
400 R A CRC EPROM
(QE)
QE8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
402 R A CRC Param.
(PA)
PA8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
404 R A CRC Parameter
structure
"XXXX"
500 Reserved to Varian service
503 R/W N RS 485 address 0 to 31
(default = 0)
504 R/W L Serial type se-
lect
0 = RS 232
1 = RS 485
(default = 0)
NOTES
1. Automatic means that when the controller
stops, the
vent valve is opened with a delay de-
fined by window n. 126; when the controller
starts, the vent valve is immediately closed.
2. On command means that the vent valve is
opened or closed by means of window n. 122.
3.
These commands remove the pump motor
supply for a short time. If
they are used con-
tinuously, they can cause the pump stopping.
7 6 5 4 3 2 1 0
TOO HIGH LOAD NO CONNECTION
SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP.
OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP.
AUX FAIL POWER FAIL
Window N. 206 Bit Description
80 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
INLET SCREEN INSTALLATION
The inlet screens mod. 969-9302 and 969-9303
prevent the blades of the pump from
being dam-
aged by debris greater than 0.7 mm diameter.
The inlet screen, however, does reduce the pump-
ing speed by about 10%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.
The screen can be mounted on each pump.
The screen can be removed as shown in the fol-
lowing figure.
The following figure shows the overall flange di-
mensions with the protection screen fitted on
pump with ISO flange and pump with CFF flange.
81 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
HEATER BAND INSTALLATION
The heater band model 969-9804 and 969-9803
can be
used to heat the pump casing when a
bakeout is needed.
The heater band is applied to the upper part of the
pump casing,
as shown in the figure, and heats it
to a temperature of about 80° C.
The heater band must be mounted such that there
is perfect thermal contact with the pump wall to ob-
tain fast and efficient heating.
Switch on the heater while the turbopump is in op-
eration. In the event of turbopump overheat, the
pump
will be automatically cut out by the thermis-
tor sensor.
NOTE
The turbopump must be "baked" only when operat-
ing with an inlet pressure less than 10
-4
mbar and
with water cooling.
CAUTION
If the chamber of the system is "baked" at a high
temperature, a shield should be installed to pre-
vent thermal radiation heating the high vacuum
flange on the pump. The maximum temperature
allowed for the inlet flange is 120° C.
AIR COOLING KIT INSTALLATION
TV 301 with Navigator Controller
An air cooling kit (mod. 969-9299) is available to
improve the TV 301 cooling during heavy opera-
tional conditions (optional).
Fan specifications:
− air flow: 140 m
3
/h
− input voltage: 24 Vdc
− dimensions: 119 x 119 x 32 mm
− power: 2.6 W
The fan bracket is shaped so that it can be
mounted close to the pump.
When the pump is supplied by the rack C.U. 969-
9437
or
969-9537 please utilize the special fan ex-
tension cable 969-9949.
82 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
To fix the fan to the TV 301 case execute the fol-
lowing procedure (see the following figure):
1. Fix the fan to the suitable bracket by means of
the furnished screws;
2. Fix the bracket to the pump body between the
pump and the controller;
3. Connect the fan supply to the P4 connector of
the controller.
WATER COOLING KIT INSTALLATION
Two types of water cooling kits are available to be
mounted
when
the pump is used under heavy load
conditions or when air cooling is insufficient.
The two model part numbers are: 969-9337
(metallic model), and 969-9347 (plastic model).
Model 969-9337
Model 969-9347
CAUTION
The items of the plastic model kit must be assem-
bled as shown in the following figure
The assembled kit must be screwed into the suit-
able holes
of the pump body with a recommended
closing torque of 5 Nm.
83 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
The metallic model is assembled as shown in the
figure.
Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic
hoses from the water supply must be fitted to
the
two nozzles.
NOTE
These hoses must be held on the respective noz-
zles using hose clips to avoid that the tube(s) gets
loose or disconnected during operation.
Cooling may be carried out either through an open
circuit with eventual discharge of the water, or us-
ing a closed circuit cooling system.
The water temperature must be between +10°C
and +30°C, with an inlet pressure between 3 and 5
bar. This allows a flow of about 200 l/h.
NOTE
The water electrical conductance must be
≤
500
μ
s/cm. When the conductance is higher, in closed
water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole
is suggested.
VENT ACCESSORIES
The vent valve and vent device allow to avoid
un-
desired venting of the pump during temporary
power failure and enables an automatic vent op-
eration.
TV 301 Navigator Controller Compatible
Vent Valve mod. 969-9834
This vent valve waits before opening a minimum
time of about 5 sec. This time can be
increased up
to about 220 min. by means of a setting of the
Navigator software (optional).
To install the vent valve, unscrew the threaded
plug (see figure below).
Then screw the vent valve into the pump and
tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a
torque of 2.5 Nm.
84 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
CAUTION
Do not overtighten the valve as this may damage
the thread on the pump.
Then connect the cable from the valve to the suit-
able connector on the controller (see the preced-
ing paragraph “INTERCONNECTIONS”).
Standard Rack Controller Compatible
Vent Valve mod. 969-9843
This vent valve has a fixed delay time of about 5
sec. This time can be increased up
to about 220
min. by means of a setting of the Navigator soft-
ware (optional).
To install the vent valve execute the same steps
as the vent valve model 969-9834 (see the above
paragraph).
Vent Device mod. 969-9831
The vent device has adjustable delay time (up to
36 min.).
To install the vent device unscrew and remove the
threaded plug (see figure below).
Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, tak-
ing care of the o-ring right position.
Assemble the seal ring and lock the vent device in
position using the KF klamp.
85 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION
Four vibration isolators for ISO and CFF inlet
flange version pumps are available as accesso-
ries.
The four model part numbers are the following:
− model 969-9344 for ISO 100 flange;
− model 969-9345 for ISO 160 flange;
− model 969-9334 for CFF 6” flange;
− model 969-9335 for CFF 8” flange.
They typically reduce the vibration transmitted
from the TV 301 Navigator to the
system by a fac-
tor of 20.
Please refer to the relevant instruction manual.
PURGE VALVE INSTALLATION
A gas purge valve is available to protect the pump
bearings against particulate and corrosive gases
that could move into the pump.
To
install the gas purge valve it is necessary to
unscrew the purge port cover as
shown in the
following figure
,
and then screw the gas purge valve (with a torque
of 2.5 Nm) as shown in the following figure.
SERIAL CABLE INSTALLATION
The supplied serial cable must be installed when
the TV 301 Navigator or the optional vent valve
have to be controlled by means
of a remote com-
puter.
The cable is installed fixing the 9 pin D-type con-
nector into the P2 serial connector as shown in the
following figure.
86 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
TV 301 CONTROLLER INSTALLATION
The controller can be mounted in two position:
− bottom mounting (as per the complete system)
− side mounting.
To install the controller execute the following pro-
cedures.
Bottom mounting
See the following figure.
1. Turn the pump upside-down;
2. Screw the 4 fixing studs (provided with the ac-
cessories bag) in the holes
on
the bottom of
pump;
3. Place the controller on the studs aligning the 4
rubber holes on the top of the controller case;
4. Press the controller towards the pump;
5. Turn the pump again;
6. Plug the line cord and connect the pump cable
to the pump;
7. Connect the mating connector with the jumper
on the interlock signal to start the pump.
MOUNTING 1
Side mounting
NOTE
The L-shaped bracket (P/N 969-9970) is available
as an option.
See the following figure.
1. Screw the 4 fixing studs (provided with the ac-
cessories bag) in the holes on the
L-shaped
bracket;
2.
Place the controller on the studs aligning the 4
rubber holes on the top of the controller;
3. Press the controller towards the bracket;
4. Turn the pump upside-down;
5. Place the bracket on the pump bottom;
6. Screw a little bit the three screws M4 in the
holes on the pump bottom;
7. Rotate the bracket until the controller is on the
chosen position;
8. Tighten the screws properly;
9. Turn the pump again;
10. Plug the line cord and connect the pump cable
to the pump;
11. Connect the mating connector with the jumper
on the interlock signal to start the pump.
MOUNTING 2
87 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
For ConFlat flange connections we recommend
using Varian hardware.
Connection A - HIGH VACUUM FLANGE
To connect the Turbo-V301 pump to the ISO inlet
flange, remove the outer ring and position
the cen-
tering ring as shown in the figure.
To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-
pro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange.
Attach the units and tighten each one in turn. Re-
peat the sequential tightening until the
flange faces
meet.
CAUTION
Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.
Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.
Connection configurations
88 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
Connection B - FORE-VACUUM PUMP
A flange KF 16 NW is available to connect the
Turbo-V301 pump to the fore-vacuum pump. A
hose or vacuum approved pipe can be used. If a
rigid pipe is used, any vibration generated by the
mechanical
pump must be eliminated through the
use of bellows.
NOTE
The Turbo-V301 pump is characterized by its high
compression ratio also for oil vapors. When using
a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to
install a suitable trap between the turbopump and
the fore-vacuum pump in order to prevent oil
backstreaming.
Connection C - ELECTRICAL
The turbopump is connected to the controller
through an 6-pin connector. Pins B, C and D are
the 3-phase supply to the motor, pins A and F
are
connected to the temperature sensor (NTC type,
30 KΩ resistance at 25° C) and pin E is connected
to the pump ground.
If the temperature sensor is disconnected, the
pump will not start. To prevent damage to the
pump when the temperature exceeds 60°
C, the
sensor automatically cuts out the power supply.
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES
To prevent damage to the bearings, an inert gas
must flow
into the pump body around the upper
bearing towards the forevacuum line. To supply
the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump
through the purge port, connect a gas purge valve
between the pressure regulator and the pump.
Adjust the pressure regulator in order to read a
gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s.
CAUTION
To prevent bearing damage, Varian suggests a
minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17
mbar l/s). This value can be exceeded, according
to the process requirements. Please contact Var-
ian for specific applications.
The purge gas throughput with the recommended
forepump of 15 m
3
/h (11 CFM) allows to achieve a
high vacuum pressure in the 10
-8
mbar range.
The recommended gas flow maintains a pressure
into the pump body higher than the forevacuum
pressure.
The recommended procedure to vent the system
and the pump avoiding the contact between the
pump bearings and the corrosive gas is described
in the following points:
1. Close the corrosive gas flow into the system.
2. Leaving the Turbo-V pump and the backing
pump running and the purge gas
flowing, wait
for enough time to evacuate the corrosive gas
from the system.
3. Turn off the Turbopump.
4. Open the Turbo-V vent port slowly until to
reach atmospheric pressure in the system.
5. When the Turbo-V pump and the backing
pump are
stopped and the system is at at-
mospheric pressure, for a better bearing pro-
tection it is advisable to leave the purge gas
flowing into the Turbo-V pump, with the
chamber or the Turbo-V vent valve opened, to
avoid system overpressures. If the vent valve
can't be kept opened, the backing pump
should be left operating.
Purge layout
1. Purge gas line
2. Pressure regulator
3. Gas purge valve
4. Gas purge port
5. Forevacuum pump
6. Turbopump
7. Vent valve
89 87-900-946-01(F)
TECHNICAL INFORMATION
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC
FIELDS
Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose
to its
rotation.
The result is increased electrical power consump-
tion by the motor, most of which
is dissipated in
the rotor.
Since the rotor is not in contact with the stator the
above power can leave the rotor mainly by radia-
tion
and hence the rotor may be overheated while
static parts of the pump remain cool.
This effect is strongly dependant from the inten-
sity, time function and distribution of the magnetic
field.
In general, therefore, an increase in pump current
can be expected.
If this increase is lower than 50% of the current
value drawn by the motor in high vacuum
opera-
tion, no particular problem should be expected.
However if the effect is grater, than the case
should be
carefully reviewed by Varian's specialist.
As a matter of fact, in case of high magnetic fields,
also important forces might be generated and ap-
plied to the rotor.
ACCESSORIES AND SPARE PARTS
DESCRIPTION PART NUMBER
Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958
Mains cable European Plug, 3m
long
969-9957
Serial cable and Navigator
Software
969-9883
Inlet screen, ISO 100 969-9302
Inlet screen, ISO 160 969-9303
Heater band, 120 V 969-9804
Heater band, 220 V 969-9803
Water cooling kit 969-9337
Plastic water cooling kit 969-9347
Air cooling kit for Navigator
Controller
969-9299
Fan extension cable 969-9949
Bracket for Navigator Controller
side mounting
969-9970
Vibration isolator, ISO 100 969-9344
Vibration isolator, CF 6" 969-9334
Vibration isolator, ISO 160 969-9345
Vibration isolator, CF 8" 969-9335
Vent flange, NW 10 KF / M8 969-9108
Vent device with adjustable delay
time for standard rack controller
969-9831
Vent valve for standard rack con-
troller
969-9843
Vent valve for Navigator Controller 969-9834
Purge valve with KF16 flange 969-9239
Purge valve with 7/16” flange 969-9240
Purge valve KF16-M12 20 SCCM 969-9241
Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 969-9242
Foreline flange KF25 1/4 gas 969-9130
Forepump DS 302, with 1 ph.,
universal motor
949-9325
Forepump MD 60, 120 V 949-9411
Forepump MD 60, 220 V 949-9412
90 87-900-946-01(F)
Request for Return
1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
3. The customer is expected to take the following actions to ensure the
Safety
of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : +1 781 8617200
Fax: +1 781 8609252
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: +39 011 9979111
Fax: +39 011 9979330
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only:
Taxable
Non-taxable
Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...
……………..…………………... ..………………………………...
………………..………………... ..………………………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange
Paid Repair
Warranty Exchange
Warranty Repair
Loaner Return
Credit
Shipping Error
Evaluation Return
Calibration
Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT
been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS
been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……
NOTE:
If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,
the customer
will be held responsible
for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and
is liable
for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..
Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
POSITION PARAMETERS
Does not start
Noise
Vertical
Power: Rotational Speed:
Does not spin freely
Vibrations
Horizontal
Current: Inlet Pressure:
Does not reach full speed
Leak
Upside-down
Temp 1: Foreline Pressure:
Mechanical Contact
Overtemperature
Other: Temp 2: Purge flow:
Cooling defective …………………. OPERATION TIME:
TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS
Bad feedthrough
Poor vacuum
Main seal leak
Bellows leak
Vacuum leak
High voltage problem
Solenoid failure
Damaged flange
Error code on display
Other
Damaged sealing area
Other
Customer application:
Customer application:
LEAK DETECTORS INSTRUMENTS
Cannot calibrate
No zero/high backround
Gauge tube not working
Display problem
Vacuum system unstable
Cannot reach test mode
Communication failure
Degas not working
Failed to start
Other
Error code on display
Other
Customer application:
Customer application:
PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS
Pump doesn’t start
Noisy pump (describe)
Heater failure
Electrical problem
Doesn’t reach vacuum
Over temperature
Doesn’t reach vacuum
Cooling coil damage
Pump seized
Other
Vacuum leak
Other
Customer application:
Customer application:
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.
Sales and Service Offices
France and Benelux
Varian s.a.
7 Avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: (33) 1 69 86 38 84
Fax: (33) 1 69 86 29 88
From Benelux Tel: (31) 118 67 15 70
From Benelux Fax: (31) 118 67 15 69
Canada
Central coordination through:
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free # 1 (800) 882 7426
China
Varian Technologies - Beijing
Rm 1648 Central Tower South Wing
Beijing Junefield Plaza
No. 10 XuanWuMenWai Street
Beijing 100052
P.R. China
Tel: (86) 10 63108550
Fax: (86) 10 63100141
Toll Free: 800 820 6556
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: (49) 6151 703 353
Fax: (49) 6151 703 302
India
Varian India PVT LTD
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: (91) 11 28521171
Fax: (91) 11 28521173
Italy
Varian Inc.
Vacuum Technologies
Via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
03/06
Japan
Varian Vacuum Technologies
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253
Fax: (81) 3 5232 1263
Toll Free: 0120 655 040
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: (82) 2 3452 2452
Fax: (82) 2 3452 2451
Toll Free: 080 222 2452
Mexico
Varian, S. de R.L. de C.V.
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: (52) 5 523 9465
Fax: (52) 5 523 9472
Taiwan
Varian Technologies Asia Ltd.
14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1
Hsi chih, Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: (886) 2 2698 9555
Fax: (886) 2 2698 9678
Toll Free: 0800 051342
UK and Ireland
Varian Ltd.
6 Mead Road
Oxford Industrial Park - Yarnton
Oxford OX5 1QU - England
Tel: (44) 1865 291570
Fax: (44) 1865 291571
United States
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Other Countries
Varian Inc.
Vacuum Technologies
Via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
Customer Support & Service:
North America
Toll-Free: 1 800 882 7426
Europe
Tel: 00 800 234 234 00
China
Toll-Free: 800 820 8266
Japan
Toll-Free: 0120 655 040
Korea
Toll-Free: 080 222 2452
Taiwan
Toll-Free: 0 800 051 342
Worldwide Web Site, Catalog
and Order On-line:
www.varianinc.com
Representative in most countries
Transcripción de documentos
TV 301 Navigator Pump models: 969-8918 969-8919 969-8920 969-8921 Kit models: 969-8824 969-8825 969-8827 969-8826 969-8828 969-8829 969-8830 969-8831 Controller model: 969-8972 969-8973 (I) MANUALE DI ISTRUZIONI (D) BEDIENUNGSHANDBUCH (F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI (E) MANUAL DE INSTRUCCIONES (P) MANUAL DE INSTRUÇÕES (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING (DK) INSTRUKSTIONSBOG (S) BRUKSANVISNING (N) INSTRUKSJON MANUAL (FIN) OHJEKÄSIKIRJA (GR) ODHGIES CRHSEWS (H) FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV (PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI (CZ) NÁVOD K POUŽITÍ (SK) NÁVOD NA OBSLUHU (SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA (GB) INSTRUCTION MANUAL 87-900-946-01(F) JULY 2006 TV 301 Navigator ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................5 MODE D’EMPLOI ...............................................................................................................................................9 INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................13 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................17 GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................21 BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................25 BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................29 BRUKERVEILEDNING .....................................................................................................................................33 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................37 PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................41 HASZNÁLATI UTASÍTÁS .................................................................................................................................45 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................53 NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................57 NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................61 INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................................................................................................................69 DESCRIPTION OF THE TV 301 NAVIGATOR ...........................................................................69 Pump Description ..............................................................................................................69 Controller Description ........................................................................................................70 TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................70 TV 301 NAVIGATOR OUTLINE...................................................................................................71 INTERCONNECTIONS................................................................................................................74 P3 - Vent ............................................................................................................................74 P5 – External fan ...............................................................................................................74 J5 - IN-OUT........................................................................................................................74 J6 - Serial...........................................................................................................................77 INPUT POWER CONNECTION ON THE MODEL 969-8972 .....................................................77 RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION ..................................................................77 Communication Format .....................................................................................................77 Communication Protocol....................................................................................................77 Window Meanings .............................................................................................................79 INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................81 HEATER BAND INSTALLATION.................................................................................................82 AIR COOLING KIT INSTALLATION ............................................................................................82 TV 301 with Navigator Controller.......................................................................................82 WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................83 VENT ACCESSORIES.................................................................................................................84 TV 301 Navigator Controller Compatible...........................................................................84 Standard Rack Controller Compatible ...............................................................................85 VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................86 PURGE VALVE INSTALLATION .................................................................................................86 SERIAL CABLE INSTALLATION.................................................................................................86 TV 301 CONTROLLER INSTALLATION .....................................................................................87 Connection A - HIGH VACUUM FLANGE.........................................................................88 Connection configurations .................................................................................................88 Connection B - FORE-VACUUM PUMP............................................................................89 Connection C - ELECTRICAL............................................................................................89 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................89 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................90 ACCESSORIES AND SPARE PARTS ........................................................................................90 ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. , PERICOLO! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 1 87-900-946-01(F) ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. Il TV 301 Navigator è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (56000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Il TV 301 Navigator è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile alimentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea seriale (RS232 o RS485). Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: Il TV 301 Navigator viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TV 301 Navigator e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. , ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. PERICOLO! I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura. NOTA NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. Il TV 301 Navigator non può essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. IMMAGAZZINAMENTO Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: • durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: • temperatura: da –20 °C a 70 °C • umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante) • il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta • il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione. INSTALLAZIONE ATTENZIONE! Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema. ATTENZIONE! Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian. Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. 2 87-900-946-01(F) ISTRUZIONI PER L'USO Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica − temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice “Technical Information”) − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Il TV 301 Navigator deve essere collegato ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). Il TV 301 Navigator può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TV 301 Navigator in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse. Per esempio la flangia ISO 100 K può essere fissata con morsetti in acciaio ad alta resistenza (tipo modello Varian IC 63250 DCMZ). La seguente tabella descrive, per ogni dimensione flangia, il numero di morsetti IC 63250 DCMZ necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. FLANGIA ISO 100 K ISO 160 K TIPO DI MORSETTO Morsetto doppio con filettatura M10 Morsetto doppio con filettatura M10 N. 4 COPPIA DI SERRAGGIO 22 Nm 4 22 Nm , PERICOLO! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. Accensione ed Uso del TV 301 Navigator Per accendere il TV 301 Navigator è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa. La prima partenza della pompa avviene nel modo “Soft Start” che, al termine del ciclo di avvio, si disabilita automaticamente, per cui tutti i successivi avvii della pompa avvengono senza il modo “Soft Start”. Per riavere una partenza con “Soft Start” attivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite software (vedere il paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” nell’appendice “Technical Information”). Il LED verde posto sul pannello della base del TV 301 Navigator indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: − acceso fisso: la pompa è in rotazione normale; − lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Waiting for interlock”; − lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): condizione di errore. La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". NOTA Il TV 301 Navigator non può essere fissato tramite la sua base. ATTENZIONE! Il TV 301 Navigator appartiene alla seconda categoria di installazione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Il TV 301 Navigator ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso al TV 301 Navigator abbia un isolamento adeguato anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1. Arresto del TV 301 Navigator Per arrestare il TV 301 Navigator è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. , PERICOLO! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale). Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e soddisfare i requisiti delle norme CE. Le alte tensioni che si sviluppano nel controller possono provocare gravi lesioni o la morte. Prima di eseguire delle operazioni di manutenzione all'interno dell'unità scollegare il cavo di alimentazione. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". USO In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C. , ATTENZIONE! Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza il TV 301 Navigator occorre staccare il cavo di alimentazione dal controller. PERICOLO! Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura. Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. 3 87-900-946-01(F) ISTRUZIONI PER L'USO MANUTENZIONE SMALTIMENTO Il TV 301 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. , Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata. Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita. PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto. NOTA Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione. Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. 4 87-900-946-01(F) GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. , GEFAHR! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 5 87-900-946-01(F) GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINE INFORMATIONEN VOR DER INSTALLATION Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Modell TV 301 Navigator ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max. 56000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungs-drehstrommotor angetrieben wird. Modell TV 301 Navigator enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern. Modell TV 301 Navigator verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die ein zusätzlicher Ventilator versorgt, das Entlüftungsventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer über eine serielle Leitung gesteuert werden kann (RS232, RS485). In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: Modell TV 301 Navigator wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 301 Navigator ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für Umweltschutz. , ACHTUNG! Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. GEFAHR! Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. ACHTUNG! HINWEIS Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Modell TV 301 Navigator kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. INSTALLATION LAGERUNG ACHTUNG! Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: • Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: • Temperatur: von –20 °C bis 70 °C • Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend) • Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen. • Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum. Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen. ACHTUNG! Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Varian Vertreter. Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden. 6 87-900-946-01(F) GEBRAUCHSANLEITUNG Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: - Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck - Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im Anhang "Technical Information") - Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend). ACHTUNG! Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information"). Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 301 Navigator ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). Modell TV 301 Navigator kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TV 301 Navigator ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist. Der ISO 100 K-Flansch kann z.B. mit hochfesten Stahlklammern befestigt werden (wie das Varian-Modell IC 63250 DCMZ). Die Tabelle im Anschluss zeigt die erforderliche Anzahl von IC 63250 DCMZ-Klammern und das jeweilige Anzugsmoment für jede Flanschgröße. FLANSCH ISO 100 K ISO 160 K KLEMMSCHELLE Doppelschelle mit Gewinde M10 Doppelschelle mit Gewinde M10 , ANZ. 4 ANZUGSMOMENT 22 Nm Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 301 Navigator 4 22 Nm Zur Einschaltung von Modell TV 301 ist es mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlockund Anlaufsignalen und startet die Pumpe. Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet. Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start" zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information"). Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 301 gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: - Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb. - Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for Interlock”. - Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus. Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". HINWEIS Modell TV 301 Navigator kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. ACHTUNG! Der TV 301 Navigator gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der TV 301 Navigator hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolierung der an den TV 301 Navigator angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird. Stoppen von Modell TV 301 Navigator Zum Stoppen von Modell TV 301 Navigator ist die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. , Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information". GEFAHR! Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene genehmigten) Stecker ausgestattet ist. Verwenden Sie dieses Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend geerdeten Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den Anforderungen der EG-Richtlinien zu entsprechen. Die Hochspannungen, die sich im Controller entwickeln, können zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen. GEBRAUCH In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten. , GEFAHR! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. GEFAHR! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr. Not-Aus Zur Stillsetzung von Mod. TV 301 Navigator in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. 7 87-900-946-01(F) GEBRAUCHSANLEITUNG WARTUNG ENTSORGUNG Modell TV 301 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. , Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EURichtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. GEFAHR! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist. Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advanced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System zur Verfügung stellt. HINWEIS Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Umtauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen. Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen. 8 87-900-946-01(F) MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. , DANGER! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel ! 9 87-900-946-01(F) MODE D’EMPLOI INDICATIONS GENERALES PREPARATION POUR L'INSTALLATION Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui décline par conséquent toute responsabilité en cas de non respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation impropre par un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Le TV 301 Navigator est un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé et ultrapoussé et doté d'un contrôleur. Le système est à même de pomper tous les types de gaz et de composés gazeux mais il n'est pas adapté au pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (56000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Le TV 301 Navigator est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TV 301 Navigator est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander la soupape de ventilation, de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté par ligne sérielle.Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information". Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. , Le TV 301 Navigator est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 301 Navigator et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement. ATTENTION! DANGER! Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions ATTENTION! Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. NOTE Le TV 301 ne peut s'endommager en restant simplement exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation. NOTE Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte. STOCKAGE INSTALLATION Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : • Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: • température : de –20 °C à +70 °C • humidité relative : de 0 à 95% (non condensante) • A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start. • Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d'expédition. ATTENTION! Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de brancher la turbopompe au système. ATTENTION! En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Varian de zone. Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. 10 87-900-946-01(F) MODE D’EMPLOI Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: - pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique - température: de +5°C° à +35°C (Cf. graphique dans "Technical Information") - humidité relative: 0 - 95% (non condensante) ATTENTION! Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer. Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique). Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information"). En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 301 Navigator doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le TV 301 Navigator peut être installée dans n'importe quelle position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 1000 Nm autour de son axe Par exemple le flasque ISO 100 K peut être fixé à l'aide de brides en acier à haute résistance (comme le modèle Varian IC 63250 DCMZ). Le tableau suivant indique, pour chaque dimension de flasque, le nombre de brides IC 63250 DCMZ nécessaires et le couple de fixation correspondant. BRIDE ISO 100 K ISO 160 K TYPE DE COLLIER Collier double à filet M10 Collier double à filet M10 N. 4 COUPLE DE SERRAGE 22 Nm 4 22 Nm , Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. Mise en marche et utilisation du TV 301 Navigator Pour allumer le TV 301 Navigator il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe. La première mise en marche de la pompe se fait en mode "Soft Start". Au terme du cycle de démarrage, ce mode se désactive automatiquement et les mises en marche suivantes se font sans le passage "Soft Start". Pour obtenir à nouveau une mise en marche "Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à l'aide du logiciel (Cf. paragraphe "RS232 COMMUNICATION DESCRIPTION" dans l'appendice "Technical Information"). La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 301 indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: - allumée fixe: la pompe est en rotation normale; - clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock. - clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition d'erreur. La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". NOTE Le TV 301 Navigator ne peut être fixé par sa base. ATTENTION! Le TV 301 Navigator appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. Le TV 301 Navigator dispose de connecteurs pour les entrées/sorties et pour la communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 301 Navigator a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1. Arrêt du TV 301 Navigator Pour arrêter le TV 301 Navigator, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. , Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical Information". DANGER! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à 3 fils (voir le tableau des parties qui peuvent être ordonnées) doté d’une fiche (approuvée à niveau international).Utiliser ce câble et cette fiche avec une prise connectée d’une manière adéquate à terre pour éviter des décharges électriques et satisfaire les requis des normes CE. Les tensions élevées qui se développent dans le contrôleur peuvent provoquer de graves endommagements ou la mort. Avant d’effectuer les opérations d’entretien à l’intérieur de l’unité débrancher le câble d’alimentation. UTILIZATION Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C. , DANGER! DANGER! Arrêt d'urgence Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de fermeture. Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut être à l'origine de lésions graves. Pour arrêter le TV 301 Navigator en conditions d'urgence, il faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur. 11 87-900-946-01(F) MODE D’EMPLOI ENTRETIEN MISE AU REBUT Le TV 301 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. , Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ménagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de collecte sélective. Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. DANGER! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C. En cas de panne, il est possible de bénéficier du service réparations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du système endommagé. NOTE Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales concernant la gestion des déchets. 12 87-900-946-01(F) INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. , ¡PELIGRO! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 13 87-900-946-01(F) INSTRUCCIONES DE USO INFORMACIÓN GENERAL PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN El TV 301 Navigator se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TV 301 Navigator y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente. Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas. El TV 301 Navigator es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el controler correspondiente. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de composición gaseosa, pero no es adecuado para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (56000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El TV 301 Navigator no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”. Asimismo, el TV 301 Navigator posee conectores auxiliares con los que se puede alimentar un ventilador adicional, accionar la válvula de ventilación, pilotarla a distancia con un ordenador host conectado mediante línea serial (RS 232/RS 485). A continuación se facilita toda la información necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo “Technical Information” se facilita información más detallada. Este manual utiliza las convenciones siguientes: , ¡ATENCIÓN! Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. ¡PELIGRO! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. ¡ATENCIÓN! Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato. NOTA NOTA El TV 301 Navigator no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo. Las notas contienen información importante extraída del texto. ALMACENAMIENTO Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: • durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: • temperatura: entre –20 °C y 70 °C; • humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante); • el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; • el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. INSTALACIÓN ¡ATENCIÓN! Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba al sistema. ¡ATENCIÓN! En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Varian. No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. 14 87-900-946-01(F) INSTRUCCIONES DE USO Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: - presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica - temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo “Technical Information”) - humedad relativa: 0-95% (no condensadora). ¡ATENCIÓN! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 301 Navigator ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). El TV 301 Navigator puede instalarse en cualquier posición. Fijar el TV 301 Navigator en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje. Por ejemplo la brida ISO 100 K puede ser fijada con mordazas en acero de alta resistencia (tipo modelo tipo Varian IC 63250 DCMZ). La tabla siguiente describe, para cada dimensión de brida, el número de mordazas IC 63250 DCMZ necesarios y con cual par de apriete apretarlos. BRIDA ISO 100 K ISO 160 K TIPO DE MORDAZA Mordaza doble con rosca M10 Mordaza doble con rosca M10 N. 4 PAR DE APRIETE 22 Nm 4 22 Nm , Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya gases explosivos. Encendido y Uso del TV 301 Navigator Para encender el TV 301 Navigator basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba. La primera salida de la bomba se realiza en el modo “Soft Start” que, al final del ciclo de puesta en marcha, se deshabilita automáticamente, por lo tanto cuando la bomba se ponga en marcha posteriormente se hará sin “Soft Start”. Para volver a utilizar una puesta en marcha “Soft Start” activa es necesario rehabilitar la forma anteriormente indicada mediante software (véase el apartado “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”). El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 301 indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: - encendido fijo: la bomba está en rotación normal; - parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ; - parpadea rápidamente (periodo de 200 ms aproximadamente): condición de error. La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos específicos Varian. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. NOTA El TV 301 Navigator no puede fijarse utilizando su base. ¡ATENCIÓN! El TV 301 Navigator pertenece a la segunda categoría de instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. El TV 301 Navigator tiene conectores para las entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser conectados a los circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión quede accesible. Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado al TV 301 Navigator mantenga una acción aisladora incluso en caso de verificarse una avería, de conformidad con lo establecido por la normativa EN 61010-1. Parada del TV 301 Navigator Para parar el TV 301 Navigator nte con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”. , USO ¡PELIGRO! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente). Utilizar el cable y el enchufe junto con un tomacorriente adecuadamente conectado a tierra para evitar descargas eléctricas y cumplir con los requerimientos de las normas CE. Las altas tensiones que se desarrollan en el controlador pueden provocar graves daños o incluso resultar fatales. Desconectar el cable de alimentación antes de ejecutar las operaciones de mantenimiento en el interior de la unidad. En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC. , ¡PELIGRO! ¡PELIGRO! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre. No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. Parada de Emergencia Para detener en condiciones de emergencia el TV 301 Navigator es necesario desconectar del controlador el cable de alimentación. 15 87-900-946-01(F) INSTRUCCIONES DE USO MANTENIMIENTO ELIMINACIÓN El TV 301 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. , Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada. Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50ºC. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado. NOTA Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o “advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo. En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo respetando las normas nacionales específicas. 16 87-900-946-01(F) INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. , PERIGO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 17 87-900-946-01(F) INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. O TV 301 Navigator é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso, mas não é adequado para bombear líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (56000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O TV 301 Navigator é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Além disso, o TV 301 Navigator tem conectores auxiliares através dos quais é possível alimentar um ventilador adicional, comandar a válvula de vent, accioná-lo por um controlo remoto através de um computer host conectado por meio de linhas seriais (RS 232/RS 485). Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do operador durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções: O TV 301 Navigator é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e em conformidade com a norma CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. , ATENÇÃO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. PERIGO! As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. ATENÇÃO! As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem. NOTA As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA O TV 301 Navigator não pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó. ARMAZENAGEM Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas as seguintes prescrições: • durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: • temperatura: de –20 °C a 70 °C • umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante) • ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start • o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição. INSTALAÇÃO ATENÇÃO! Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema. ATENÇÃO! Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Varian. Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. 18 87-900-946-01(F) INSTRUÇÕES PARA O USO Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: - pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica - temperatura: de + 5ºC a + 35ºC (consultar a planilha no apêndice “Technical Information”) - humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). ATENÇÃO! Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão atmosférica). Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”). Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 301 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). O TV 301 Navigator pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TV 301 Navigator em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo. Por exemplo, a flange ISO 100 K pode ser fixada com grampos de aço de alta resistência (como o modelo Varian IC 63250 DCMZ). A tabela seguinte descreve, para cada dimensão de flange, o número de grampos IC 63250 DCMZ necessários e o torque de aperto a utilizar. FLANGE ISO 100 K ISO 160 K TIPO DE BORNE Borne duplo rosca M10 Borne duplo rosca M10 N com 4 TORQUE DE APERTO 22 Nm com 4 22 Nm , Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. Acendimento e Utilização do TV 301 Navigator Para ligar o TV 301 é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba. O primeiro accionamento da bomba faz-se em “Soft Star” que, no fim do ciclo de arranque, se desactiva automaticamente, portanto, todos os sucessivos arranques da bomba não serão em “Soft Start”. Para poder arrancar a bomba em “Soft Start”, será preciso reactivar o modo acima referido utilizando o software (consultar o parágrafo “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” no apêndice “Technical Information”). A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do TV 301, indica, através da frequência de intermitência, as condições operacionais do sistema: - acesa fixa: a bomba funciona normalmente; - intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”. - intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de erro. A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada na câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". NOTA O TV 301 não pode ser fixado através da sua base. ATENÇÃO! O TV 301 Navigator pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. O TV 301 Navigator tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo ligado ao TV 301 Navigator esteja isolado correctamente mesmo em caso de avaria, conforme previsto pela norma NE 61010-1. Para a instalação dos "Technical Information". acessórios opcionais, Paragem do TV 301 Navigator Para parar o TV 301 Navigator é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. consultar , UTILIZAÇÃO PERIGO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem ser encomendadas) equipado de uma tomada (aprovada a nível internacional). Utilize este cabo e tomada juntos com uma tomada adequadamente conectada a terra para evitar choques eléctricos e satisfazer os requisitos das normas CE. As altas tensões que se desenvolvem no controller podem provocar graves danos ou até morte. Antes de realizar operações de manutenção no interno da unidade, desligar o cabo de alimentação. Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. , PERIGO! PERIGO! Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange de fecho. Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. Paragem de Emergência Para parar o TV 301 Navigator em condições de emergência é necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação. 19 87-900-946-01(F) INSTRUÇÕES PARA O USO MANUTENÇÃO ELIMINAÇÃO O TV 301 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. , Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada. Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. PERIGO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC. Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter um sistema regenerado que substitua a bomba com defeito. NOTA Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações ou o “advanced exchange service”, é indispensável preencher e enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedição. Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. 20 87-900-946-01(F) GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. , GEVAAR! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 21 87-900-946-01(F) GEBRUIKSAANWIJZINGEN UITPAKKEN ALGEMENE INFORMATIE De TV 301 Navigator wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 301 Navigator niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399. Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving De TV 301 Navigator is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat. Het systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 56000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De TV 301 Navigator is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De TV 301 Navigator is bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee een extra ventilator kan worden gevoed, de luchtuitlaatkleppen kunnen worden aangestuurd, en waarmee het systeem d.m.v. een serieel aangesloten host computer op afstand kan worden bediend (RS 232/RS 485). In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: , ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. GEVAAR! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. ATTENTIE! Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. OPMERKING De TV 301 Navigator kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPSLAG INSTALLATIE Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: • tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: • temperatuur: van –20 °C tot 70 °C • relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend) • de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld • de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum. ATTENTIE! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. ATTENTIE! Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Varian. De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar 22 87-900-946-01(F) GEBRUIKSAANWIJZINGEN Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn - max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk - temperatuur: van +5°C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage “Technical Information”) - relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie De TV 301 Navigator moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). De TV 301 Navigator kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de TV 301 Navigator in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De flens ISO 100 K kan bijvoorbeeld worden bevestigd met stalen klemmetjes met grote weerstand (zoals model Varian IC 63250 DCMZ). De volgende tabel geeft per flensafmeting het benodigde aantal klemmetjes IC 63250 DCMZ en het bijbehorende aandraaimoment. ATTENTIE! Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen. Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). , FLENS ISO 100 K NR. AANHAAL KOPPEL KLEMTYPE Dubbele klem met 4 22 Nm M10 schroefdraad ISO 160 K Dubbele klem met 4 22 Nm M10 schroefdraad De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical information". Inschakeling en gebruik van de TV 301 Navigator Om de TV 301 Navigator in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp. De eerste start van de pomp geschiedt op de wijze “Soft Start” die, aan het einde van de startcyclus, automatisch ontmachtigd wordt. Vandaar dat alle volgende starts niet op de wijze “Soft Start” geschieden. Om opnieuw met “Soft Start” te starten, moet bovengenoemde wijze met behulp van de software gemachtigd worden (zie paragraaf “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” in de bijlage “Technical Information”). De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV 301 geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: - brandt onafgebroken: de pomp draait normaal; - knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for interlock”; - knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand. OPMERKING De TV 301 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. ATTENTIE! De TV 301 Navigator behoort tot de tweede installatiecategorie (of overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. De TV 301 Navigator bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is. Controleer of de inrichting verbonden met de TV 301 Navigator goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1. Afzetten van de TV 301 Navigator Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp. , Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. GEVAAR! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale goedkeuring). Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de vereisten van de EG-normen. De in de controller ontwikkelde hoge voltage kan ernstige letsels of de dood veroorzaken. Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden aan het systeem uit te voeren. GEBRUIK In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen. , GEVAAR! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. GEVAAR! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is. Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. Noodstop Om de TV 301 Navigator in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. 23 87-900-946-01(F) GEBRUIKSAANWIJZINGEN ONDERHOUD AFVALVERWERKING De TV 301 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. , Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld. De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben gecontroleerd. GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 24 87-900-946-01(F) BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. , ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 25 87-900-946-01(F) BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION FORBEREDELSE FØR INSTALLATION Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler. TV 301 Navigator-systemet omfatter en turbomolekylær pumpe til høje eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed. Systemet er i stand til at pumpe en hvilken som helst form for gas eller gaslignende luftarter, men systemet kan ikke anvendes til pumpning af væske eller af faste partikler. Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (56000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TV 301 Navigator er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. TV 301 Navigator har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse (RS 232/RS 485). De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk Information” indeholder detaljerede oplysninger. I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: TV 301 Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 301 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. , VIGTIGT! Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse. ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. VIGTIGT! Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at risikere maskinskader. BEMÆRK BEMÆRK Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 301 Navigator. Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. OPBEVARING Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Varian: • Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: • temperatur: fra –20 °C til +70 °C, • relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende). • Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang. • De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. INSTALLATION VIGTIGT! Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes systemet. VIGTIGT! Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian repræsentant. Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. 26 87-900-946-01(F) BRUGSANVISNING Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: - max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk - temperatur: fra +5°C til + 35°C (se illustrationen i bilaget “Teknisk Information”) - relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) VIGTIGT! Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”). Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for yderligere oplysninger. TV 301 Navigator skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Teknisk Information”). TV 301 Navigator kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TV 301 Navigator i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 1000 Nm omkring akselen. Flangen ISO 100 K kan for eksempel fastgøres med klemmer af højstyrkestål (type Varian-model IC 63250 DCMZ). Nedenstående tabel viser, hvor mange klemmer af typen IC 63250 DCMZ der kræves alt efter flangens størrelse, samt med hvilket spændingsmoment de skal strammes. LANGE ISO 100 K ISO 160 K KLEMMETYPE ANT. Dobbelt klemme med M10 gevind Dobbelt klemme med M10 gevind 4 DREJNINGSMOMENT 22 Nm 4 22 Nm , Start og anvendelse af TV 301 Navigator For at starte TV 301 er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen. Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START metoden. Når startprocessen er afsluttet, frakobles denne funktion automatisk med hensyn til alle efterfølgende aktiveringer af pumpen, der vil ske uden SOFT START metoden. For at aktivere SOFT START metoden på ny skal ovennævnte måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit “RS 232 “COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilaget “Teknisk Information”). Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 301’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: - konstant tændt: pumpen er i normal rotation - langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling for acceleration, bremsing, stop eller “Waiting for interlock” - hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl. Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I bilaget “Teknisk Information” findes yderligere detaljer. BEMÆRK Navigator TV 301 kan ikke fastgøres i fundamentet. VIGTIGT! TV 301 Navigator hører til den anden installationsklasse (eller overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. TV 301 Navigator er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er tilsluttet TV 301 Navigator, har en passende isolering. Dette gælder også i tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010-1. Stop af TV 301 Navigator For at afbryde TV 301 Navigator er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. , ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på international plan). Benyt dette kabel og stik sammen med en stikkontakt, som på passende måde er forbundet til jorden for at undgå elektriske stød og opfylde kravene ifølge CE(EF) normerne. De høje spændinger, som udvikles i controller'en, kan forårsage alvorlige skader eller døden. Før der foretages vedligeholdelses-operationer inde i enheden, skal man koble fødekablet fra. Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger vedrørende installation af ekstraudstyret. ANVENDELSE Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 120° C. , ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Nødstop Afbrydelse af TV 301 Navigator i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden. ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen. Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på personer. 27 87-900-946-01(F) BRUGSANVISNING VEDLIGEHOLDELSE BORTSKAFFELSE TV 301 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. , Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på en godkendt affaldsstation. Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under 50°C. I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”, der udskifter systemet med et repareret system. BEMÆRK Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian advanced axchange service” skal “Sikkerhedsog tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse. Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. 28 87-900-946-01(F) BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. , VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 29 87-900-946-01(F) BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Systemet TV 301 Navigator bestär av en turbomolekylär pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en styrenhet. Systemet kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte systemet för pumpning av vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 56000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga tillsatsämnen används i TV 301 Navigator, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TV 301 Navigator har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en hostdator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485). De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information". I bruksanvisningen används följande standardrubriker: TV 301 Navigator levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 301 Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd. , VIKTIGT ! Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. VIKTIGT ! Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå. OBSERVERA OBSERVERA Detta visar på viktig information i texten. Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 301 Navigator. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. FÖRVARING Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar: • Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: • Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. • Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). • Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången. • De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. INSTALLATION VIKTIGT ! Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till systemet. VIKTIGT ! Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala Varian-återförsäljaren för ytterligare information. Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. 30 87-900-946-01(F) BRUKSANVISNING Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: - maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) - temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical Information”) - relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens). VIKTIGT! Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket). För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan “Technical information”). I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TV 301 Navigator måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). TV 301 Navigator kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 1000 Nm kring sin axel. Flänsen ISO 100 K kan till exempel fixeras med höghållfasta stålbyglar (modell Varian IC 63250 DCMZ). , I tabellen nedan beskrivs det antal byglar IC 63250 DCMZ som erfordras för varje flänsdimension och med vilket moment de ska dras åt. FLÄNS TYP AV KLAMMER ANT. ÅTDRAGNINGSMOMENT ISO 100 K Dubbel klammer, gänga M10 4 22 Nm ISO 160 K Dubbel klammer, gänga M10 4 22 Nm Start och användning av TV 301 Navigator För att starta TV 301 behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglingsoch startsignaler, och startar pumpen. Pumpens första start sker i "Mjukstart"-läget som i slutet av inledningscykeln slås av automatiskt. Därefter sker pumpens inledningar utan funktionen "Mjukstart". För att återaktivera "Mjukstart" måste man återställa ovannämnda läge genom mjukvaran (se stycket "RS 232 COMMUNICATlON DESCRIPTION" i bilagan "Technical information"). Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TV 301 anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: • fast sken: pumpen roterar normalt; • långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i lage för acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for interlock"; • hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd. Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga ”Technical Information” OBSERVERA TV 301 Navigator-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. VIKTIGT ! Att stänga av TV 301 Navigator TV 301 Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. TV 301 Navigator är utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går att komma åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till TV 301 Navigator har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1. Installation av Information”. tillbehörsutrustning beskrivs i Om du vill stänga av TV 301 Navigator behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. , VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar) tillsammans med kontakt (godkänd på internationell nivå). Använd sladden och kontakten tillsammans med en jordad anslutning för att undvika stötar och enligt krävande EU normer. Den höga spänningen som framkallas av controller enheten kan orsaka personskador eller till och med döda. Dra därför alltid ur strömkabeln innan eventuella underhållsarbeten utförs inuti enheten. "Technical ANVÄNDNING Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C. , VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Nödstopp Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av TV 301 Navigator. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen. Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika brännskador. 31 87-900-946-01(F) BRUKSANVISNING UNDERHÅLL BORTSKAFFNING TV 301 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. , Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CDdirektivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas. Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system. OBSERVERA Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning. 32 87-900-946-01(F) BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. , ADVARSEL! For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye! 33 87-900-946-01(F) BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON KLARGJØRE TIL INSTALLASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. TV 301 Navigator systemet består av en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. Det er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 56000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. TV 301 Navigator har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. TV 301 Navigator har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter for forsyning av en ekstra vifte, styring av utluftingsventilen, og fjernstyring av systemet med en serietilkoplet vertsmaskin. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll : TV 301 Navigator leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 301 Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. , FORSIKTIG! For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. FORSIKTIG! Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. MERK MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 301 Navigator. Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. LAGRING For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: • Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: • Temperatur: fra –20 °C til 70 °C. • Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering). • Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang. • Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. INSTALLASJON FORSIKTIG! Tapen og beskyttelsesproppen turbopumpen koples til systemet. skal fjernes først når FORSIKTIG! Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Varian-forhandleren for informasjon. Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. 34 87-900-946-01(F) BRUKERVEILEDNING Under bruk må følgende forhold respekteres: - maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) - temperatur: fra +5°C til +35°C (se diagram i tillegget “Teknisk informasjon”) - relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) FORSIKTIG! Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Teknisk informasjon). Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. TV 301 Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Teknisk informasjon"). TV 301 Navigator kan monteres i en valgfri stilling. Fest TV 301 Navigator i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm rundt aksen. For eksempel ISO 100 K flensen kan festes ved å bruke ekstra resistente stål klemmer (som Varian modell IC 63250 DCMZ). Følgende tabell viser det nødvendige antall klemmer IC 63250 DCMZ og den tilsvarende festeanordning for hver enkelt flens dimensjon. FLENS ISO 100 K ISO 160 K TYPE KLEMME Dobbel klemme, gjenge M10 Dobbel klemme, gjenge M10 ANT. 4 STRAMMEMOMENT 22 Nm 4 22 Nm , Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Starte og bruke TV 301 Navigator TV 301 startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkeringsog startsignaler, og starter pumpen. Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som etter denne første igangsettingssyklusen desaktiveres, slik at etterfølgende igangsettinger skjer uten MYK START. For å oppnå en MYK START igjen er det nødvendig å tilbakestille modusen via software (se avsnittet “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” i tillegget “Teknisk Informasjon”). Den grønne lysdioden LD1 på TV 301 basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink: - den lyser fast: pumpen roterer normalt - den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for interlock” - den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand. Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”. MERK TV 301 Navigator må ikke festes gjennom fundamentet. FORSIKTIG! TV 301 Navigator hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) nummer 2 i følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen. TV 301 Navigator er utstyrt med koplingsstykker for inn/utgangene og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre strømkretsene slik at ingen deler under spenning er tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 301 Navigator har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden. For installasjon informasjon". av Stoppe TV 301 Navigator TV 301 Navigator stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. , ADVARSEL! Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet. Bruk denne kabelen og støpselet sammen med en egnet jordet kontakt for å unngå elektrisk støt og for å overholde EU forskriftene. tilleggsutstyr vises det til "Teknisk BRUK Høyspenningene som utvikler seg inne i styreenheten kan føre til alvorlige skader eller dødsulykker. Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120°C. , ADVARSEL! Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 301 Navigator i en nødsituasjon. ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. 35 87-900-946-01(F) BRUKERVEILEDNING VEDLIKEHOLD ELIMINERING TV 301 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. , Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til ECdirektiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må legges i kildesortering. Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50°C. Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte system til erstatning for det ødelagte systemet. MERK Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for et overhalt system, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet som sendes tilbake. Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. 36 87-900-946-01(F) KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. , VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 37 87-900-946-01(F) KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. TV 301 Navigator on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (56000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. TV 301 Navigator -järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. TV 301 Navigator -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla on mahdollista käyttää lisätuuletinta, ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen avulla (RS 232/RS 485). Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”. Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: TV 301 Navigator toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 301 Navigatorin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY-direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta. , HUOMIO! Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. VAARA! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. HUOMIO! Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. HUOM HUOM TV 301 Navigator ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. VARASTOINTI Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: • Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: • lämpötila: -20 °C - 70 °C. • suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä). • Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. • Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. ASENNUS HUOMIO! Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi turbopumppu kytketään järjestelmään. vasta, kun HUOMIO! Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varianedustajalta. Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. 38 87-900-946-01(F) KÄYTTÖOHJEET Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: - maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen - lämpötila: + 5°C - +35°C (ks. “Tekniset tiedot” -liitteen kaaviota). - suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä) HUOMIO! Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Tekniset tiedot” -liite). Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä. TV 301 Navigator tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset tiedot” -liitteen kaaviota). TV 301 Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää TV 301 Navigator vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 1000 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Esimerkiksi laippa ISO 100 K voidaan kiinnittää suurta rasitusta kestävillä teräspuristimilla (tyyppiä Varian IC 63250 DCMZ). Seuraavassa taulukossa on lueteltu tarvittavat puristimet IC 63250 DCMZ jokaista laippakokoa kohti sekä vaadittava kiristysmomentti. LAIPPA ISO 100 K ISO 160 K KIINNIKE MÄÄ-RÄ Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 4 KIRISTYSMOMENTTI 22 Nm 4 22 Nm , TV 301 Navigatorin käynnistys ja käyttö TV 301 Navigatorin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun. Pumpun ensimmäinen käynnistys tapahtuu “Soft Start” menetelmällä, joka inaktivoituu automaattisesti käynnistysjakson jälkeen. Siten pumpun seuraavat käynnistykset tapahtuvat ilman “Soft Start” -toimintoa. Jotta käynnistys voitaisiin suorittaa uudelleen “Soft Start” menetelmällä, tulee yllämainittu tapa aktivoida uudelleen ohjelmiston kautta (ks. kappale “RS 232 VIESTINNÄN KUVAUS” “Tekniset tiedot” -liitteessä). Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 301:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: - palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; - vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”tilassa; - vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila. Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä. HUOM TV 301 Navigatoria ei voida kiinnittää perustansa kautta. HUOMIO! TV 301 Navigator kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. TV 301 Navigator laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että TV 301 Navigator laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla. TV 301 Navigatorin pysäyttäminen TV 301 Navigatorin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. Ks. “Tekniset tiedot” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten. , KÄYTTÖ VAARA! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa). Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein maadoitetun pistorasian kanssa, jotta sähköiskuilta vältytään ja CE- normien vaatimukset täyttyvät. Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia onnettomuuksia tai jopa kuoleman. Irrota sähkökaapeli ennen yksikön sisälle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista. Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120°C:tta. , VAARA! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. VAARA! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden loukkaantumisia. Hätäpysäytys TV 301 Navigator on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli ohjausyksiköstä. 39 87-900-946-01(F) KÄYTTÖOHJEET HUOLTO HÄVITTÄMINEN TV 301 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. , Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEEdirektiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50ºC:en. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service" vaihtopalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun vahingoittuneen tilalle. HUOM Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla. 40 87-900-946-01(F) ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήματος, για παράδειγμα επαφής ρότορα / επαγωγέα ή ακόμη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα, η ενέργεια περιστροφής μπορεί να ελευθερωθεί. , KINDUNOS! Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισμού και για την πρόληψη τραυματισμών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης, όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς! 41 87-900-946-01(F) ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj egceir∂diou odhgièn kai opoiadˇpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ˇ crˇsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. To TV 301 Navigator e∂nai ◊na oloklhrwm◊no sÚsthma apoteloÚmeno apÒ m∂a strobilomoriakˇ antl∂a gia efarmog◊j uyhloÚ kai uper uyhloÚ kenoÚ, oloklhrwm◊no apÒ to scetikÒ elegktˇ (controller). To sÚsthma e∂nai ikanÒ na antlˇsei opoiodˇpote e∂doj aer∂ou ˇ aerioÚco proi>Òn, all£ den e∂nai kat£llhlo gia thn £ntlhsh ugrèn ˇ stereèn swmat∂diwn. H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou peristr◊fetai se uyhlˇ tacÚthta (56000 str.§lept. max.) kinoÚmenh apÒ ◊nan trifasikÒ hlektrikÒ kinhtˇra uyhlèn epidÒsewn. To TV 301 Navigator stere∂tai pantelèj rupantikèn paragÒntwn, opÒte e∂nai kat£llhlo gia efarmog◊j oi opo∂ej apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ. To TV 301 Navigator ◊cei ep∂shj bohqhtikoÚj sundetˇrej diam◊sou twn opo∂wn e∂nai dunatˇ h trofodÒthsh enÒj prÒsqetou anemistˇra, o ◊legcoj thj balb∂daj aerismoÚ (vent), h kaqodˇghsh apÒ apÒstash diam◊sou enÒj computer host sundem◊nou m◊sw diatetagm◊nhj (serial) grammˇj (RS232/RS485). Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristˇ kat£ th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuˇj. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø. ("Technical Information") AutÒ to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akÒlouqouj sumbatikoÚj Òrouj¿ To TV 301 Navigator promhqeÚetai se m∂a eidikˇ prostateutikˇ suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se epafˇ me to topikÒ tmˇma pwlˇsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TV 301 Navigator kai na mhn uposte∂ ctupˇmata ˇ donˇseij. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ anakuklèènetai plˇrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj. , PROSOCH Gia na apofÚgete problˇmata apagwgˇj aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto kenÒ. Crhsimopoie∂te ta g£ntia ˇ £llh kat£llhlh prostas∂a. KINDUNOS! Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocˇ tou ceiristˇ se m∂a diadikas∂a ˇ se m∂a eidikˇ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂ swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej. PROSOCH Oi ende∂xeij prosocˇj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth suskeuˇ. SHMEIWSH Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun apospaste∂ apÒ to ke∂meno. SHMEIWSH To TV 301 Navigator den bl£ptetai apl£ param◊nontaj ekteqeim◊no sto perib£llon. EntoÚtoij sumbouleÚetai na diathre∂te kleistˇ thn antl∂a m◊cri th stigmˇ thj egkat£stashj sto sÚsthma èste na apofeugcqe∂ m∂a endecÒmenh rÚpansh apÒ skÒnh. APOQHKEUSH Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai axiopist∂aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na throÚntai oi exˇj prodiagraf◊j¿ • kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqˇkeush twn antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exˇj periballontik◊j sunqˇkej¿ • qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C • scetikˇ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh) • o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se leitourg∂a gia prèth for£ • o crÒnoj apoqˇkeushj m∂aj strobilomoriakˇj antl∂aj e∂nai 10 mˇnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolˇj. EGKATASTASH PROSOCH Xekollˇste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ kap£ki mÒno th stigmˇ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma. PROSOCH E£n, gia opoiodˇpote lÒgo, o crÒnoj apoqˇkeushj e∂nai megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnˇsete me thn topikˇ antiproswpe∂a thj Varian. H antl∂a de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ˇ na crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocˇ, p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ˇ k∂ndunoj purkagi£j. 42 87-900-946-01(F) ODHGIES CRHSHS Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej sunqˇkej perib£llontoj: - m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikˇ p∂esh - qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C (bl◊pe di£gramma sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). - scetikˇ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth). PROSOCH Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta. Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂te a◊ra ˇ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ˇ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikˇj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar (p£nw apÒ thn atmosfairikˇ p∂esh) Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai efodiasm◊nej me mia eidikˇ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Azwto ˇ ArgÒ) gia na prostateutoÚn ta ◊drana (bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej") Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej leptom◊reiej. To TV 301 pr◊pei na e∂nai sundedem◊no se m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scˇma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). To TV 301 Navigator mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadˇpote q◊sh. Stereèste to TV 301 Navigator se staqerˇ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisÒdou thj tourmpoantl∂aj me m∂a staqerˇ kÒntrofl£ntza ikanˇ na ant◊xei se ◊na zeÚgoj 1000 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj. Για παράδειγμα, η φλάντζα ISO 100 K μπορεί να στερεωθεί με τη χρήση χαλύβδινων σφιγκτήρων υψηλής αντοχής (όπως το μοντέλο Varian IC 63250 DCMZ). Ο ακόλουθος πίνακας δείχνει, για κάθε διάσταση φλάντζας, τον απαραίτητο αριθμό σφιγκτήρων IC 63250 DCMZ και την αντίστοιχη ροπή στερέωσης. FLANTZA ISO 100 K ISO 160 K N. EIDOS DAGKANHS Diplˇ el∂kwsh Diplˇ el∂kwsh dagk£nh M10 dagk£nh M10 me 4 ZEUGOS BIDWMATOS 22 Nm me 4 22 Nm , /Enaush kai Crˇsh tou TV 301 Navigator Gia na an£yete to TV 301 arke∂ na promhqeÚsete thn t£sh trofodÒthshj. O enswmatwmevnoÇ controller anagnwrivzei automavtwÇ thn parousiva twn shmavtwn interlock kai ekkivnhshÇ ki anavbei thn antliva. H prèth ekk∂nhsh thj antl∂aj g∂netai me ton trÒpo "Soft Start", pou sto t◊loj tou kÚklou ◊naushj, apenergopoie∂tai autom£twj, opÒte Òlej oi epÒmenej enaÚseij g∂nontai cwr∂j ton trÒpo "Soft Start". Gia na ◊cete xan£ m∂a ekk∂nhsh me energÒ "Soft Start" crei£zetai na apokatastˇsete ton anaferq◊nta trÒpo diam◊sou software (bl◊pe thn par£grafo "RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION" sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). To pr£sino LED LD1 to opo∂o br∂sketai sto pla∂sio thj b£shj tou TV 301 Navigator endeiknÚei, me th sucnÒthta pou anabosbˇnei, tij epiceirhsiak◊j sunqˇkej tou sustˇmatoj: - staqer£ anam◊no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikˇ peristrofˇ: - anabosbˇnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma e∂nai se kat£stash an£bashj, ˇ epibr£dunshj, ˇ stop, ˇ "Waiting for interlock". - anabosbˇnei grˇgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh sunqˇkh. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". SHMEIWSH To TV 301 Navigator den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj tou. PROSOCH O TV 301 Navigator anhvkei sth deuvterh kathgoriva egkatavstashÇ (hv upevrtashÇ) pou problevpetai apov ton kanonismov EN 61010-1. Katav sunevpeia sundevete th diavtaxh se mia grammhv trofodovthshÇ h opoiva ikanopoieiv authvn thn kathgoriva. O TV 301 Navigator evcei buvsmata gia tiÇ eisovdouÇ/////exovdouÇ kai gia th seiriakhv epikoinwniva pou prevpei na sundeqouvn sta exwterikav kuklwvmata evtsi wvste na mhn eivnai prositov kanevna mevroÇ upov tavsh. Bebaiwqeivte ovti h movnwsh thÇ sundemevnhÇ diavtaxhÇ ston TV 301 Navigator evcei mia katavllhlh movnwsh akovma kai se katavstash monhvÇ blavbhÇ ovpwÇ problevpetai apov ton kanonismov EN 61010-1. Stam£thma tou TV 301 Navigator Gia na stamatˇsete to TV 301 Navigator e∂nai arketÒ na afair◊sete thn t£sh trofodÒthshj. O enswmatwm◊noj elegktˇj stamat£ am◊swj thn antl∂a. , KINDUNOS! Για την ασφάλεια του χειριστή το controller Turbo-V πρέπει να τροφοδοτήται διαμέσου ενός καλωδίου τροφοδότησης με τρία σύρματα (βλέπε τον πίνακα κατατάξης των μερών ) εφοδιασμένο με ρευματολήπτη ( στανταρ διεθνός εγκεκριμένο). Αυτό το καλώδιο τροφοδότησης με τον ρευματολήπτη να χρησιμοποιήται μαζί με έναν ρευματοδότη κατάλληλα συνδεδεμένο με το έδαφος για να αποφεύγεται η ηλεκτροπληξία και να ικανοποιούνται οι προδιαγραφές των οδηγίων ΕΚ. Οι υψηλές τάσεις που αναπτύσσονται στο controller μπορούν να προκαλέσουν σοβαρές βλάβες ή τον θάνατο. Προτού πραγματοποιήσετε εργασείες συντήρησης στη μονάδα βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης. Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". CRHSH Se autˇn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j diadikas∂ej. Prin na crhsimopoiˇsete to sÚsthma pragmatopoie∂te Òlej tij hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C. , KINDUNOS! Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, eÚflektwn ˇ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou. Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn. Stam£thma /Ektakthj An£gkhj KINDUNOS! Gia na stamathvsete se sunqhvkeς evktakthς anavgkhς to TV 301 Navigator prevpei na bgavlete to kalwvdio trofodovthshς apov ton controller. Mhn afˇnete pot◊ na leitourge∂ h antl∂a an h fl£ntza eisÒdou den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ˇ den e∂nai kleistˇ me th fl£ntza kleis∂matoj. Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecÒmena exartˇmat£ thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlˇ qermokras∂a mpore∂ na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. 43 87-900-946-01(F) ODHGIES CRHSHS SUNTHRHSH To TV 301 Navigator de crei£zetai kamm∂a suntˇrhsh. Opoiadˇpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ. , Χώνευση Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες. Το παρακάτω σύμβολο εφαρμόζεται σύμφωνα με την ντιρεκτίβα Ε.Κ. που ονομάζεται "WEEE". Αυτό το σύμβολο (που ισχύει μόνο για τις χώρες της Ευρωπαϊκής Κοινότητας) δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι εφαρμοσμένο, ΔΕΝ πρέπει να πεταχτεί μαζί με κοινά οικιακά ή βιομηχανικά σκουπίδια, αλλά με διαφοροποιημένο τρόπο. Γι΄αυτό, παρακαλούμε τον τελικό χρήστη να έρθει σε επαφή με τον πωλητή της συσκευής ή με το εργοστάσιο σχετικά με την εκκίνηση της διαδικασίας διαφοροποιημένης συλλογής, κατόπιν επαλήθευσης του συμβολαίου πώλησης. KINDUNOS! Prin epiceirˇsete opoiadˇpote ep◊mbash sto sÚsthma, aposund◊ste to apÒ thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a ano∂gontaj thn eidikˇ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatˇsei tele∂wj o rÒtor kai anam◊nete h epifaneiakˇ qermokras∂a thj antl∂aj na e∂nai katèterh apÒ 50°C. Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian ˇ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastˇsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh anazwogonhm◊nh. SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastˇ thn antl∂a gia episkeuˇ ˇ gia advanced exchange service, enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlˇsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolˇ. Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn exoudet◊rwsˇ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. 44 87-900-946-01(F) HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. , VIGYÁZAT! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 45 87-900-946-01(F) HASZNÁLATI UTASÍTÁS ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A TV 301 Navigator egy integrált rendszer turbo-molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral hajtott nagysebességű turbina (max. 56000 fordulat/perc) biztosítja. A TV 301 Navigator szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra. Fel van szerelve külső csatlakozókkal, hogy további ventillátort tápláljon, vezérelje a ventillátor szelepet, amit távoli helyről irányít egy soros vonalon (RS 232 vagy RS 485) keresztül csatlakoztatott gazdagép segítségével. A következő bekezdések a berendezést használó kezelő biztonságának garantálásához szükséges összes információt tartalmazzák. Részletes információt talál a „Műszaki információ” függelékben. Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: , A TV 301 Navigatort különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az EEC 85/399-es direktívának. FIGYELEM Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. VIGYÁZAT! A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. FIGYELEM A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását okozhatják. MEGJEGYZÉS A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV 301 Navigatort. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. MEGJEGYZÉS A megjegyzések tartalmaznak. a szövegből vett fontos információt TELEPÍTÉS TÁROLÁS A Varian Turbomolecular szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: • szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni: • hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C • relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló) • A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani, amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti. • Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a szállítás dátumától. FIGYELEM Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt. a FIGYELEM Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. 46 87-900-946-01(F) HASZNÁLATI UTASÍTÁS Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: − maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett − hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomáshőmérséklet diagramot a „Műszaki információ” függelékben) − relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló) Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Műszaki információ”. A TV 301 Navigatort elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Műszaki információ”). A TV 301 Navigator bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TV 301 Navigatort stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 1000 Nm tengely körüli nyomatéknak. Például az ISO 100 K karima rögzíthető nagy teherbírású acélkapcsokkal (mint az IC 63250 DCMZ) Varian típus). A következő táblázat mindegyik karimamérethez megmutatja az IC 63250 DCMZ kapcsok szükséges számát és a hozzátartozó rögzítő nyomatékot. KARIMA RÖGZÍTŐ N. RÖGZÍTŐ ESZKÖZ NYOMATÉK ISO 100 K M10 kapcsok 4 22 Nm ISO 160 K M10 kapcsok 4 22 Nm , A TV 301 Navigator bekapcsolása és használata A TV 301 Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. Az első szivattyúindítás „lágy indítás” módban történik. Amikor az indítási ciklus befejeződik, a „lágy indítás” mód automatikusan tiltva van, és a következő indítások „lágy indítás” mód nélkül történnek. A „lágy indítás” mód újbóli engedélyezéséhez azt aktiválni kell a megfelelő szoftver paranccsal (lásd „RS 232/485 KOMMUNIKÁCIÓ LEÍRÁSA”) a „Műszaki információ” függelékben. A TV 301 Navigatoron elhelyezett zöld LED a villogásának gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. • nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog; • lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár” állapotban van; • gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel. MEGJEGYZÉS A TV 301 Navigator nem rögzíthető az alapján keresztül. FIGYELEM A TV 301 Navigator a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A TV 301 Navigatornak olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne legyenek hozzáférhetők. Győződjön meg róla, hogy a TV 301 Navigatorhoz csatlakoztatott eszköz megfelelő egyes hiba esetén is az RN 61010-1 direktíva szerint. A TV 301 Navigator kikapcsolása A TV 301 Navigator kikapcsolásához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. , Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Műszaki információt”. VIGYÁZAT! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó dugóval van ellátva. Ezt a kábelt és csatlakozó dugót megfelelően földelt csatlakozó aljazattal használja, hogy elkerülje az áramütés veszélyét, és eleget tegyen az EK normatíváiban lefektetett biztonsági követelményeknek. A magasfeszültség, ami az ellenőrző egységben keletkezik, súlyos sérüléseket, sőt halált okozhat. Mielőtt az egység belsejében karbantartási munkát végezne, kapcsolja le az egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt. HASZNÁLAT Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot. VIGYÁZAT! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd „Műszaki információ”. FIGYELEM Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges porttal, hogy lehetővé tegyék közömbös gáz (pl. N2, Ar) stabil áramlását védelmet viselő szivattyú számára (lásd „Műszaki információ” függelék). VIGYÁZAT! Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva. Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat. Vészleállítás A TV 301 Navigator vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból. 47 87-900-946-01(F) HASZNÁLATI UTASÍTÁS MEGSEMMISÍTÉS KARBANTARTÁS A TV 301 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. , A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő rendszerbe kell továbbítani. A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. VIGYÁZAT! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik. Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Varian szervizközponttal, ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert a hibás helyett. MEGJEGYZÉS Mielőtt javításra vagy cserére visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a gépkönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság” lapot ki kell tölteni és el kell küldeni a helyi kereskedelmi irodához. A lap egy másolatát szállítás előtt be kell illeszteni a rendszercsomagba. Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően. 48 87-900-946-01(F) INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona. , NIEBEZPIECZEŃSTWO! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi! 49 87-900-946-01(F) INSTRUKCJA UZYTKOWANIA OGÓLNE INFORMACJE PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych. System TV 301 Navigator jest zintegrowanym systemem składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowań wysokich i ultra wysokich próżni jak i przez odpowiedni system sterowania tzw. kontroler. System jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej, ale nie jest przystosowany do pompowania płynów lub stałych cząstek. Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę o wysokiej prędkości (max. 56000 obr./min) napędzaną przez elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System TV 301 Navigator jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających, i dlatego też jest to system odpowiedni do zastosowań gdzie jest wymagana tzw.”czysta” próżnia. Poza tym posiada konektory pomocnicze poprzez które istnieje możliwość zasilania dodatkowego wentylatora, sterowania zaworem wentylatora, zdalnego pilotowania go poprzez główny komputer host podłączonego z szeregowym portem (RS232 lub RS485). W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym informacji technicznych „Informacje Techniczne”. W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: System TV 301 Navigator jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu TV 301 Navigator ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony środowiska. , UWAGA ! Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. UWAGA ! Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. INFORMACJA System TV 301 Navigator, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem. INFORMACJA Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. INSTALACJA MAGAZYNOWANIE UWAGA ! Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie połączenia pompy do systemu. W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i niezawodności pomp turbomolekularnych Varian, muszą być przestrzegane następujące zalecenia: • podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: • temperatura: od -20 °C do 70 °C • względna wilgoć od 0 do 95% ( bez opar) • klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób Soft-Start • czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki. UWAGA ! Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Varian. Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru. 50 87-900-946-01(F) INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: − maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym − temperatura: od + 5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w dodatku “Informacje Techniczne”) − względna wilgoć 0 -95% (bez opar). UWAGA ! Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar ( ponad ciśnienie atmosferyczne). Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie przepływ obojętnego gazu (Azot Argon) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek „Informacje Techniczne”). W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Informacje Techniczne” TV 301 Navigator musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w dodatku “Informacje Techniczne”) TV 301 Navigator może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. Zamocować TV 301 Navigator w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 1000 Nm wokół własnej osi. Na przykład kołnierz ISO 100 K może być zamocowany z zaciskami stalowymi o wysokiej wytrzymalności (typ modelu Varian IC 63250 DCMZ). Niniejsza tabela przedstawia dla każdego wymiaru kołnierza, ilość potrzebnych zacisków IC 63250 DCMZ i moment na jaki trzeba je dokręcić. KOŁNIERZ TYP Nr. MOMENT ZACISKU DOKRĘCENIA ISO 100 K Podwójny zacisk 4 22 Nm z gwintem M10 ISO 160 K Podwójny zacisk 4 22 Nm z gwintem M10 Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje Techniczne” , Włączenie i Użytkowanie systemu TV 301 Navigator Aby włączyć TV 301 Navigator wystarczy dostarczyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pompę. Pierwsze uruchomienie pompy odbywa się w sposób Soft-Start który na zakończenie cyklu uruchomienia, wyłącza się automatycznie, i dlatego też wszystkie następne uruchomienia odbywają się bez sposobu „Soft-Start” Aby móc ponownie uruchomić z “Soft-Start” należy włączyć w/w tryb poprzez oprogramowanie (patrz paragraf “RS 232/485 OPIS KOMUNIKACJI” w dodatku “Informacje Techniczne”). Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy TV 301 Navigator wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: − zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie normalnych obrotów; − miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for interlock”; − miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu. INFORMACJA System TV 301 Navigator nie może być mocowany poprzez własną podstawę. UWAGA ! TV 301 Navigator należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. TV 301 Navigator posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą być podłączone do obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część znajdująca się pod napięciem nie mogła być dostępna. Należy upewnić się że izolacja podłączonego urządzenia do TV 301 Navigator, posiada odpowiednie odizolowanie nawet w stanie pojedynczej usterki zgodnie z wymaganiami normy EN 61010-1. Zatrzymanie systemu TV 301 Navigator Aby zatrzymać TV 301 Navigator wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. , NIEBEZPIECZEŃSTWO! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z międzynarodowymi normami). Kabel ten podłączyć wraz z wtyczką do kontaktu uziemionego celem uniknięcia porażeń prądem elektrycznym oraz spełnienia wymogów norm CE. Duże siły wewnętrzne wytwarzające się w kontrolerze mogą spowodować poważne uszkodzenia ciała lub śmierć. Przed przeprowadzeniem czynności konserwacyjnych wewnątrz tego urządzenia odłączyć kabel zasilający. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z „Informacje Techniczne”. UŻYTKOWANIE W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C. , NIEBEZPIECZEŃSTWO! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać w stanie awaryjno-alarmowym TV 301 Navigator należy wyciągnąć kabel zasilania ze sterownika. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia. Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na osobach. 51 87-900-946-01(F) INSTRUKCJA UZYTKOWANIA KONSERWACJA PRZETWORSTWO ODPADOW System TV 301 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. , Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej . Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie wynosiła poniżej 50°C. W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego Varian lub "Varian advanced exchange service",który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu w zastępstwie uszkodzonego systemu. INFORMACJA Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy lub advanced exchange service, należy obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji. Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką. Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum sprawy. 52 87-900-946-01(F) PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. , VÝSTRAHA! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy! 53 87-900-946-01(F) PŘÍRUČKA K POUŽITÍ VŠEOBECNÉ INFORMACE PŘÍPRAVA K INSTALACI Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva TV 301 Navigator je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není vhodné na čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 56000 ot/min.) poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Vývěva TV 301 Navigator neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum. Je vybaveno přídavnými konektory pro připojení přídavného ventilátoru, ovládání odvzdušňovacího ventilu, který je ovládán na dálku pomocí hostitelského počítače připojeného sériovou linkou (RS232 nebo RS485). Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné informace jsou uvedeny v příloze "Technické informace". Tento manuál používá následující standardní protokol: Vývěva TV 301 Navigator se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi. Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice EEC 85/399. , VAROVÁNÍ Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. VÝSTRAHA! Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. VAROVÁNÍ Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly poškodit zařízení. POZNÁMKA Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA USKLADNĚNÍ V normálním prostředí se vývěva TV 301 Navigator nemůže poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem. Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Varian, musíte dodržovat následující pokyny: • Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: • Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C • Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení) • turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé vždycky spouštět pozvolně • skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne doručení. INSTALACE VAROVÁNÍ! Před připojením turbomolekulární vývěvy nesundávejte adhezní a ochranné víko. do systému VAROVÁNÍ Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian. Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. 54 87-900-946-01(F) PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: − maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem − teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v příloze “Technické informace”) − relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení) Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního plynu (např. N2, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technické informace"). V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technické informace". Vývěva TV 301 Navigator se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technické informace"). Vývěvu TV 301 Navigator lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 301 Navigator upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní moment 1000 Nm kolem své osy. Např. přírubu ISO-K lze připevnit příchytkami z vysoce pevné oceli (jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Varian). Následující tabulka uvádí nezbytný počet příchytek IC 63250 DCMZ pro každou přírubu a příslušný utahovací moment. PŘÍRUBA ISO 100 K ISO 160 K PŘÍCHYTNÉ ZAŘÍZENÍ Spony M10 Spony M10 POČET 4 4 , Zapnutí a používání vývěvy TV 301 Navigator UTAHOVACÍ MOMENT 22 Nm 22 Nm Pro uvedení vývěvy TV 301 Navigator do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. První spuštění vývěvy je v režimu “pozvolného rozběhu”. Jakmile bude rozběhový cyklus dokončen, režim “pozvolného rozběhu” se automaticky vypne a další starty již budou probíhat bez “pozvolného rozběhu”. Chcete-li opět zapnout režim “pozvolného rozběhu”, musíte jej aktivovat patřičným programovým příkazem (viz odstavec “POPIS KOMUNIKACE RS 232/485” v příloze “Technické informace”). Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy TV 301 Navigator indikuje provozní stavy systému blikáním: • bez blikání: vývěva se otáčí normálně; • pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na blokování”; • rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav. POZNÁMKA Vývěvu TV 301 Navigator nelze připevnit pomocí její podstavy. VAROVÁNÍ Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 301 Navigator do druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Vývěva TV 301 Navigator je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí připojit k externím obvodům tak, aby žádná elektrická součást nebyla přístupná. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 301 Navigator byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1. Vypnutí vývěvy TV 301 Navigator Pro vypnutí vývěvy TV 301 Navigator je nutné přerušit síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. , VÝSTRAHA! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně schválenou). Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu elektrickým proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES. Vysoké napětí, které vzniká v controlleru může způsobit vážné zranění, i smrtelné. Před prováděním zásahů údržby uvnitř jednotky přívodní kabel odpojte. Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické informace". POUŽITÍ Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 120 °C. , VÝSTRAHA! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické informace". VAROVÁNÍ Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy TV 301 Navigator v nouzové situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky. VÝSTRAHA! Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k vakuové komoře. Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny. 55 87-900-946-01(F) PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ÚDRŽBA LIKVIDACE Vývěìva TV 301 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. , Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí být tříděn a likvidován odděleně od městského odpadu. Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. VÝSTRAHA! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C. V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení výměnou za porouchané. POZNÁMKA Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za repasovaný kus, musíte list "Health and Safety" (Zdraví a bezpečnost) přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte k zařízení přibalit kopii tohoto listu. Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu s konkrétními státními normami. 56 87-900-946-01(F) NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. , VAROVANIE! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 57 87-900-946-01(F) NÁVOD K POUŽITIU VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami, neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. Zariadenie TV 301 Navigator predstavuje integrovaný systém s turbomolekulárnou vývevou pre vysoké a ultravysoké vákuové aplikácie s relevantným kontrolným modulom. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí. Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi rýchla turbína (max. 56000 otáčok/minútu), poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým elektrickým motorom. Zariadenie TV 301 Navigator neobsahuje žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie, vyžadujúce „čisté“ vákuum. Zariadenie je vybavené pomocnými konektormi na pripojenie ďalšieho ventilátora, na ovládanie vetracieho ventilu a kvôli možnosti ovládania zo vzdialeného miesta pomocou hostiteľského počítača, pripojeného cez sériovú komunikačnú linku (RS232 alebo RS485). Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technické informácie“. Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: , Zariadenie TV 301 Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Varian. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu, alebo vibráciám. Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC 85/399. UPOZORNENIE Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu. VAROVANIE! Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. UPOZORNENIE Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie zariadenia. POZNÁMKA POZNÁMKA Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 301 Navigator poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. UCHOVÁVANIE Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Varian podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: • neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu, prenášania a uchovávania vývev: • rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C • rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez kondenzácie) • zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy použiť režim soft štartu • skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo dňa dodania. INŠTALÁCIA UPOZORNENIE Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k systému. UPOZORNENIE Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian pre predaj a servis. Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. 58 87-900-946-01(F) NÁVOD K POUŽITIU Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: − maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku − teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty v dodatku “Technické Informácie”) − relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie) V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technické informácie“. Zariadenie TV 301 Navigator sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technické informácie“). Zariadenie TV 301 Navigator môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe.. Upevnite TV 301 Navigator do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 1000 Nm okolo svojej osi. Napríklad príruba typu ISO 100 K môže byť pripevnená oceľovými svorkami s vysokou pevnosťou (napr. model Varian IC 63250 DCMZ). Nasledujúca tabuľka ukazuje, pre každý typ príruby potrebný počet svoriek IC 63250 DCMZ a príslušný upevňovací krútiaci moment. PRÍRUBA ISO 100 K ISO 160 K UPEVŇOVACÍ MECHANIZMUS svorky M10 svorky M10 POČET 4 4 , Zapnutie a použitie zariadenia TV 301 Navigator UŤAHOVACÍ KRÚTIACI MOMENT 22 Nm 22 Nm Ak chcete zapnúť zariadenie TV 301 Navigator, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Prvé spustenie vývevy prebehne v režime „Soft Start (Jemný štart)“. Po dokončení spúšťacieho cyklu sa režim „Soft Start“ automaticky zablokuje a všetky nasledujúce spustenia zariadenia prebehnú bez režimu „Soft Start“. Ak chcete režim „Soft Start“ odblokovať, musíte ho aktivovať vhodným softwarovým príkazom (pozri časť RS 232/485 „COMMUNICATION DESCRIPTION – Popis komunikácie“ v dodatku „Technické informácie“). Zelená dióda LED na základnom čelnom paneli zariadenia TV 301 Navigator indikuje frekvenciou blikania spôsob činnosti systému: • žiadne blikanie: výveva normálne rotuje; • pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v režime „Čakanie na spojenie“; • rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav POZNÁMKA Zariadenie TV 301 Navigator sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základne. UPOZORNENIE Zariadenie TV 301 Navigator patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. Zariadenie TV 301 Navigator má konektory pre vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť k vonkajšiemu okruhu tak, aby nebola dostupná žiadna elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 301 Navigator má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1. Vypnutie zariadenia TV 301 Navigator Ak chcete vypnúť zariadenie TV 301 Navigator, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. , O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technické Informácie”. VAROVANIE! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou). Túto šnúru so zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemnenou zásuvkou, aby nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené požiadavky noriem ES. POUŽITIE Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 120 °C. , VAROVANIE! Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky Varian. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technické informácie“. UPOZORNENIE Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť ložiská. Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu, zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe musí byť nižší než 2 bar (pretlakový). Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného plynu (napríklad N2, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technické informácie“). Vysoké napätie v kontrolnom zariadení môže spôsobiť vážne škody alebo smrť. Prv než začnete prevádzať údržbárske práce v tejto jednotke, odpojte napájaciu šnúru. VAROVANIE! Núdzové zastavenie Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná. V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť popáleniny Ak chcete zariadenie TV 301 Navigator okamžite vypnúť v stave núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja napájania. 59 87-900-946-01(F) NÁVOD K POUŽITIU ÚDRŽBA LIKVIDÁCIA Zariadenie TV 301 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. , Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť ako delený odpad. Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. VAROVANIE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota povrchu vývevy neklesne pod 50 şC. V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko spoločnosti Varian, kde vám pokazený systém vymenia. POZNÁMKA Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte vyplniť dotazník “Zdravie a bezpečnosť”, Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním. Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny. 60 87-900-946-01(F) NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. , OPOZORILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 61 87-900-946-01(F) NAVODILA ZA UPORABO SPLOŠNE INFORMACIJE PRIPRAVA ZA MONTAŽO Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi. TV 301 Navigator je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev. Črpanje se izvaja preko hitre turbine (maks. 56000 rpm), ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. TV 301 Navigator ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto« vakuumiranje. Opremljen je s pomožnimi priljučki za dodaten ventilator, ki skrbi za nazor šobe za zrak, ki je nadzorovana z računalnikom preko serijske povezave (RS232 ali RS485). Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za varnost tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije lahko najdete v prilogi »Tehnične informacije«. Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: TV 301 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399. , POZOR Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja. Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito. OPOZORILO! Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. POZOR Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. OPOMBA Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila. OPOMBA SHRANJEVANJE Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati naprave TV 301 Navigator. Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom. Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Varian Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: • Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij: • temperaturno območje: -20 °C do 70 °C • območje relativne vlažnosti: 0 do 95% (brez kondenza) • Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko. • Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja. MONTAŽA POZOR! Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na sistem. POZOR Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Varian Vacuum. Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. 62 87-900-946-01(F) NAVODILA ZA UPORABO Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: − Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere − temperatura: from +5 °C to +35 °C (glejte diagram pritisktemperatura v prilogi “Tehnične informacije”) − Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza) Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo. Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere). Za črpanje agresivnih plinov so te črpalke opremljene s priključkom, ki omogoča stalen pretok inertnih plinov (kot N2, Ar) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Tehnične informacije”). V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije" . TV 301 Navigator morate priključiti na primarno črpalko (glej "Tehnične informacije"). TV 301 Navigator lahko montirate v številne pozicije. TV 301 Navigator namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 1000 Nm okoli svoje osi. ISO 100 K prirobnico lahko na primer pritrdite s pomočjo jeklenih držal (kot pri Varian modelu IC 63250 DCMZ). Naslednja tabela, za vsako prirobnico,prikazuje število potrebnih IC 63250 DMZ pritrjeval ter potreben navor za pritrjevanje. PRIROBNICA ISO 100 K ISO 160 K NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE M10 držala M10 držala N. 4 4 , Vklop in uporaba naprave TV 301 Navigator Za vključitev TV 301 Navigator morate priključiti napetost. Vgrajeni kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost signalov za vklop ter zažene črpalko. Prvi zagon črpalke je v načinu »mehkega zaganjanja« (»Soft Start«). Ko se začetni cikel zaključi, se način »Soft Start« samodejno onemogoči in na voljo so naslednji zagoni brez načina »Soft Start«. Za ponovno aktiviranje »Soft Start« načina je potreben ustrezen programski ukaz (glej odstavek »Opis komunikacije RS 232/485« v prilogi »Tehnične informacije«. Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 301 Navigator, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: • Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti; • Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for interloc«; • Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka. NAVOR 22 Nm 22 Nm OPOMBA Naprave TV 301 Navigator ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. POZOR Po direktivi EN 61010-1 spada TV 301 Navigator v skupino za drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo. Naprava TV 301 Navigator ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv. Prepričajte se, da je izolacija naprave, priključene na TV 301 Navigator, primerna tudi v primerno ene napake, kar je opisano v direktivi EN 61010-1. Izklop naprave TV 301 Navigator Za izklop naprave TV 301 Navigator morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. , OPOZORILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju). Uporabljajte ta kabel in vtikač skupaj s primerno ozemljeno vtičnico, tako, da vas tok ne strese in da zadovoljite EU predpisom. Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Tehnične informacije«. UPORABA Visoka napetost, ki je prisotna v krmilniku, lahko povzroči hude poškodbe ali smrt. Preden začnete z vzdrževalnimi postopki v notranjosti, izvlecite napajalni kabel. Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 °C. , OPOZORILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije". POZOR Zaustavitev v sili Za takojšenj izklop naprave TV 301 Navigator je treba izključiti napetostni kabel iz napetosti. OPOZORILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče. Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline. 63 87-900-946-01(F) NAVODILA ZA UPORABO VZDRŽEVANJE ODLAGANJE OPADKOV Naprave TV 301 Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. , Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč morate poskrbeti za njihovo primerno ločevanje. Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. OPOZORILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C. V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim. OPOMBA Preden odnesete sistem na popravilo ali zamenjavo z drugo enoto, morate izpolniti »Health and Safety« obrazec, ki je priložen navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni. Pred pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema. Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi standardi. 64 87-900-946-01(F) INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. , WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 65 87-900-946-01(F) INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION PREPARATION FOR INSTALLATION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The TV 301 Navigator is an integrated system with a turbomolecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller. The system can pumps any type of gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 56000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The TV 301 Navigator is free of contaminating agents and, therefore, is suitable for applications requiring a "clean" vacuum. It is equipped with auxiliary connectors to supply an additional fan, to control the vent valve, to be controlled from a remote site by means of an host computer connected through a serial line (RS232 or RS485). The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". This manual uses the following standard protocol: The TV 301 Navigator is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399. , CAUTION In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. CAUTION The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. NOTE NOTE The notes contain important information taken from the text. Normal exposure to the environment cannot damage the TV 301 Navigator. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. STORAGE In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: • when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: • temperature range: -20 °C to 70 °C • relative humidity range: 0 to 95% (non condensing) • the turbomolecular pumps must be always soft-started when received and operated for the first time by the customer • the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date. INSTALLATION CAUTION! Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system. CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to the factory. Please contact the local Varian Vacuum Sales and Service representative for informations. Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. 66 87-900-946-01(F) INSTRUCTIONS FOR USE During operation, the following environmental conditions must be respected: − maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure − temperature: from +5 °C to +35 °C (see the diagram pressure-temperature in the appendix “Technical Information”) − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged. Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TV 301 Navigator must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The TV 301 Navigator can be installed in any position. Fix the TV 301 Navigator in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 1000 Nm around its axis. For example the ISO 100 K flange can be fixed using high strength steel clamps (as Varian model IC 63250 DCMZ). The following table shows, for each flange dimension, the necessary number of clamps IC 63250 DCMZ and the relevant fixing torque. FLANGE ISO 100 K ISO 160 K FIXING DEVICE M10 clamps M10 clamps N. 4 4 , WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. Switching on and Use of TV 301 Navigator FIXING TORQUE 22 Nm 22 Nm To switch on the TV 301 Navigator it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. The first pump start up is in “Soft Start” mode. When the start up cycle is finished, the “Soft Start” mode automatically is disabled, and the following start ups are without the “Soft Start” mode. To re-enable the “Soft Start” mode it must be activated by the suitable software command (see the paragraph “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” in the appendix “Technical Information”). The green LED located on the TV 301 Navigator base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions: • with no flashing: the pump is normally rotating; • slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock” status; • fast flashing (period of about 200 ms): error condition. The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Varian hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. NOTE The TV 301 Navigator cannot be fixed by means of its base. CAUTION CAUTION The TV 301 Navigator belongs to the second installation (or overvoltage) category as per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that satisfy the above category. The TV 301 Navigator has Input/Output and serial communication connectors that must be connected to external circuits in such a way that no electrical part is accessible. Be sure that the insulation of the device connected to the TV 301 Navigator is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1. TV 301 Navigator Switching off To switch off the TV 301 Navigator it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. , For installation of optional accessories, see "Technical Information". WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety. Use this power cord and plug in conjunction with a properly grounded power socket to avoid electrical shock and to satisfy CE requirements. High voltage developed in the controller can cause severe injury or death. Before servicing the unit, disconnect the input power cable. USE This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C. Emergency Stop , To immediately stop the TV 301 Navigator in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug. WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber or is not blanked. Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. 67 87-900-946-01(F) INSTRUCTIONS FOR USE MAINTENANCE DISPOSAL The TV 301 Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. , Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system. The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C. In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned system to replace that broken down. NOTE Before returning the system to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the system package before shipping. If a system is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. 68 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TV 301 NAVIGATOR The TV 301 Navigator pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in various models that differ in the high vacuum flange and the controller. The TV 301 Navigator pump models are: − Model 969-8918 with ISO 100 high vacuum flange; − Model 969-8919 with ConFlat 6” external diameter high vacuum flange; − Model 969-8920 with ISO 160 high vacuum flange; Model 969-8921 Model 969-8827 Model 969-8831 Model 969-8919 Model 969-8825 Model 969-8829 Model 969-8918 Model 969-8824 Model 969-8828 Model 969-8920 Model 969-8826 Model 969-8830 − Model 969-8921 with ConFlat 8” external diameter high vacuum flange. The TV 301 Navigator kit eight models are: − Model 969-8824 with ISO 100 high vacuum flange and 24 Vdc controller; − Model 969-8825 with ConFlat 6” external diameter high vacuum flange and 24 Vdc controller; − Model 969-8826 with ISO 160 high vacuum flange and 24 Vdc controller; − Model 969-8827 with ConFlat 8” external diameter high vacuum flange and 24 Vdc controller; Proceeding from the high vacuum to the forevacuum region, the turbine stages sequence is: − Model 969-8828 with ISO 100 high vacuum flange and 120/220 Vac controller; − Model 969-8829 with ConFlat 6” external diameter high vacuum flange and 120/220 Vac controller; − Model 969-8830 with ISO 160 high vacuum flange and 120/220 Vac controller; − Model 969-8831 with ConFlat 8” external diameter high vacuum flange and 120/220 Vac controller. • 1st stage with a blade angle of 42°, • 2nd stage with a blade angle of 28°, • 3rd stage with a blade angle of 24°, • 4th and 5th stages with a blade angle of 20°, • 6th, 7th and 8th stages with a blade angle of 10°. The Macrotorr stages are in the form of four discs. The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump. The controller is also available in two models: − 24 Vdc controller: model 969-8972; The static blades of the stator are made of stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings. − 120/220 Vac controller: model 969-8973. The following figures show the eight kit models. The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs. These are made of aluminium alloy. Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 3 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. During normal operation, the motor is fed with a voltage of 54 Vac three-phase at 933 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. The turbine is made of high-strength aluminium alloy, machined from a single block. 69 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION The pump can be water cooled or air cooled: in the first case the customer can use the dedicated channels on the pump body, in the second case an external optional fan is available. A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 μm. The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange (KF25 – optional). PUMP CABLE CONNECTOR CONTROLLER Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digital section. The power supply, together with the 3-phase output, converts the single phase AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium frequency output which is required to power the pump. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. A Windowsbased software is available (optional). TECHNICAL SPECIFICATION Pumping speed With CFF 8” or ISO 160: N2: 280 l/s He: 230 l/s H2: 210 l/s With CFF 6” or ISO 100: N2: 250 l/s He: 220 l/s H2: 200 l/s 8 Compression ratio N2: >2 x 10 5 He: 1 x 10 4 H2: 2 x 10 Base pressure * (with recommended forepump) mechanical: -10 -10 < 2 x 10 mbar (< 1.5 x 10 Torr) diaphragm: -8 -8 2 x 10 mbar (1.5 x 10 Torr) Inlet flange CFF 8" O.D. CFF 6” O.D. Foreline flange KF16 NW (KF25 – optional) Rotational speed 56000 RPM Start-up time < 3 minutes Recommended forepump mechanical: Varian DS 102 dry pump: Varian SH 100 Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature + 5° C to + 35° C Coolant water flow: 200 l/h (0.89 GPM) temperature: + 10° C to + 30° C pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi) Bakeout temperature 120° C at inlet flange max. (CF flange) 80° C at inlet flange max. (ISO flange) Vibration level (displacement) < 0.01 μm at inlet flange Noise level ≤ 45 dB (A) at 1 meter Pwr supply (mains): Input voltage: Input freq.: Max input pwr: Stand-by pwr: Max oper. power: 100 - 240 Vac 50 - 60 Hz 300 VA 10 W 150 W with water or air cooling Protection fuse 4A Pwr supply (24 Vdc): Input voltage: Max input pwr: Stand-by pwr: Max oper. power: 24 Vdc 200 W 10 W 150 W with water or air cooling Protection fuse 8A Compliance with: UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN-CENELEC 55011 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3) IEC 1000-4-4 (ex 801-4) EN 61010-1 (IEC 1010-1) EN 1012-2 Power cable With European or NEMA plug 3 meters long (optional) Serial communication (Navigator kit) RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a 9-pin D type female connector, and Navigator software (optional) Storage temperature -20° C to +70° C Input 75 Vac, three phase, 963 Hz Lubricant permanent lubrication Installation category II Pollution degree 2 Storage temperature - 20° C to + 70° C Weight kg (lbs): Kit: Controller: ISO 160 ISO 100 ISO 100 and 160: 4.5 (10) CFF 6” and 8”: 8 (17.6) 1 (2.2) * (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump) 70 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION TV 301 NAVIGATOR OUTLINE The following figures show the TV 301 Navigator outlines (dimensions are in inches [mm]). NOTE When the TV 301 Navigator has been stored at a temperature less than 5°C, wait until the system has reached the above mentioned temperature. TV 301 Navigator outline 71 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure 72 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump Graph of nitrogen throughput test 73 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS The following figure shows the TV 301 interconnections. J5 - IN-OUT This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 301 Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. PIN N. P3 - Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. P5 – External fan SIGNAL NAME INPUT/ OUTPUT 1 START/STOP (+) IN 2 START/STOP (-) IN 3 INTERLOCK (+) IN 4 INTERLOCK (-) IN 5 SPEED SETTING (+) IN 6 SPEED SETTING (-) IN 7 SOFT START (+) IN 8 SOFT START (-) IN 9 +24 Vdc 10 SPARE OUT 11 PROGRAMMABLE SET POINT OUT 12 SPARE 13 FAULT OUTPUT OUT 14 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) OUT 15 • GROUND • PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (-) OUT Signal description START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin: in this condition the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply ("Plug & Pump"). This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. INTERLOCK: input signal to control the pump rotation. With the supplied cover connector the INTERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the INTERLOCK (-)signal to the GROUND pin. 74 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION For example: - reference quantity: frequency - threshold: 500 Hz - hysteresis: 1% - activation type: "high level" SOFT START: this input is used to provide a "soft start" to the pump; in this condition the ramp-up time could be up to 45 min. SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: • frequency: 100 Hz +/-20% • ampitude: 24 V max • duty cycle range: from 25% to 75% • corresponding to a pump speed from 187 Hz to 963 Hz (see the following diagram). The set point output stays at 0 Vdc until the frequency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of 500 Hz). It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: - reference quantity: frequency - thereshold: 867 Hz - hysteresis: 2% - activation type: high level - delay time: 0 second PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). NOTE The Navigator Software (optional) allows the operator to set all the programmable feature. When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold. The signal can be "high level active" (that is the output is normally at 0 Vdc and becomes 24 Vdc when activated), or "low level active" (that is the output is normally at 24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated). Moreover, if the reference quantity is the frequency or the current drawn, it is possible to set the hysteresis (in % of the threshold value) to avoid bouncing. 75 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION How to connect the open collector input of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TV301 Navigator to an external system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2. the customer does not supply the 24 Vdc. Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available. Case 2 with relay utilisation Case 1 Case 2 with transistor utilisation 76 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION INPUT POWER CONNECTION ON THE MODEL 969-8972 The following figure shows the input power connection relevant to the model n. 969-8972. How to connect the outputs of the controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9. RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J6. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software. Typical output connection J6 - Serial Communication Format • 8 data bit • no parity • 1 stop bit • baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable Communication Protocol The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where: This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 301. • Host = MASTER • Controller = SLAVE PIN N. SIGNAL NAME The communication is performed in the following way: 1 +5 V (OUT) 2 TX (RS232) 3 RX (RS232) 4 A+ (RS422 Optional) 5 GND 2. the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. 6 A + (RS485) The MESSAGE is a string with the following format: 7 B - (RS422 Optional) 8 B - (RS485) <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX> +<CRC> 9 RESERVED 1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial connection. A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). 77 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION where: The controller can answers with the following response types: NOTE When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated data is the corresponding ASCII character. TYPE − <STX> (Start of transmission) = 0x02 − <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) <ADDR> (Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS 485) − <WIN> (Window) = a string of 3 numeric character indicating the window number (from ‘000’ to ‘999’); for the meaning of each window see the relevant paragraph. − <COM> (Command) = 0x30 to read the window, 0x31 to write into the window − <DATA> = an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the window. In case of a reading command this field is not present. The field length is variable according to the data type as per the following table: DATA TYPE FIELD LENGTH LENGTH VALUE Logic 1 byte - Numeric 6 bytes - Alphanumeric 10 bytes - ACK 1 byte (0x6) NACK 1 byte (0x15) Unknown Window 1 byte (0x32) Data Type Error 1 byte (0x33) Out of Range 1 byte Win Disabled 1 byte (0x34) VALID CHARACTERS Logic (L) 1 ‘0’ = OFF ‘1’ = ON Numeric (N) 6 ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified with ‘0’ Alphanumeric (A) 10 from blank to ‘_’ (ASCII) (0x35) DESCRIPTION After a read instruction of a logic window After a read instruction of a numeric window After a read instruction of an alphanumeric window The command execution has been successfully completed The command execution has been failed The specified window in the command is not a valid window The data type specified in the command (Logic, Numeric or Alphanumeric) is not accorded with the specified Window The value expressed during a write command is out of the range value of the specified window The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example you can’t write the Soft Start when the Pump is running) Examples: − <ETX> (End of transmission) = 0x03 − <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. Command: START Source: PC Destination: Controller 02 The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. 80 30 STX ADDR 30 30 WINDOW 31 31 03 WR ON ETX 42 33 CRC Source: Controller Destination: PC When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. 02 80 06 03 STX ADDR ACK ETX 38 35 CRC NOTE Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> 78 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION Command: STOP Source: PC Destination: Controller 02 80 30 STX ADDR 30 Window Meanings 30 WINDOW 31 WR 30 03 OFF ETX 42 32 N. Read/ Write Data Type Description 000 R/W L Start/Stop (in remote mode the window is a read only) Start = 1 Stop = 0 008 R/W L Remote (default) or Serial configuration Remote = 1 Serial = 0 CRC Source: Controller Destination: PC 02 80 06 03 STX ADDR ACK ETX 38 35 80 31 STX ADDR 30 80 30 WINDOW 06 03 STX ADDR ACK ETX 100 R/W L Soft Start (write only in Stop condition) YES = 1 NO = 0 101 R/W N Set Point type 0 = Frequency 1 = Current 2 = Time (default = 0) 31 31 03 WR ON ETX 42 102 R/W N Set Point threshold (expressed in Hz, mA or s) (default = 867) 103 R/W N Set Point delay: time between the pump start and the set point check (seconds) 0 to 99999 Set Point signal activation type: the signal can be "high level active" or "low level active" 0 = high level active 1 = low level active Set point hysteresis (in % of threshold) 0 to 100 32 CRC Source: Controller Destination: PC 02 104 38 31 STX ADDR 30 L CRC Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller 80 R/W 35 105 02 (default = 1) CRC Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller 02 Admitted Values 30 WINDOW 31 WR 30 03 OFF ETX 42 R/W N (default = 0) (default = 2) 106 R/W L Water cooling 0 = NO 1 = YES 107 R/W L Active Stop (write only in stop) 0 = NO 1 = YES 108 R/W N Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 109 W L Pump life/ cycle time/ cycle number reset To reset write ‘1’ 110 R/W L Interlock type (default = 1) Impulse = 0 Continuous = 1 111 R/W L Analog output type: output voltage signal proportional to frequency or power 0 = frequency 1 = power Rotational frequency setting (Hz) 150 to 963 33 CRC (default = 0) Source: Controller Destination: PC (default = 4) 02 80 06 03 STX ADDR ACK ETX 38 35 CRC 120 79 R/W N (default = 0) (default = 963) 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION N. Read/ Write Data Type Description 121 R/W N Maximum rotational frequency in Hz (active only in Stop condition) 150 to 963 Set vent valve on/off (on = closed) On = 1 Off = 0 122 123 124 125 126 130 R/W L Admitted Values (default = 1) Data Type 400 R A CRC EPROM (QE) QE8XXXX (where “XXXX” are variable) 402 R A CRC Param. (PA) PA8XXXX (where “XXXX” are variable) 404 R A CRC Parameter structure "XXXX" Reserved to Varian service 500 R/W R/W L N Set the vent valve operation Vent valve opening delay (expressed in 0.2 sec) Automatic = 0 (see note 1.) 503 On command = 1 (see note 2.) 504 R/W N RS 485 address 0 to 31 R/W L Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) NOTES 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened with a delay defined by window n. 126; when the controller starts, the vent valve is immediately closed. 2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n. 122. 3. These commands remove the pump motor supply for a short time. If they are used continuously, they can cause the pump stopping. Pump current in mA dc 201 R N Pump voltage in Vdc 202 R N Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle) 203 R N Driving frequency in Hz 204 R N Pump temperature in °C 0 to 70 205 R N Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4 Normal = 5 Fail = 6 Error code Reserved to Varian service (corresponding to 0 to 13107 sec) N N Admitted Values (default = 0) Reserved to Varian service R Description 0 to 65535 R 7 R (see note 3.) N Actual rotation speed in Hz 100 to 963 300 R N Cycle time in minutes (zeroed by the reset command) 0 to 999999 301 R N Cycle number (zeroed by the reset command) 0 to 9999 302 R N Pump life in hours (zeroed by the reset command) 0 to 999999 6 5 4 TOO HIGH LOAD 3 2 1 0 NO CONNECTION SHORT CIRCUIT OVERVOLTAGE AUX FAIL Bit description: see the following figure 210 320 to 399 Read/ Write (default = 963) 200 206 N. PUMP OVERTEMP. CONTROLL. OVERTEMP. POWER FAIL Window N. 206 Bit Description Reserved to Varian service 80 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION The screen can be removed as shown in the following figure. INLET SCREEN INSTALLATION The inlet screens mod. 969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%. The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. The screen can be mounted on each pump. 81 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION HEATER BAND INSTALLATION CAUTION If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should be installed to prevent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120° C. AIR COOLING KIT INSTALLATION TV 301 with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 969-9299) is available to improve the TV 301 cooling during heavy operational conditions (optional). The heater band model 969-9804 and 969-9803 can be used to heat the pump casing when a bakeout is needed. The heater band is applied to the upper part of the pump casing, as shown in the figure, and heats it to a temperature of about 80° C. The heater band must be mounted such that there is perfect thermal contact with the pump wall to obtain fast and efficient heating. Fan specifications: − − − − air flow: 140 m3/h input voltage: 24 Vdc dimensions: 119 x 119 x 32 mm power: 2.6 W The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump. When the pump is supplied by the rack C.U. 9699437 or 969-9537 please utilize the special fan extension cable 969-9949. Switch on the heater while the turbopump is in operation. In the event of turbopump overheat, the pump will be automatically cut out by the thermistor sensor. NOTE The turbopump must be "baked" only when operating with an inlet pressure less than 10-4 mbar and with water cooling. 82 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION To fix the fan to the TV 301 case execute the following procedure (see the following figure): WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. 1. Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969-9347 (plastic model). 2. Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller; 3. Connect the fan supply to the P4 connector of the controller. Model 969-9337 Model 969-9347 CAUTION The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following figure The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. 83 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION The metallic model is assembled as shown in the figure. VENT ACCESSORIES The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. TV 301 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional). NOTE These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid that the tube(s) gets loose or disconnected during operation. To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system. The water temperature must be between +10°C and +30°C, with an inlet pressure between 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. NOTE The water electrical conductance must be ≤ 500 μs/cm. When the conductance is higher, in closed water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole is suggested. Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. 84 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION Vent Device mod. 969-9831 The vent device has adjustable delay time (up to 36 min.). To install the vent device unscrew and remove the threaded plug (see figure below). CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). Standard Rack Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9843 Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, taking care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. This vent valve has a fixed delay time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional). To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 969-9834 (see the above paragraph). 85 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Four vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The four model part numbers are the following: − model 969-9344 for ISO 100 flange; − model 969-9345 for ISO 160 flange; − model 969-9334 for CFF 6” flange; − model 969-9335 for CFF 8” flange. They typically reduce the vibration transmitted from the TV 301 Navigator to the system by a factor of 20. Please refer to the relevant instruction manual. PURGE VALVE INSTALLATION A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. SERIAL CABLE INSTALLATION The supplied serial cable must be installed when the TV 301 Navigator or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure. 86 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION TV 301 CONTROLLER INSTALLATION The controller can be mounted in two position: − bottom mounting (as per the complete system) − side mounting. Side mounting NOTE The L-shaped bracket (P/N 969-9970) is available as an option. See the following figure. To install the controller execute the following procedures. 1. Screw the 4 fixing studs (provided with the accessories bag) in the holes on the L-shaped bracket; 2. Place the controller on the studs aligning the 4 rubber holes on the top of the controller; Bottom mounting See the following figure. 3. Press the controller towards the bracket; 1. Turn the pump upside-down; 4. Turn the pump upside-down; 5. Place the bracket on the pump bottom; 2. Screw the 4 fixing studs (provided with the accessories bag) in the holes on the bottom of pump; 6. Screw a little bit the three screws M4 in the holes on the pump bottom; 7. Rotate the bracket until the controller is on the chosen position; 3. Place the controller on the studs aligning the 4 rubber holes on the top of the controller case; 8. Tighten the screws properly; 4. Press the controller towards the pump; 9. Turn the pump again; 10. Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; 5. Turn the pump again; 6. Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; 11. Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. 7. Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. MOUNTING 2 MOUNTING 1 87 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware. Connection A - HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo-V301 pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock. Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. Connection configurations 88 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. Connection B - FORE-VACUUM PUMP A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V301 pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. Please contact Varian for specific applications. NOTE The Turbo-V301 pump is characterized by its high compression ratio also for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. The purge gas throughput with the recommended forepump of 15 m3 /h (11 CFM) allows to achieve a high vacuum pressure in the 10-8 mbar range. The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure. The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points: Connection C - ELECTRICAL The turbopump is connected to the controller through an 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 25° C) and pin E is connected to the pump ground. 1. Close the corrosive gas flow into the system. 2. Leaving the Turbo-V pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system. 3. Turn off the Turbopump. 4. Open the Turbo-V vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system. 5. When the Turbo-V pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensor automatically cuts out the power supply. 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. PUMP USED WITH CORROSIVE GASES To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump. Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Purge layout 89 87-900-946-01(F) TECHNICAL INFORMATION ACCESSORIES AND SPARE PARTS PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. DESCRIPTION The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool. This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. In general, therefore, an increase in pump current can be expected. If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. 90 PART NUMBER Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 Mains cable European Plug, 3m long 969-9957 Serial cable and Navigator Software 969-9883 Inlet screen, ISO 100 969-9302 Inlet screen, ISO 160 969-9303 Heater band, 120 V 969-9804 Heater band, 220 V 969-9803 Water cooling kit 969-9337 Plastic water cooling kit 969-9347 Air cooling kit for Navigator Controller 969-9299 Fan extension cable 969-9949 Bracket for Navigator Controller side mounting 969-9970 Vibration isolator, ISO 100 969-9344 Vibration isolator, CF 6" 969-9334 Vibration isolator, ISO 160 969-9345 Vibration isolator, CF 8" 969-9335 Vent flange, NW 10 KF / M8 969-9108 Vent device with adjustable delay time for standard rack controller 969-9831 Vent valve for standard rack controller 969-9843 Vent valve for Navigator Controller 969-9834 Purge valve with KF16 flange 969-9239 Purge valve with 7/16” flange 969-9240 Purge valve KF16-M12 20 SCCM 969-9241 Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 969-9242 Foreline flange KF25 1/4 gas 969-9130 Forepump DS 302, with 1 ph., universal motor 949-9325 Forepump MD 60, 120 V 949-9411 Forepump MD 60, 220 V 949-9412 87-900-946-01(F) Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices France and Benelux Varian s.a. Japan Varian Vacuum Technologies 7 Avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 84 Fax: (33) 1 69 86 29 88 From Benelux Tel: (31) 118 67 15 70 From Benelux Fax: (31) 118 67 15 69 Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 Toll Free: 0120 655 040 Canada Central coordination through: Korea Varian Technologies Korea, Ltd Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 Toll Free: 080 222 2452 China Varian Technologies - Beijing Mexico Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Beijing Junefield Plaza No. 10 XuanWuMenWai Street Beijing 100052 P.R. China Tel: (86) 10 63108550 Fax: (86) 10 63100141 Toll Free: 800 820 6556 Germany and Austria Varian Deutschland GmbH Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 India Varian India PVT LTD 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 28521171 Fax: (91) 11 28521173 Italy Varian Inc. Vacuum Technologies Via F.lli Varian 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9 111 Fax: (39) 011 997 9 350 03/06 Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 Other Countries Varian Inc. Vacuum Technologies Via F.lli Varian 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9 111 Fax: (39) 011 997 9 350 Customer Support & Service: North America Toll-Free: 1 800 882 7426 [email protected] Europe Tel: 00 800 234 234 00 [email protected] China Toll-Free: 800 820 8266 [email protected] Japan Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1 Hsi chih, Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 Toll Free: 0800 051342 Toll-Free: 0120 655 040 [email protected] Korea Toll-Free: 080 222 2452 [email protected] Taiwan UK and Ireland Varian Ltd. 6 Mead Road Oxford Industrial Park - Yarnton Oxford OX5 1QU - England Tel: (44) 1865 291570 Fax: (44) 1865 291571 United States Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll-Free: 0 800 051 342 [email protected] Worldwide Web Site, Catalog and Order On-line: www.varianinc.com Representative in most countries-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20
-
21
-
22
-
23
-
24
-
25
-
26
-
27
-
28
-
29
-
30
-
31
-
32
-
33
-
34
-
35
-
36
-
37
-
38
-
39
-
40
-
41
-
42
-
43
-
44
-
45
-
46
-
47
-
48
-
49
-
50
-
51
-
52
-
53
-
54
-
55
-
56
-
57
-
58
-
59
-
60
-
61
-
62
-
63
-
64
-
65
-
66
-
67
-
68
-
69
-
70
-
71
-
72
-
73
-
74
-
75
-
76
-
77
-
78
-
79
-
80
-
81
-
82
-
83
-
84
-
85
-
86
-
87
-
88
-
89
-
90
-
91
-
92
-
93
-
94
-
95
-
96
-
97
-
98
Varian TV 301 Navigator Manual de usuario
- Tipo
- Manual de usuario
en otros idiomas
- français: Varian TV 301 Navigator Manuel utilisateur
- italiano: Varian TV 301 Navigator Manuale utente
- English: Varian TV 301 Navigator User manual
- Nederlands: Varian TV 301 Navigator Handleiding
- português: Varian TV 301 Navigator Manual do usuário
- slovenčina: Varian TV 301 Navigator Používateľská príručka
- dansk: Varian TV 301 Navigator Brugermanual
- polski: Varian TV 301 Navigator Instrukcja obsługi
- čeština: Varian TV 301 Navigator Uživatelský manuál
- svenska: Varian TV 301 Navigator Användarmanual
- suomi: Varian TV 301 Navigator Ohjekirja
Artículos relacionados
-
Varian TV 551 Manual de usuario
-
-
-
-
Varian 969-8903 Manual de usuario
-
-
-
-