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INSTRUCCIONES DE USO
7 87-900-862-01(E)
INFORMACION GENERAL
Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario
deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y
cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian
antes de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier
responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las
instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin
adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no
cumpla con las normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-V 70LP son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto que
pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso.
No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas.
El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa de
alta velocidad (75000 r.p.m./min. máx) movida por un motor
trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V 70LP no
llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo tanto son
aptas para aplicaciones que requieren un vacío “limpio”.
Los apartados siguientes contienen toda la información necesaria
para garantizar la seguridad necesaria del operador al utilizar el
aparato. Información más detallada se puede encontrar en el
anexo “Technical Information”.
Este manual utiliza los símbolos convencionales
siguientes:
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¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un
procedimiento o una operación específica que, al no realizarse
correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
!
¡ATENCION!
Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos
que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las
bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de
las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones
ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
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¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al
fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega
contactar con el representante local de Varian.
PREPARACION PARA LA INSTALACION
La bomba se suministra en un embalaje de protección
dimensional; si se observan señales de daños, que podrían
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con
la oficina de venta más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la
preservación del medio ambiente.
!
¡ATENCION!
Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes
los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar
siempre los guantes u otra protección apropiada.
NOTA
La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar una
posible contaminación debida al polvo.
INSTALACION
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes
atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en
ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
− presión máxima: 2 bar
− temperatura: de +5°C a + 35°C
− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 70LP han de
utilizarse exclusivamente con uno de los controladores Varian
(serie 969-9405, 969-9505, 969-9507 ó 969-9508) y se
conectarán a una bomba primaria (véase esquema en “Technical
Information”).
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¡ATENCION!
Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
INSTRUCCIONES DE USO
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La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la
turbobomba en posición estable uniendo la brida de entrada de la
turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un par de
200 Nm alrededor de su eje, o utilizando el kit opcional apropiado
para la fijación a la base.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la
cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas
individuales. La tabla siguiente describe el número de mordazas
necesarias y el par de apriete al que han de apretarse.
BRIDA TIPO DE MORDAZA N. PAR DE
APRIETE
ISO 63 Mordaza doble
con rosca M10
4 22 Nm
Mordaza individual con
rosca M8
4 11 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFiat se fijará a la cámara
de vacío mediante los accesorios mecánicos Varian. Para más
detalles véase el anexo “Technical Information”.
Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres
tornillos M4 fijados en los orificios correspondientes que se
encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han de
tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm
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y han de
fijarse a un par de 0,9 Nm.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
UTILIZACION
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control.
Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional. Durante el
posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la
brida de entrada no deberá superar 120°C. Utilizar siempre la
refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento.
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¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
!
¡ATENCION!
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar.
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¡ATENCION!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
!
¡ATENCION!
Para bombear gases agresivos utilizar sólo las versiones especia-
les de la bomba Turbo - V 70LP. Estas bombas van dotadas de
una puerta a través de la cual es preciso suministrar a la bomba
un caudal de gas inerte comprendido entre 0.4 y 1 mbar l/s.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V70LP no necesitan ningún tipo de
mantenimiento. Cualquier operación tendrá que ser realizada por
personal autorizado.
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¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba
abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare
completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50
ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar y
remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de "Seguridad
y Salud" adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia
de la misma se deberá introducir en el embalaje de la bomba
antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.
!
¡PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada de
la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de protección
(opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibraciones o un
fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre la
turbobomba a la base.
NO!
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