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INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. , ¡PELIGRO! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 10 87-900-983-01(B)  INSTRUCCIONES DE USO INFORMACIÓN GENERAL ¡ATENCIÓN! Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas. Las bombas de la serie Turbo V 81-M son bombas turbomoleculares para aplicaciones de alto y ultra alto vacío capaces de bombear cualquier tipo de gas o compuesto gaseoso no corrosivo. No son adecuadas para bombear líquidos ni partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (80000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 81-M no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”. A continuación se facilita toda la información necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo “Technical Information” se facilita información más detallada. Este manual utiliza las convenciones siguientes: , Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. ¡PELIGRO! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. NOTA El Turbo-V 81-M no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo. ¡ATENCIÓN! INSTALACIÓN Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato. ¡ATENCIÓN! NOTA Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba al sistema. Las notas contienen información importante extraída del texto. ALMACENAMIENTO Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: • durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: • temperatura: entre –20 °C y 70 °C; • humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante); • el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; • el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: - presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica - temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo “Technical Information”) - humedad relativa: 0-95% (no condensadora). ¡ATENCIÓN! En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Varian. Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 81-M deben usarse exclusivamente con uno de los controladores Varian y deben conectarse a una bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”). PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN El Turbo-V 81-M se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga la bomba y de no someterla a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente. 11 87-900-983-01(B)  INSTRUCCIONES DE USO Los controladores disponibles son los siguientes: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V 969-9538 El Turbo-V 81-M puede instalarse en cualquier posición. Fijar el Turbo-V 81-M en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje. Por ejemplo la brida ISO 63 puede ser fijada con mordazas en acero de alta resistencia (tipo modelo tipo Varian IC 63250 DCMZ). La tabla siguiente describe, para cada dimensión de brida, el número de mordazas necesarios y con cual par de apriete apretarlos. BRIDA TIPO DE N. PAR DE MORDAZA APRIETE ISO 63 Mordaza doble 4 22 Nm con rosca M10 Mordaza individual 4 11 Nm con rosca M8 , Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya gases explosivos. MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo-V 81-M no requieren mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. , En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado. NOTA NOTA El Turbo-V 81-M no puede fijarse utilizando su base. Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o “advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo. ¡ATENCIÓN! El Turbo-V 81-M pertenece a la segunda categoría de instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. los accesorios opcionales, véase ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50ºC. La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos específicos Varian. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. Para instalar Information”. ¡PELIGRO! En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo respetando las normas nacionales específicas. “Technical ELIMINACIÓN USO Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada.. Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. En el manual de la unidad de control se encuentran todas las instrucciones para el correcto funcionamiento de la turbo-bomba. Leer atentamente este manual antes de su uso. Para obtener mejores presiones de máxima es posible calentar el sistema. Durante el calentamiento de la cámara de vacío la temperatura en la brida de entrada no debe superar los 120 ºC con acoplamiento ConFlat y los 80 ºC con acoplamiento ISO. Usar siempre refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento. , ¡PELIGRO! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre. No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. ¡ATENCIÓN! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Helio) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). 12 87-900-983-01(B)